Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 18
Текст из файла (страница 18)
о о о х с х р': о о х р о о ф ох х о о И х ф о о с Р д х хЙ О, о О о о х д И О х с' ф х ф М х ф о о х ах о а о ОЭ Йи о о о х х Й ".а о с М х о о к:'1 О, »о 4 о о»о х х ы С4 о х с», О о о х й о о О с6 х х х о 2 а ы И о х х о х х хх \х х о ы х о ах х >х о о ос д х х х 2'сх д х о 46 о Д о ' со о ы О 66 'с' 'а а Й сх о Я х Д с Я 6, х х д .
х х с» о с д "и х О, о х о о о о 6„~ ы ос2 сс о х с д х о с !р$! х2о сс »м.~. о а о х х о ~хйао О О о х сх о хмйы М о х ы аа о х О, охх хх"х оХО о С ы 4' Ы ОХ И Я о с о а ы Ы О. с о с» х о 4 о х )х х х х ы х Б О а о х х х о ~ с6» х о ~ о ,4 Я х с6 а х о 6 $» сс О, аЕ Д С» ы х Х 66 с' Д о х 2 ах й Иа ° О х ы "5 х о СХ 4 Й с о ы о О х о а о х м о о а м о х о 2$ С 64 о о а,,о о о с "'~' х 362 МОБ ых2 „о о 4 С 8 ы 66 с6 с о хоа 6 С 4» 6» 2 2Й ы о ы х о х О о 2 о 4 ы х о о О $~ о 6» х х 4 ц и х х~ х о ы 4» ЕЙ й» о с" о о О, х х о о о х 66 6» о х х с6 о о с а х м о о О х й: с й х »а о х о о О д х И х о с а х с х" аЯ о Ы Е 4' х м ах » О х с6 х с'с О,— с о й о О О х о о О О, 4' Х х х х х х ы о о 2 х о о И х х ы 46 о о м о О о 4 Ы С.о а О о ах ДМ ы О О о о х сх а Д о о о Х О.
о~ 2, х сс ы о о 66 44 О Й ы й М,4 2 о с Ы о хф 4 Х х О СО о сс о" о о х д х х х о х о о 6» о х а й о р 41 о >х '6 о о 2И о К О„ о ы Х 44 х о ы о х р, И о ы о х х О о х х Ю о о о х х х о х о о х 4 о х 4 ы д о С ОО О О Й о д ы о х 4' х ы х х о х с о х 66 Х М е. х х с о о х й х 6 х ыо О,Ц д й Д х ы й о а 64 с а х о х Я,х6 Ы О„ы х о О о 2 х с о х х с хО о О х х 4' О о ы о с Х О о 6» х сх х» х о » о с ом. О о ~ х мМ МУ О, с с о ао о о ы о хы ха о ы ~ ОО с ~ а о о ы сх о д О Х с о с с Х 44 ы о х ы о ы 5с о х ,4 Й Ы О с с О Б 6» О д с о о Д О х '" о М х с с о о о о х о о о ах 62 ы х» Я 4» х сх 4 О о И ы с 2 с» ы о О х о о хо с а" о ~-( х с о Бдо а $, аоо д х о о хос х И о аМ „ о а х ы х Ф х ы М х щ д о х х 0 с» о о а Х О» о о сх о о ы О О х О Х о х с х о х „ д о х х с о о ы М о ы х о х о И 66 х х хж Ы х я " .~й а х сс х о о х !ЗЦ 5 х ы о х хо м ас4 о ыоа о ~2 х Х О ыХ х~ о х ы о а х ы м х ы 6» О йь х о ас о Ф о Я х х Сс ы х сс о о Ки." 2, х о я с о о ы й х х Я о с Х 66 Й '" й ь о х Я о~х х с о Х О,Д о х с о Я „ф а о х х с И 64 ЯСХ х с ох о о Й ~Г~~ с х с с ыс'х ао х б'й о о 2 х Х~хс о а о х2ох Ы 2 й саха '6 о, со хО сх:д м хо "-я.
