Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 7
Текст из файла (страница 7)
2 х сч с) о Ю о ио хм о) 2 )х о 2: см Ф 'о. а. х о х о 2о ц о х х о 8 х ах й ~и )х о ХФФО и хбо2 о '.а, Х аааХ 2 И Е а Ь 'х я о а мФ 2а,х о со О ОФ ООО д о х Ф о х о д а„ м Ф а) И о ход х х )х а о д ОО~ о х а о о о х х „х о »22' х х о о О а 'б' х х 2 о о О О О о Ф о х» с ) о а х х х о с) П со" с) х )Ф о х о о Р й о х М Ф а 2 х 2 8 й х о а х Ф О'.
О. т О ) Б т й 3 5 й т $ а, о Ф о 8 о 2 о 2 о х я 2 'с о 2а, 8 5 х о й с) "х ' а О х 2 Ф о д н Д д хо х о Зхо о а х х х ФХ н о ах П~( о х а$ И а, о асмо 2ОЫ х л па о н о 2 и х о о 2 х о О а„д 8 2 Ф ах 'с со $, ход охо »Ф 2 а Д 2 хо Ф ах осо о о ох со д о д О)о» :"22 до 2 Ф О х й ~и х о х а, о Ф о~ Ж 22 О х Ф2 2 д о2х о '" а,д х с) Х Ф Ю о 2до ххх я о Ф И х о" Яо 2оо Ф Ф о о о о од Х ХО хд„ о хо о ох х 2 х х О Ф о Х 2~~ ~-„Ф 2 а)х о ФОХ о '" х д 22 ~2 о о д 2 ) х х с) д о о Ф о о 2 х о 22 а Ф о о х Ф о о о д х м а » х х х о д х Ф 2 о со 2х х х а, о о О а,о т х Ф Ф х х» а, Д » х х о Ф о о х х а К.' о о х Ф о а О х х 2 х )х с) о )х э с) о о о О О х а, О,) Ф ХО х о о 2,Ф И -х о о 0 а )х х м х2Ф- но о и а Я )х о д ха, х „о х ха о Х2, О О.
о И Х Х О. о о х но Ф х х о х ~$ о 2 3 И!и о х о о И! $ О й О Ф Е Ос з х Б а О е й З О й а. ОС Й Ж 63 Ю й Д сыс о О ж х ы Я И о ,! 2 о о О, ~> о а, ОС й ж сй О, сО о О й 'О О фа о о о о с» о Е 2 И о х сх о о о х о сх О О х д 66 6 х .О $~ 'Ос о х о »О Ф Ф О,Ж ы ОС ы а й.
аф о О О О" о а~ Л Я х О Ф 5о р, о х о ~ Ж ы О' О О О » а " ОО ф Ж о ай О О ж 66 О, Ф Д Р о Д Б О о СО Ы Й~ 66 » о о х о о о 66 66 о И Й ы О о ~ х о»" о й х х» Ж ы о а о О, Ж Я ы О 6» о о ы 6( О о ж х ы о О д о а, о о ы о о о Ф О о о й О О с'6 х З ос ОО Ь4 ° и о о О а, о о о о ж х Ф ы ы 8 о 66 ," о о с й Х О О о о О Д О ы о Я О о о: а а О й О О о х О о ~ о о >ж»' 66 6» Х СО офД , 5'- о ОФ ОС ОО У х о о й 1 Р1.
~Б. о о о х Ья5 о х О6 О ы И ы о Ц ы о ы а р О 3 о о 66 ф 65 ~ ~о О а х о о х х ~ 3 х й 'о хо й О ы о а о о МЕЕ ы ох х о х О О >х х о а а~ щ о о х о х ы са ",О И~о х о й х ы К ~ о о~ х ы й о а' х Б$ й$ о о ж „ о ~~ о о Й ~ в о о а о 6 О 66 З т с л Ы й $ й Я 6" х » х а Вйй ОО5 О О,а ооо о са о О' О О О со х о у 3 с, Л О Мы о о ы Р х и ж ы Е о 2 о о Б И о 63 О Д СО О сх ы Е о О Гс а О" о и О ж о о о П 33 х о О, Ж И О.
