Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 17

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 17)

О Е и и сОтч и еэнииииои инияэидитнебек эитичиэяииеейр '!сЪ е)тииее1. О о й.9' ! 9Е ! (ктн ЕЕ9 = !) кинэжвйтэ тнэиннффво)1 эннвнэттэвээн в»Исковой!1 О О х от-0! от-0! у 'цзткатя вэй иэ! Я)л! 'ко9ойп эинэжкйпщ вцр! '(Оннэжвяэвй) ивнэптт чтэоннэжвйпвН 99' Об 09 09 0» нинваэйиквиноийэт нйп вннэотюэвй тэН п.э н 1тт дл):т яэээнойп в чтэовеотэ кввээтчд иинвюйнпвипоий эт нй й Н и;т и Л! й) О яэээпойтт в чтэовиспэ вгяоэтчББ О О О. О и иивтэвп иитчнвиввй9в э йод К»э»пайп к чтэокеэяэ кгяоэвтп вивэткК 3 *ээээ)тойп вйяквйэпиэт эвнг! 09 05)с 0'к> ок 9'~ю О о ввннкоюоп вввээьнйтэюк~Ф испэийопонвн те йн т с ввв13опвК! й0ОН нкнэтчт оитэиои ч 11эатт!аиоц тандема еоиеибэяеи ктчибэиииои кинааидэиион инитаийэянеде)! Ъ еиииее1 о й »О о »О. о о р 44 т.т о о о Ы % $ 3. ый ОО ст сч о сч о сч ЧО 44 сч с'3 сч О 'О с» сэ сч о х о О И л Д ы Х О и ~а я и а о О Я 41 ы и т"т Ю о и о О, о 6 ы ст х х и х 4 О х о О о К Ф о а й Ц й О о О Х о о И а О Оо О О, О О йй х о Д О й О И и у О ы о )х о х И о ы и и х )= о ж о ы тх х О О т о и -б' х о .

х а и д о о ° т ээ ы о Я а 4 х О О о х ээ сх !0 ы о р И ° й О О о Я х и а ттт х3 тх х », о Я' о тХ О о х о о ~~й$ х „'а О о й О о ' и) и, а'о х о ф хж ха< о а И х~ хт.т о О Е.„ О СЧ" О о ж а о 4 тХ О 4' » ха 5 й. хо~й й х о ои о О М йхх„ о о ад О Х ХО о с и а и х т ж и О д с тж О О х д Э о О О с ыт с О 'Х х о тс пт и О Х ь- о ск О О„ 'ст ;с а Д' о о йы х о х х б ж а т. о х о Оа д х а й х о о о х х о .4 М О О О Х О а о о о св Д О сс! О о х о о 4 о о и о 'х т.т ;Ж $5! !9О' хе'о о В х о О О х ах о О О И х х О о сс д о о тХ О о х Ох $!~ в ~ '.- о й х хо и Х ОХ оы и -" аж О о о Х О, охо д О О о ххх Ойдо ы аа о ох о д о й э й т й охо а1й й й Е 6 с э с с с х с Ф >' с с с с И > Ю с с с с с с Ы 43 О с Ь с о с с е >с О » Ю ,фф>»,,:> Й и .'=' оЯ о -" с х й „а х о .8 с с а о с х Ы о о С> » х О сИ >> а > с д й о с 3 ~ 61 Я И Д с » о с с 'Д с о 1 5 с О о с о с со д с о ~ о о >> .8 щ Д о с Ц' с ссУ с с с с.В с с Я с*с Ю >> с о со с о о о, х х а о с о с О> х х о с о о 4 Д о й и ° о о, х >> ю х х В о о а >- а о о но е4 о с >х х Я о н о ах Й" с х с Я о д х о о с о х э о х с о О м И ах о ~$ о о с >> с х х я А с с х о о х >о х 6 У о о с о х в х о д И .в >х о о .И х и о М о о х х х .Я о о о х д о о й и Р е и $ и.

5 Ы с и с с с с с с О с О с ос $ а„ о о х х х О> й3 о х >о с" о О х х х. ойх >о с х х х хй~ о нас >. а х х а с х сох а~ хх с ох с с о о х х >'\ о, й>с> с с с о. о о ах о 1о О д х х о х о х х с о х о о б й Е о с и о, д с х о с о о >> с о 1 х х о с о с щ о О х х о М с х >> о ф о >> х с с о с х О х с >> Иф д о с х х х с с Ц х, О о м с х ,0 х д с х х с о х х с я с о ф и х о х х х д о х О х й о с Д а > а~ .а о о о х ах х >о о с о о хЬ о х „ х х Ю а" о О й о х х о н о х й д Ц с х о с йс х с х о О Й х х о о х о„ х б х х х о х х с о ос, И » х ии О Ю й х о о, й 2 х о х о л о х о о с х х>> о Д С'> х с >х о о с о е о >х о ~а. о д х о О! ~йх ~~ О >х х о х х д о х х о О Б о о о с" х о х с х Я о ах х о х х а Я о х с Д о о с >о с, о 'х н о С> х о с х о 3~ Й а о о х о х х х о х о х М 2 ~ х о, ах о о с о й й о х о х я х х о И и2 х х б> Я аИ оо о о н х о о и о х с оП о.

