Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 12
Текст из файла (страница 12)
О 3О 33 о х О х Х см 1й „х х ЭХ О О х х Х 33 ю м х о О О 43 О х х О х Х О о р дх р х х р О О, о О х~ 3 Я й х о Х О ~.Й ЭХ о х О О О О х х х сх х н х хм мд О О О О 43 Д д О о аю с Х С ЮО "хх ар,д О с о одо и х Я ЭЭ О Х эд ИОО Х ОСО 0 О н о м О 0 О о о х О „О, Д х О о 33 О о х Х О о 4 х д о о О, ХО, .ссс о ач О Х йР 'сэ ф о о Х 43 О 43 ф О О О СО сэ о х д 3" Х ф х О эд сб Х ох„ 33 о О о Я а, хс х о О,х а я о ф до 4 4' Х ЮО д 3Х эд ч о хсх о х а~ х х о Р о О х с о Х 3Х О Х о н д а, х 4 Я с о х х х О О О о О Йо х Р И х О О с д о $ н н дю О О О 3 х й~ хю 33 . о о д О О" О х о х х а О, х" Я, о о 33 сэ Сс 43 О н о х х х О О а ~Р, а со х о х сс Р 5 о х а, с Д О х ф д Ооой ОО Д О О О О н ОЯ О д 'я а.
хх с о о ЯДдх хх д Х ф ОЮ ода О„м На '3 х д ЙЙ" О М С 33 Х ОЯ х х о о 8 о о х и О, х о И о х х о . нд х Ы О х ДИ О О М О Ос х о а О о х х Я х х о йн х ф х х" х х х х х О О 3' о О О х о н о О О д хо О О, д х о о аа, х Б1 К 5-. д с э СЭ,О О О с\ Х 3. аа О О, О О х х ° и О Х 'с О О О 3" о О х О О х д ад О О О Я Д СО а хс О Х о О 4 4 х о х о х х О х и х о х О О, ф о Д х х 34 х о О О, хд о О х х х О о Й ас-" сэ а~, О 3" уи И х аф со д о О,„ сс х" м сс о эх о 4 х Ь .д О с» 33 о х о О о о СЭ 2 фа ах й х с" ф о сэ * о О д о и6 х Ь х О с )д и Р й $ Ы Я о Я 43 о х х х Л эх о х 31 о о х Ь Л К и а х О3" о „.
х н В х х х о с ч х о О СО 3 3 о О. х с Р" о н хх Ю х д о с О. О Ю 4 Ю с сс О .4 с $ СО Ю Ч 3 Х й В, ф" "а О х о Я й а с й с:с бэ О О д о И х О х Ра Д н О т х о о ах о н х ф б М м О О, о б Б И д" о х о а и О Б д с о о $ с 34 н Хо х 4 ад нд х сэ "хй О О, сэ И сэ ф О д х о О ОХ Х ОХ ОИ хса х я о 43 33 СЭ й х й3 О Х О !К! охх ОЯКО ЭО ;Од О ОХ о хсэ $я1 й О с' о д х ф эх 0 О й' х х д О ЭХ х о д О О '4 Х х х д 1Д О ,4 о х са О ад о х О сэ О, эх сэ О д И1 ° Я~о 43 43 а О х Я о О х 4 д Х о ф а аО, д .
сй и1 -хΠ— ЕИ 333 о х х о с Б О Д О У нХО~ х О~ эх х О 4 о ч д 43 33 Бонх '„~ о О аз О С'С о .я. х ЯЗЙ ° ЭОО, о ,я, х о н д О Я т о о 44 333 О л х дса х с о О СО сф3 эх о О, О о :6 яЪ Щ о о о Х Сс х о о. о ~О Ы о. х и й В с Ф М О Ф х х 3 о. й Е 9. з н й Ю 3 х О Ю О 4'Ъ о х х х Я а х й хБх о И и Д О Д 'Пй 5~0 о а х Я о О О о о ;"Д о ! й, о М Д о, хД о о х х о, о Й 'х ~~" Я Ц х м Я х х Ы х Ф а а х ь о, Я о й Е А м" х о 3 „-" х о о о о и О х х о а х ю о О О о х о о х о о щ х о ч щ о~ о. о м О а х ям Ф х о а ~ ~ $ х~ Ох моХ хл хфо о х д о о х И о х о х р И а х~ х Р м х х а й $ Я Ы $ Б и $ Я х В! й и Я о о х и о, л о й о х о х мм х х о о х о м О О О о о ~ 0 О х о о .Я х о о Д о х а х х хх ИЙ До ох о ом м й о 'о х о о о о х а ы Д х Р ~ х о а~ ох хо ох х о ххххх а~Р;'х ОХ 5 а о ох оО о О Х о~омЯ о й о и о оО 5 Е ох, О м~оо ох~ох ао х 1 ИМЯ Хооо я х '" Л м о ~ о :,:~ м" х ф о и о 3~ м о х о .х й о $ о о о о ох о И Ох а~ о Е 3 И~х х х х' 8~о „а о Р' о о мох Х О)х й 1;"„ хо о о о о о х о х О~о ма охо о о О О а р х хо о о Х хм ИИИо а~хЫБ х Н ц о о о ОХха о ..о х о Ы О О йхха х Ф х х Д Б х о м о 1 — 'й хом х ~О о о о~а мя о х х о хо о „й м о х" х о йЗЬ Ф о ~хо х о о о о о $Ц о х х о хм м И о ох е~ Я х о ~ 1х , х о о о О Я ь х о х М о ~х Е Ы о з о.