сж И О о 54 сж И д я о Дз .О й х х Й О ы О О ы )х й о В ы о х о х ы о О со о с О О ос д 66 1е З,Щ ы о Х 66 х х й о и~ М и и 66 а ы щ ОО сх О о Й СО ф ы Я И ж ж О' О Б .И 3,..' Ц ы СО О СО Ф х о О й й О Д о о х 6» 66 ы о а о 2х Х О о и о о О ы О о а о х ы о х о о О ы Ф д й О 66 . "Й х Я о ~Й О' ы Ж о О.Ц Я ы 2 о,й х ~ и5 ж о о д Х О' х О» о ~с о О О сд ы О а сО О, о о 66 ф о о о со д 'О ."$ о х Д ы 66 а о о ж й Ж м д О О, О О И ,х о о Я = Я Я о Р и ~~О о осхы И я Я о Й Д о о 6О М Е' О О х а сх о о х о о ОО Д х Д Я Й о Охс О »,О, В 5 й" о о ы о о о о а О, о ОО ОО са ~~х о о сО Ж Ф ф ыо Ю», 66 В ОО ю Е 66 Ы О, ы ы о а о а 66 и д ха, о ~ о й О Ос о а 6 Ф са о о ж с о ы Б о ф са о о о а, о 6 Н." Ы ~ ы О О о й д М ы ы о о ы О И Мд Е о 1 о о о о о Д 66 ОС оаэи и ы О с» 3 О ы ха х о О, ~, Х сО ф ф 3йо о х х О фа дох сО ОО д о и Ж Ф ы Иай СХ ОС х х М о р, о О х р, )б Я Р' о х х ф о р о со о о ф о о р о х м р, в т В И о х 2 о Д р, ! К П сб' ф Ю ф с с ф О О сф О О Е ф О Е О ф х и Р' О ф 4) ф о ф ) О 0 ф.
л ф а 5 р, о О Н О Р' о хо ,4 х аО х О О ад о" о х о х охд Р' О ф р х О б) ). Р,о О Х о х х О о, р, б) О о м о х 0 р, ф о х ф о х о И о О О О о 8 О О х о х х ! б) О 0 Х ХХ О М О а О б) а о о х х о о а о,), Х О Х ф О О х о о "' Я 0 р х х 1 М О О о о х х х х О О о х> О О Х ср д о Я 6 ф \х О )с ОХР., О х х ах О О О х ф ~1 Р) О В-х х ! 4) ао б) Ммф о ООа О ф б) Р' ф о оох х И хор ра о о о и 4 Ь х Р) ф х ф о ф о )б р), р, о о х о х о а я Пя ь хм ьм д ~» 4) о ХХ Рб О О р р) б) О О о х р ох ох 4' х х х х о Р) Д а бб о хх и= х ю д Х Д Сс) 0 'ф Х РЧ с) Е'о б О О Й й о ф о й ПП Р „й О б) ха х х О ср Р:"2 8 )х )х о д О д р,х Х О о х И О О М х о х р,х о О о х о м р, Ц я х б) а хм о м, о са х ср" )Х о х" о О О а П! о, О 0 х х Е х о о о ф о сб х х 4 Х „4 сб о х х О О р.
ф Х с) - а х „ Й х )х н х я~ о ох х )б .4 )х х Я Р" ах о И 0 б) "х М х О Х Х О аф О о хх р, х о о н а,р О х о о х с'\ Х ХО д о х ад о Х 4 о 6м о О й м Н р Х б) х ~ х ах Я р, о о О о х М ОМ а ~- о р ф о ф О Р' Д, М О О н о »О с) 4 х р, 0 О О х 'ф" р о О х р, х х о а,„ р) с'с а ! Д И о О р) ад Х О ср х р \ф о ф о ф О ~ ~х ф ,4 Р) ах О О м х о д О О о Ср ф" о фон д х х их х :'"и ф Й О О ооа ~й" ф )б М о ф ф Осф ф о х 4 о Х$0 6)х О б) 0 хП0 н )х о О о Н о О о ф 'х )б О ф х ф сб б) о ) О б) х о ао иР х х Х сб х а х о ф х б) 2 ф х д 0 д о ~ х ам Р) о хх О О х ф ~ я х '-П а3 о х х х д Д х о о с) о х Р!' О ПП О РН, Р о н о О с) х х о ф Я х о р, о х о х х х х м р, Й 'б П 2 р, х о о 4 х а х х х Р' х х 2 Й Р,' о о И х о й х О о х ф о !И о О ф о р х о о О о х ! о о р Ср о х О о х 4 р! 4 ф О )х о ф О ср о ф х Р' О О ср о к о.