о >х 'х о х Е ох 4 х о Я >о д с !К й Д о >> о о И Я х х о о х с И с о с о хо о х х д д о~6 ооэ мхх Й >о э о он х6 о с Й о Я с>, х Е са с эхо Ц д с ж с са ф с о х хШ 'с о с М 'ж ," Й 5', а х о, х о о В о д х х „с> о Я о, о, И а, м с о с н о с со,о, х х и о о х х, с с б ххо х р И 'х '" о '~Р о хсх >о >1 сь х о о о о х х>х о хсо Д8 "х о с 1ОО Д о х,х .О о с о, о х снвя о о схс оно с~оцс о о р о о 'с ход нос хсхЕ хххс Й ~р~ х$~Ц хх" яО >х сох х о с ос о "х3, с о х о фВ о х с ~р,о ас с о о Я с Л ~, д >:> о сох о хо о о х х О х х >х о х х д >,> с о 2сх ~~Я >> о О>о о до о о хо с ой й х о э о с нх н о ооо х."х с х Р" д с о„х хн о о Й хос о » с сего о х >,о, хМ х о 'со о" хо х ха д х о,о сох д с д Я хо ххс х сх д х О хнх х о х М о х х х М х о х о М с о.

с Ф ,О с> д м >' х >' с о „' с -Э хо О д О о х 5о ~о х х й с хх х х о о о х й о В О. Е х х х О О х х \ О Ф О О х Ы О О О с С Й Л и .'=' Д В с дс х х й д а „й О о о 1 о рх х х О хХ сс 4. И х .я. Й Х '4 И д И х д' х й х х Я И х х х хх О 4 О О 'Х 4. 4 2 4 О '" х 'б О 4 4 Д 4 Х Х Я 4 Х 4 О Д'Х »и~ 4 О щ 4 4 ай х Х х,б Н Хха .Я, Б х й х Я б й 4 ар х О Х х й д Й х х х х о с х 2 х х о а о РС о а, о х 4 й х щ О х х о И д о х х Х О х Сох о О Х бб х .В м о о о 4Р Е о о сх д о х В о х о о о о о о х х о а "И О О "х м 0 Ср О Ых Х О Х .4 46 х о о „а о о Сб о д й О Х о о Х СО и И е о о и х и р о о о о х О Р х х в' о Ср О $Ю ,х о 3Й О Д 44 б' С сс рб 4 х х х а о 'ССЛ х х й х О СС О ь О Ср с с с И И О О з й Й $ ж 5 й ~ а х сб й о 4 ср бб я а, хи а, О о сс х а м хо а Н о х х о О х х х а 0 х ао йю а, а а о о м о » а о х й Их х о х х о Йй е л х х 41 х б х о а, сс х х б\ „х о ~ а о х х О о о о х о о о х о .р х р' о х с х о х бс М о а, х О х~ о о й М" й х и3 Ср рб х х сс х Сб .4 х й » ср ,4 Х сб Х ОХ О о а, х О О а сх „х х Х О Р' охх ха а о О»» а а, х И хм и ддх хм Ф "И$ о» ,а, о о х х й К Н ООХ о а хо сб о х Й Х О бб а, х ,4 й о Х О о- Р' о а ср х д х х О ХО » а ~х х ф Х О х а О й х х х д о о х С'б ~Й х Ср о х о х ай » ~~~ О й х х х о Ср Ы 2 о о х о о х х х И х 1М Ф сх о о Х О о о о х х о х 4 о х О О х ох Ср о "о Х Сх о х й х Я о ах х о и х а бс х х х х о о с х са х а х сс О О о 'х о м х о х СР а»- о о с м о х Я О, с х .4 о ср о " "И х х рб х О О ХО И ха х о О О х д х х о О О о Ср о О х О ср р' 2хд х х Рб О о 'Х ах о х а м ОНО х ох й х хсс х б' О Х о о ххх Д бб с, о о о хоИ а~ х Х О х й х» хо о дх а ~хо о НИ О х ххо с Нс, х х х а, х хо а х о хоб х о Х ОХ Х Офх а хсс х х о О б.