6» Д Х Я 66 Х Х 66 х»%хх ,4 Х „6» ох-ОЯ о хо о о Со х м Ос о.с ах 64 о~о О О О мО д О Х х о О, Х х х ~„х '4 о ы а хдс сс„ СС х сх х с» ам Й х х ы И! о х а 4 о е Я » м 4 о о х сх Р'-' о ~~„" х~ х х,' 6» „е о » ах о М о о о х х о й й О, сй о х х х И О, М о й О с о ст сс О т т с О Ф т Ю с Х з т Ф с $ 0 т Ф т Ф с о тс й с с 0 3 т 0 $3 О о у" ИЦ с й Р 0 т» 8 ах н о "8' х )х с о о х Х ОХ о осой тот Йхй Х ОО Х Но О Х С й Х Х Х С О д сб Х Х Х Хсй ХОО„ Х О,х С хасс' х" ссс" 0 маосх~"й ~'ОЕИ ф Б ах сс О О О О И О, о Ц О О х 'Е,'а омй ах о О И о а. Д ойс и 1.и Х 33 О Х С О х т н о аа ймоа "Я н но то о-8 н о хх ох э у О 0 со О О х х 0 0 ~ой с хо О 3 Д 8 о 0 Д О О сб 0 0 0 0 хх а о х о х .„о о 5Р о ~ сс й Д с( хахх О 0 о т Х сб косов д д с х о о о М М 6 с3 К о о Р т сЫ 33 й х х о о х х хИ х сс сс о о О а х 'т" й 1Р х М »х х ах» х т о о х й х а д 0 О охх ххЕ охо о й 0 О о х й 0 0 т М о х х х о о х 33 О, о х х д -Д О О о "й о х с„ о х а" а д" х х х сс Р х сс о х т о о О о о 0 а 0 й й р о х 65 о О х 03 0 О о 0 Ю о й :,ж н о х х о х м х х О т ха 30 33 т тОсо о о а с„а х а о хо Я сс н нсвт- х й'МОО о „со Х 333 с а О х 2 ао,"„, г- " '0 Х О~СО О, х 0~3х о 0 О ,:,сО сс О' ос „х тххх Й сс о О Х д » сс о охд ~ о хс о ХООД х»х х О т т О Й с 5 Ы В Й о О 0 Д Ю й 0 0 С 4 Б Б 2" о сб „х с х о о 'х сс ххх о о 0 о 'Р~ о т Сс О 0 о 0 Х »Осй О х х '30 о ХОС сох Ц ф йФО ю .Я,о о о о 1зВ о х х с ОО т О с'с Й сс О х х х" И х я, о о И т о со а „ И ж ах И о т х а о 3й х о х О О 31 со О О о о 0 Х О О Сс о х,х ОБО х 0 х х 'х" О О о т д сс х т О О ДСО о я м х х х о И хд хай 0 О~ Р М О 0 а хх,х х Б 0 х а 0 ~ЙЙ Ы О О.
О 3О О О. Ы И Е 3 С3 о И .33 О сй СО 33 а о й 3 у И у Е сй Ю й .с х о 36 3 33 о тй Ю сс .с о $ О. О3 Е 3О сс сх И о о т сй х о о с 0 О ох 3.3 О О О, х о О Х й о х а 33 д х х х о х о о о х х о 0 х о х т о О, У И а хх 0 о о о о а й О . С т а х- х Х Х" 33 О т ~ 0 0 т о Х с О асй айохох р 000 О МОтййо НОВ 5мй00'ООйай„йод бЭ 0 ха той нд о ~~~йх.хх Охотах хдохосанйа ххсх ХО ОХССЗОС о т О ~ с х Н0 м а и 'О - о оОИЯдсоонхнй о ООБСОСОХО хсмсххонна $'$- хиР'ооцх ОООООО о х х хх х 8 о х 1й.:р„,~ т хх х с3 о 5 н х О Х ХО д 2 ю 0 Ой О Н О но о Р О О х Н о х 3 и О, 0 «4 о м О.
х Ф 3 Ы а х Ф х Ф с х 2 х Ф с ь О с 5 х Ф х Ф О о с > с х х х о а о о о о х И о 4". » о о Я а О О ах с« 4 о х и о о о х хх 'с х о о 4 ' >0 с> о х,х О» О х с 2 х х >х 4' О Х х с О х О' С н х Ф о О, Я о, О о о н 0 ХО н о о «\ и 2 х О с 3 Ф О х о ф й Х ОХ 0 х О Х !Й а" а 2 и О о о >х х $! о ~а 0 2 о 2 х о о Я О о Х 2 х о х >4 о о ф й-„ о О х о х О о »а х о и Р х ,4 И.. О, х" х ~ >4 Х И х >х х х а Р >х д 2 х нх х М о «> о сс П с> ! х О х а „.Й 4> О о х о :4 Х х 4 х „ о" 1й о о м с 2 О м "а О О о х >х о д й «с О О 2 ~~. о о О>" П х а х о с с х х О Х О, 5" х !р о х х 2 2 х О М Я о д аД о с >х х м х сО х х~ а0) 2 а Ф а о а2 х х мдо Х Д с« хх» о "~2 О с> с хО 0 О ХО О >О Н ХО 0 х,х „12 х х.~.
д 2 х о 2 ад О О Х н О й3' Охн с» х М х хо о ах О фИ а ХО, Х 0 а х >О о о х Й «> о со Х Р, о ~0 с> я х х о о о о а Ф о х о со х О мО о х 4 4 о О О о см Р, м д >с> о О х х х Я О, о Я 2 о 2 и 4 Я ф о й о 2 х О Р о о О о х 3 и 6 й 5 Ы Р И Ф х с с с х М з Й Ф с с О > охо Р о >. с> х о х х ао о а~ х" ОО х х ро сс О» Ф а о Д мм х с- а м д Ох о х с« ~-' х О О О 2 с х Цох » о, О О хо о Охо Х О омо о д о х 2 ~н ххо о о а "о х д о х х х ОХХ о сс Х О о х н» ,4 О о о '4 о х >О о а о о >О 4 х о 2 О, Б Р х х !К Оо О Щ х О о х о х О ~ 5$ о о н р о о о о х х с> ь.