х ГЧ м 0 о а о о >х ~ 3 о о х х о ах юч х в х о д О х 4 х о х О, Б и х о ° 3 о 44 «Ч и о 3' 04 со С'3 И о о «3 й 333 Л! 30 «3 о х о х 333 м 334 о х И 6 С'3 х х 3Х х И 44 СЧ И о б 44 03" + 4 44 И Ы' о о Ы Ь~- ЬИ 3 И 03 П 30 х О с. о СО о О 33. У с Е 3 Ю д 3 Я д «3 х Я с д с Ю й х О. о в о Я о а д «3 34 О с о О д 4' « Ю а й н Я И х И Я о о о со Х «3 Х а о О о о Я о х 4 о х и а о х Б о о О, о «И о Я сс а~ о й х о И' х "х 6 3'4„0 х о «1 х «3 и а я о о Х Я 33 о а 4 3 Я д и И х до о о «3ЯЯ '« х и Одр ах о у. И" о У о 0 й и О, х в о х 33 Я 2 Я ф о О ОО.
о о о И д о Я И х 6 х о о й а о х х о х ~ю с« о а '"' Я 3Х Х о д $! а 5 4 а Е о о х х и Й Г, х О, 4 о о о М о и о х Х 3Х о ЙИ ИБ! Я х х х о И Я х х И я Я о х Б ихсд и и'5,~ м о х с'3 б о «3 О М о ~ д О. Х " О м 03 С'3 а'~х о 4 30 ах" ~ Яд Х ОНО „. о $ х~ х „ а о ,4 Х Х х ох" И 4 И д о о я о х У х 3 Р х с«х «3 о Д м о «1д О О," б д И й о о Ьх о я х Х «3 д И с«х а Я ссс 3 х М х «3 о о О„Х «Х о о д о о а д о со Х 44 'М С~ о И с л о Ы И С~ 0 И х о со о и Я У О с О 4 С« д о д й с Д о о х х о со 0 х ср о о х д м Я х Я д о о Я о Я д а х о а о о 3Х я х О, о Я о х И о о И х о д сЮ 3Х д о о х х о Я ф Я о о д 3Х 43 "х о о У с« х я Я 4 33 Е «3 И' Я х о,х о х о о - х о о х х я х Я о х х о ,«а о сд О О,' о 33 х И И У 1й 34 о о У о о о я Я й Я н о $! о о .:р о И н УИ и И о Я 3 4 «3 д х х О,о х хО а и х р О О О с« И: м о „о И аЯ НОЯ «3 а "В н о ы х О с« О Я Д 43 х ах 3Х Х Я й1Я о И о 6УВ о~И О, 4 Я «3 Их и я о хя а х,и о ядо й Я 4' О, х о ххн о й )х о х о х О, о й о о д х х 4 х и х о о о Я Ц о И х й 2х ц И й "о х ф л д И о о я о о я х о О 4 х дд Я ~ л 3Х 02 И х Их И$ о н .4 х И х о с х О ,~„х д 3Х Х о о У о я х х я с х Я ад я д «3 О, 3Х Х я с Ц О д о оо Чо х и ах 34 д й«Х И о Я д х Р «3 У о о И о д о х х х о х 33 д о о о о о И 4 х Я о й «3" х и о х х д х Я я о а со й И х Я й х о Р И х х х Я д У о о И х «3 «3 д д а о о д о д 3" о х 4' о О О, О о х О х 4 4' 3Х ~з н х о х д о д '4 о о о х о х ,4 о м мд„ Ию х И н ях и:Я «3 ао И о а о я х й Я а«3 хм о и х 3Х О Х с'3 «3 о н Яо о о с« «3 хе х Я а о о г й, ы' а И о И! о О, х с\ х я о х 2 х й х с« х Я 1И Я ! й О, Я Е х.
Я .В в о о ." и д Я х а х Я Д М м дд ай и д. см м о м о х о х о й М й о х О О о о х о 4 н о И х Б ~ о Я,н ,х о о й х о Р Й хо . "6 + с ~)«« -т- 44 4 3 х х о х 3Я 4 х х х х й м О, О, И х И й х о х 2 Я Е м ~\ д н О, о а о х У о .И: О, д -И Р х О, Я и о О, И а о д я о х д ~ о О, х И х о 43 х 6 о о х ж о и и х И 3Х 6 Ы .И О, о О", и о о о И х о о.