обо~ Х бб о х х х-о »Кр аа,о Е о а,х О О Ср Х Рб СС х ОН х х о О 4Х й Я х" х д х О хо о х о х о О О О сх х Лю хо о о ~ о х ха о м сс ах о Р ~~й ~ ах х ° ~и х х о х й хо, х х хх о х х х ср р' „я, хх4 И'х а о хЕ$ с'\ о о о „о о х хСХ о о с х о ххо х х" » о о о ХОЗ Ср о х,х Х О„О аж~ 3 хсс Х о х х й й х х ха О Х С О О СС и х х ОНО х ООЦО хохд о Я о ~й »ао с» о о Р ~ х р;~ х бс О " о ох хо о О 41сХ О„ хххх ХОХО~ о ф~ ооох х О О О аб' » на о дбр оаХ он ХО„ х о ~х м О О о м Й 'ю х О" ох хо ООХХО х»х~ О Я х)х,1 ф Ох Оса х ОХНХД с х о хд йх® °,х Осс ах ф х ххзхд ОХООО ах „х о О О Х д х о мох О сХ хх.

ооо хнх ОООО о Н х,х О О СХ Ср Х: х о о х х о о О О х о х х с х а СС а„ о а х о 4 х о о Ф Цо Х О О 4 х а о х м х х а сб о х О х х Я ,О Ю О О" О О Ю эс ': с» '. О» о о С» ОО О С» с- с» а а. х х а ОЭ о с О О $ а х а а з с й Ь ОООХЭХ одйМ х о а м Х с о о ОЭ И хо «О Х ф-н х О с Ф СО о О о ф ОЭ а с О ф о х о ОЭ о И И ф О» О, о о» о с»" Х Я о а О о х Х х ООЭ Н ОО О,О ОЭ О ф о ~.и о х о д о О ф х о х а о о х о» И о х х »" о о ах а х о с о о о Л ОО ф н -:й О ОО Е » о о И о х х е' и Я эх х О Д эх" х Ы эх о х и о о х о о о о х 'Д ОХ о о а О О \х о ОЭ х О ~» х о И эх $ф о о о ф Н ОО ООЭ Х о а ДД» о о х сс а со о о И х Со о эх х о о х й Ф о х я 3 Д РЭ х о ОО О х о х сс * а о о о »х м о х' ,с с о х х х й ОЭ о,х о о о о о а о о о х х ф х ф о х ха 6.

о о о а Я о сс ф о о н о О О х ф а о х о н о о х о х х о эс х о а ах ОЭ О О м сс сэ' сс О Х О а оф О» ОЭ х о . 'х х о» о 5 х СО ф Х СО ~и о а х х о а О с» ф ф < о х м ф о о о йх ф о д о а х о о о о ф х х : х о х о д х х о о х д ф х о о а ~х,х хо о ~',й х о о о ОЭ 3 х эх о х х О О ф ф ха ~ О, иЙ ии ДД ' х х х х х х ,:5и х х х ф ОО о х о ф О »," о н а о" Сс ОО о о с~ хам о о о од с" х ййх 6~! Ж о эх о о ах и »с:» О о~ о - о х о х х х о М н о . х ххх афос ах х Х "о о хоо о сэ ф х дох ход о О О о о 8 о ,'ЭХ о .

о х: х о о .' ох х::.х Ооф о х ф И оф о о" ОХ о о о ОО »х~ о о ф х ф, о хо Оаох ха о о ох 4 ф х х нО о о о о сх ,х х О Х о х о хо х о ф о м О ф о о, а х о х а хх сэ о ф о ф х х о о сс Х ф ОЭ х о о М ".м х 'х о о х о ~х о и» Ос д о а о х О х эх о ф 4 х х х ох фхх хн »о И о и ООЖ О о х ох »д х ф ф фх "ф о х ОЭ О ОЭ .ф о эх о а Х О О с; 0 о ох х о О од х д д х о 4 х х ан О О сэ,х с х о о Д ф ф" ОЭ сс о х о ОЭ О »' Р о х х ОЭ ' О фс- д х ха о ОЭ х о ~ О,„Х ф хю д о» й! 'о 6~ а х д сэ х х ОО СО о ф эх мф о х СО о ф х а о о и о о х О ,*Э Й О о х о О Х о х х ох ОЭ о о О х х ф о ОЭ И эх о х о н" х аф о "х х „ о ' .-й Й ф и О й' Ъ й Я О О о СО о х х ф а О ~Й о о х д 6й ох о х о о ~х о ха Х СО Р~ ОЭ О о М о х И 2 о Р х х о О с" Я х х о х а оэ ~р „х ф ОЭ о о, х х х.г х о И о О х М6 х -" х х ОЭ х х х -" Д ЭХ о о а о о о со о о о о сс ф о О о ОЭ с о х о х Ж о х о Х ОО о о о х О о д ф х о а „фй »5 х х »" х х о о РО Х д оЦх ф мо 2 ОДХ ф $ о ОО М,х- 6 о ф" х х о од ф омн б х ~О с о "х ах» сох о а»с ао й Б ф о м О ЭХ со о х о д охд 5 о о н х х Й о ОО оа о с о х 25 И Ы СО Х о х Х' ОЭ о а ф Ф о о ф о х И е х а о х х а о о .В' 5 ф о о х р о о Ю х о х Р о а: ОЭ о о Й.' о о о ф .9.

Характеристики

Список файлов книги