П РП О: П о о х ф х о х м о. П х 5 1 $ Б Й О о ь Д » ф О ф ф х Е ф х РП 2и „"а ж х »х х О О ф ,4 Х о о х р о ср ,4 Р) х о о х )б ф о о о М о х о О ф х х О о О О О )Х х х р, о о х о х О ОХ х х о х х о ф Р! о ср о м р х о д Р1 х о РП х о х д х р. 4 р, ф Й ) О о р о о о о )б Р) х Р х Д О ф ф х м С) о х ф О х х О р о о ф р . Я о Р, О хю О О о П.) )б ф сб й о И о о о й фоОх о р, й о х х о 5 о р, О х о ф о о х О 4 х о х Х О О фх о х р с) х о 'О" б) х х Й о О о д Х О Р) И о ф О О х сб Д 'О" О О ОХ Й ф Р) Д о хх ф о ф Р о о о х х О Р) х о мф о Са4 а О О о о ХО о х х Р! о о р х о В » й х ф о О О х о х о О р, м х б) а ф О х х х р, О ц О О м о о а с, м о х х ф О О о О Х р.
х фх о 4 о х о х р) р й хх 0 оф М о и о ф х х фх О Я О х о ср О о И с') ~ о х х ср Ц х Д О ф х а 0 о о О Р) х х О о б) х ф 4 Р) о о й Р' . о о" )б Х ср х о О о х ,0 О" м о 4 Х ОХ ф о а хО о х о хо" фО'О И о х х 5 О О Р, О „х И а о х И Р' М о ф о х Ц И .4 О а ф о ф р, й д ф ар) а О о $ с) р, б) о Я х сб ф х х Р' б) х х ,4 х й й р,о о ф х о о ар о х х Н о д х О оХ ф о о о р. О о ох аф „ О о о ф ср Р' О" х Х ас) о Х 4 хпо Я Я о м ам х рб х хо 4 х х Ср б) ! х Х О О ,*) р) р, о о о ф $~! Р) ф х о о О Я~О о о ф хО Р ф.'.
х о б) О О Р о о х ар, "" о афх 3 И х О Й О Х х О О ф«о о я ф х »О О ф х х х р„х ф охх Я б) ф НОф р, ф х О )Х й 4) хфх О О о ) р ф аЕ х о х х х Х ПП р, о О й ~ о р со о О о х О ах ДЕ х О хя Е х И аа .р о,х х х Д х р О Р' О Р\ О О х )б х ф О О р, о р, о о р. Я сб м х х х х Б о х О )б о Х ср о М о ао р) О х о о д ф о о а 4 х н о о о о х х Р" Р' о о й,: о х о о х О о х М Н » о о ф ах х х о И )б Д 2 О фо М 'уИ О б) Ср ф 2 х х о О о » о И а )Р О Х Р' Х О Х о И! Й х о о о о х о о сб О 63 6 с ) М О О.