о. х т т Э- х с с ° Ф Э о 46 т о 6С с с т т о о о о. т т о. 4 ч о о О о. 4Э о О т М о о Я 66 Х Р Х О О СС о о 0 О а И$ о о а о я т -х 3 66 О 66 О о х о ахи о о о ь а Х О 64 о о х х Н 3 о о ,Э х ЯЬ М И.' о я о о о Е Со $р , о х о о 66 й" 6 о ~в, Й х о о х о о о х ох 5Р! х о х о о ° Э о о х И хх о О х х о о Й' о ° х х х о х о 66 х о Х ас с6 о о 66 6Э я о й х о х о о 66 х о И о СО о о Х с6 х "Х х сэ о х о,х о т о о сэ т р, о 'х' о О, со о о ~ х о х а о ::.Р3 о 66 О о И Я сэ Охт х о сП О О Ц х я о сох яхо х И о с х х я о ао Х 66 о ~й $ О х х о хх о т"" х хЙ о х х о х И о Й й с",э О' х х э о х . о , Н о О ~и! Ох, о ~' о х о х о Ц' о и ". о ,~,со о а т 3~ и х Д И О х со 4- Н О й.
а =Г О СХ Х 6' и о а х о т эх 6 х о о р с Л ц О О о о и- О о с х а й х о ь Б эх ~ ю 8 а о .И' х о эх х 3 т сэ о х а а Р а СЭ о 66 о 66 о х т х т х о эх р т о Э "И о о о р Н х эх о о о 5 о о 6 1 ..х 6Э х с а О О Р о о о о о Б т Й 3 о Б И о И ,ф, Д о о сО И х с'\ а с 6 1 я о х о .-~~хД о Й о г. Д аф~ь О х О И о с6 х т о о Фз': о тс' й Осч О Но О»" х ЭХ,4 х х о ц ОХ х о х О 'ЭП ооД :о~ х о 66 о 66 о Я х 6 . х ь Пс о х О Ь.
х » о ь 13 е1 Я Д а о со х 4' о О О, \х $ т о СЭ 4 4' о х х.б т о о х о х ,4 а х о х о о о о х Ж о Х О х 64 66 х х р, х о о 9 сэ х о а сэ И! ь ь ь" Й И ПП о х эх х х нО а ~ х ° Д о о х х х о х о 2 И ЭО ( РО П о х о х и йх И о 4 о х Е Э' С» м ст СЭ П х х О 66 о х о х о И о х о о о Е ЭЭ о х х х сэП И П ь с» Х о П < сс Й Я Р т Й й 5 $ о 3 Я о з с 66 с4 ЭС СО о о и И » О х О, о » $ О, эх 4 х Р, О, ЭС ПП б м 66 СЭ" П о х о о М х хх х о ~о ~ Я х хо "Оо ас48 о ю х о И О Ц ао х х» я о о х о ха О ,Я СЭ о х Ц 4 эх о Д !=. О, о х х о с х х о о Б Й х а х о Н О т И х х Й Н о о О о о я ох Я "хх о о х »х" эх о х х ох о с оо х х х" О»х о „~Х Эй !:-'! $ т х х охххо о о »~ "'х о нхяоа До ох "П о хо х х х хо х х х х ох я» Х Оо ХР' ХЭРОХ о о о о й, ПП х эх" с о о сэ о Я с х о О, т х а о о х о т о оно И О сэ р х х о т цех ~тх СС о х х- » Э о о ЭС О„ а о т х х хо 2 4 х О х х о х х с х о о о о а а » ~ о х т х о » о И 64 о а 5 Ф х х о о о х о о х х д о х о о ас о о" о Д~ сэ СЭ с6 о о о о о О 4 С4 О, х 5 о о х о Ф о 6 о х ф о о х о И И о Нт 6Э ах 'Э Д я х О х Ях о а й сэ ° Н о о о д х о ПР х х и Д М е ф о О О х о Р, х >с х М О О ф х о Д В о со о х о ф х х >с о 1 > О.
Ф о М о 3 о ф. х й ф ф Ф х Р й 4 О Ф О ф ф ю ф о с> Й с хИ ф о о с> в Р й о е о О х о О й Й о о и е Р М о е ф о х х о И М о х д х М о й 1 о о О о Ц О о х О с> ф о х ф с О $ Я В ф Ы й о $ о О х 'х Х х О х>" а О )Х о о х д МД Я д О 5Р.. О 'ф О Х О О О Ц О аО о О о с" о," о х ф О ф м м о хфх о х О О О о О О> ф О о О' ах О ас. >1 )х" о о, Ц о д >о ф со м О О О с> Д' О .8 х О х х о О о О С> х а х и о О О х И с О О, д о х х о ах о о ф' а со о о д о х х М х ...~ х Я о о х а х )х о о .ф О о й О О х м о, о о .Я х о х й й О о с~ ох ах со я х х х х о х х о, Х о о х х о х х о М й х х й и ф с> О О О х х О р, ХО д О д с> а О хм х >о а ф со ф о 6 О а О >О о о фа о И О 6) „.