о Р с ю о д о 2 о«> с р о р Х о О р м> о о. х с с х ВО% х О2 2 х д х >о о х о о М щ 2 х О 2 0 2 2 х хн х О х х н Ф о х х о О х 1 о >х х с онх >х о >Х но 2 О О О О ах" х О х >х о о м х х х «с 2 2 Цсх о х о о >4 ооо о о,х ххх о х ~~О х х х~ Й О Х м О м х «> о 2 х>40 д ас ах с ИСО 2 "о~ х О о о х н х ХО О О ~О М ОХС«-Р о о о Р2И ~0 о н о 2 х н О Х ~ ~Х с" о о ХО О о О, Х 20 н х„х х о О С О И 0 а м «> ЙЯ >О 4> >00 с 2 а О х2 о х н с,> 2 о Ф Й > с« о 4" - о О „-"и йБ 2 м о О, х ф о а х о «1 >х о х Ц й И х с Йф 1 О х о \х х х о х о х о Ф » Р ,4 Я х а о х О ах О Бе о >х х О о м о о. о о с х О« ~ о х х >х х о ах о о Х С« ° о х о х 2 о О, О н х о х Ф со а о Ф х о О Х х о дх х 2 ах а«> о Он м О 2 х о ХО >О О х о >4 х О И ~" о ф х Но О сох с, -.Р о "Д" 1'-2 о ЙО хх2 с« о о Р3:„ >Х О о с'х' а О схо мох 1'-;р 0' а х х О „о ~~ сх" х Х ОХ с« о дахр о хо О м о м ах д х о ах ах о О о Д > >х о о Я х д х >х о а о х >х х о 2 2 4 ах О 4 хо о о,х М с> х а а о '4 О С'> х о х СО о яоо «> > х с х~й с> о о О 2 о хх о о о Х" ОО 2 2х х х х 4 Во о о х 5 О Х «1 » о с й 0,>Х О 2 х о х Ф о о К н хо о х о о о О «> Х 4' о >4 О 4 щ сс ..х 4 - о с> о о И х О х х >х н о а с> х Ы о омх х О Со О 2у$ х О о с я о а О, 022 0 х х Фо о м м И О, о И.
о х 2 х х И 4 2 о 0 О х х о о а Р С> О о о ,~ 4 «> «1 2 И о х 4 О>" о х х Й о о о и» О. МЪ О Ф щ с с О О. О щ и О ы с с с с Э О О с Й М д с щ щ щ с с щ О 9 с с с щ 3 О О т с щ Ф с с щ О с щ О О о О о о Х »х ~И о О, а Я О П» о Д х О, о о ,д щ т х О Д. о О, ОООРОДОФ х с Е»щоонхохох Ф щ Х о х о., Щ Ц Х д ф" Х щ О Д О .Щ о х 1 О ~Х а о О О Р' »нп о о х Х х Щ О Щ О Ф Щ н С о Х" н Х Х ОД н Д оад сщ ь, -ощдх а О ~,О х С х н О, н а», ннахщоом ~Х щ" ОДОХ "ДХХХХ ххсщХФХДхохщ»ос»схХо Х Х х 5 д О Д Х Д щ х н х ща о нД щ х н Я» Й' х» щ о фсх х Д х Р н хщ щ о 1 Д о нд хх о о ~щ Р, оа »х х о с х щ о .
а щ о х с „м Х о Х Х О м С Х Д х х Д ° °... „. „и;~;~... Д. О ОООО Р Хйх ХЮ Хщ»о П» Х Х о Х н м Я Х Х О О Х О О со о х Х М щ о щ ФЦД„ОННХОХам О О О ас с „Х д Х» щ д х ~х Ф Д о х х о ОЩООХСО 0 о о Х о х о,х Охсдощ Ощо" н х Х ~ д я охДхх Фсхщохсо о Д и Щ ЩО О О О»Щ о д о щн с х ПО нщх„хох~оДоР ФХ "ОООО - х о д О Я х о <'> О щ Ф ас Д '.о о щ щ ~ Ф Ф О „О щщхощ 2 о О о о П» а щн. щ О П о о щ Ь О й щ л" щ д мХ с о и а Г" сЧ с» О 'О 3 П ~х Й О О 5 с й с с Ф 2 Й О О 2 Дооохоощщщп Х д '" Х Щ» 2 Х ах ят д О аО ОаД Э, „Д Щ О С О О Х Х аХ О О а Ц 'о с х 3 х х О, щ 'щ' 0 о" р 3 с:х „ Х ф Да щ т» О 'В' ОХ Д Х Н О, Х Д О а Х щ С щ О С ОО "х- ФХОСФННРХ,ХЩ О,НОнщ„»Н>х о х Х щ о д х с ~~с о д н о о ОащООХО,»Х" Хнсщщмо щ Н о Х О О м Щ С ~ ~О С О, о С Д ЩХ о о " м х м х х Х о Х с що х х о х Ф Щ С Ф Х Ф О й Х Х Щ Хо Х с о х Ф хп» О,Д "»х П с щ м о о щ х о О.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