О )О О О. х с Е Ф О Ф ы х ы с х л Ф 4" О Ф 63 О 36 О ) с с Ф 63 36 О О с И 6) О О. .6 с х с О Д о о „о хм а Ы Х й о д о. о р о ы н Ф Х о, м хм о о, Фх" сб р„ ы а» ы х М д о о йоо х Я о Ф о хмо й сс о о Ф ~- й Ф ы 3 )Х х о о н Х оо о о нс ы )ч ) х х ы 63 о х оа о х ы д о о о х н о Х о ,"4 а И б) м О ы М о х „. х ы о х а Н о О Ф И" а х 6) ы Х с) Ф ;Р ы )Х Ф ы о а" х Л о о Х д о о И Д о Фн 2 о 6) Ф )Х "аы ххо » о Х ас ы Х ы х » а о" Х 63 х о аИ" о» о о о Д о К одах 6 н а ы о О,х с) й2х Х5о о, » ~р» о х х д о о м б) ы ода ы 4' О о о о,с ФФ О Х хы Ф ас б) Р о ы ы » Д й х бс Х ы ы ао ы х ас ы д Х ых~ Б ы а ао хо уи: ыхо ФФФ Х х х о о но 4 -о о о х о 63 Х О ФФО о о м Р, о о ~„ф аы '" ФФО о х 3 р д б) о с Х И с) о о сб о ф о о Р о 0 о о И Ф д о м осы а Ф ы о й н ыао о х ы 0 х хм ы о ыоы й»х о а ы 63 о о д ф х' о о о о х х !$ ах о ы о Ф Х сб Х ~а ах Х о о н о ы й ы о 5Ф х 4 б) Ф а„- И О Х й ох о о НО х х Ф - о ах о, о х ах ы о Х х х ох" о о о х о х ХХ Ь)х И фо х х Ф)х с хо )О 3 Х о Ф сс ,4 Ы а хо Оий х о, Х О 'Ф' )о ' о Ф х х а о 63 Х х о ДйБ йын о о х о а 1р О ~~ о о о ы о, о с) ~ а ~х Ф »х ах х о о х ы х х о ф5 О, о Я о Х ы а Х сб с х Я И с хы о о )х о о о о, Х 60 х 0 со а, о Ф ) о х с м о, р 0 сб о М ,) Фй Х Х ы й о о о х д х о )0 63 с) о Ф б) ы ы д Х р йхо ы о Ф о о О д о Х ф О о~ Х х а )х ы)о о Хы ОД) хх .
Х о 3 О, 4 В' и о х О 3)о ) Ф оо о Х сб 4 О,С)о о ы о Х ы Х Х ы с) Х 63 )Х 4 ы ) )6 о х 6' д ы х ы о хю х о ы я Д о о Й х ы о Р.' 1й о о 6) О Я х Х 4 О И с') 4 Х Ф с) Х Х Я Ф о о Ф о 4 Х б) й а Х х о ~х Й4 д о ~ о 4 )Х б) ы х х о х ых а Фх 6) 4 х о о ах н Ф д б) о о о Х м о о Ф Й $ сб И 63 Ф о Х о ы о 2" ~ о )х й о о о ~Ф о » о ре о о О одй о й Д с) х н о х Д * о х и ." ,6 о Ы о Ф о О, х 4 О 'Ф а о х о ы а х Я Ф,р„ о ы х ы Р х х 3 4' Х ;6" < ы о й и о о о 4 Ф Х Р х о х о.
о ы о Ф 6" л О. о 4 Х а, о о ) И о Ф о х - н н, Н 0 с $ с 3 й $ й Ф О Ы $ % 2 Й О х м 4 Х о о, х И ы сб о с) х а Х О „ХО х- 3. 60 о о' о х 8 о И х ы о о о О х Л 2 Х о й Д о » ФХ фх Ф о ' Ф 0 ао О со о -Н ы О Ф я д И Б Х И 0) сс Е о Со" ~, л Й о д н хх о х 4), о Х с) с хам о ФФ Х ы Х )6 х х б) о -4 й о д О ар х х х ы б) о но ы р, х х о х о ы О х х 63 Х Х ам о х н о м ыо ах х х о ы х х Ф ы 3 Ы х о а) х о о о о ы» х,б Х ХО. ы х Х Х Я о 63 о х м о со о о н, о о, а. ы й о, Ф о х Х 3 Ф о, й х х о 63 а о о х О а И Х о х о, о о о х х о х 3 Ф о Ф м 6) Я Ф Х 3"- х х ы ы И н м о, о о о Х б) Х х сб й -:р Фн х )о ~ » Х Х хы Х х Ф ~ нх с) о а, )Х Ф 2 й а о „ О д о а '" » о х 63 аа х х х ны» ;Р ых х о ы х „ б) й сс х а о х о Х о с) а о Х Х о о $=' о о, о о а с~ д ы о Х сс о о о х 'х И й~ о О,х н ц о 1 о н, х Р с) а Х )Х сс ~ $ "И Я 0 о а х ° ох у Д Й о оО а ч) х о" о Р$~ г~ $~ х 36 м х , Х Ф о й Ч) 4 й о х ы И о сб $ 40 о Д ~ хИ М.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
