Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 4

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 4)

Х Х О СО ОРО о о х о о О о С" о -'4 Ф О,х О О )4' ы Ф Х ах х ДОО л ~ ~ л о -с И О О, Фоо» С> м о М )Х» П р6 О 4) о м 3О С4 х ы со х )х о о Ф х о а ц о о О О О о х ы о ы д х Др )4 Ф х х о И х О )О о Л х л х ,4 х х ы СЭ о о, о ы х э' Б )О О Х СО о, о о д о ы х Ф ы Х О О О .4 О О, Ф Я О х 4' ы 4' >С т с) ы ы > Й б 2 Е О. )Х О О.

й ~ Ь х х )4 о о и 3 м М Ь ы О О а О х Ь О Х. О 6$ о х сэ О, СЭ т о М 4 Ю х о СЭ ы о СЭ С) Я о х, ° О Х 4> х ы м Л х Ф д о х О о м )4 ф о х О О о И Ф о О '4 О х Б х сЭ о о О И О, х 4 О Х 2 О о х О 1 Х О х х х щ х о О, о О, О, О, У О О )О Ы О.

щ й Й Э О й О щ О ы О М Й О. Й Й ° с с з щ М О. х х х щ ф х О, х » О, . р а ы эа у ы о х со са ° и и Рй о х о ы х 2 3! ах х х о а ы О Х о х ы х о ахх х щ хх уи р, х ~~ о О У хь о о'х хб~х ах щ ~ ао о о '" » Х )О о УЙД х)5а ы )1 х щ сс у х ы сс) щ И о а, д щ )х х хо ы а х о о о д со Х1„ ы х сс о щ х х ххх щ сэ ы ох х х що а х х щыа д ы о ы й щ д х У~ х х х х ох о ~13 о аы '" )" о о о х аД щох о М" х о о айр ь.

о ах а, р У ы ха ы х х х м а, й сэ ~;„ Я'Х Оо Э Ухо о х о х Д о о ф о щ)х охов ы х д щ х х ИД х х у „, х,„. ы щах х ~ щ „х о хЙ)ох Д х Ех~ Х о ы ы И о ь м Й о У)Х Х о о уао ы )х о о Ц о с) щ х „ ы о о й х с') о и! ох х х ах щ ы ы х х а с') у Р ,в, х а ы о Е а х СЭ щ о о о х х ы д х д о а Я У х о МФ о М х о щ щ м й й с) о х и ы я о х х х о о д У о о д О, х х ы х х" о щ У о о МР! Д м "о х И с„с) х 1х! о О,х о хо щ щ о м о о ах х х ы М о О х ьдх о 5и' д ы "х)х х "6 ) 'д Й ы Х о о о о х о й 5 а о щь х х о а О ь сэ О х х х м х Й о О, Ы щ о - о сс й о о х а о о х хх о о о с) о х о о а„ о о о х щ о $ х И щ щ х сс й х "„й М о Й х ц 6) ы М хх У М о ы Э щ о о )х д о щх Я щ о х о р х о, Й'6 й х ы о Я о о) щ О о О Ях~т~хх О, а со ." о,„а охщх с) щ Х ы о) сэ х ~ ~сэ ~$, о Ояко охах» Д о ох, а,РЯ „"1~-ж й ~~ ХУХ~амы о ых,х щ )а х охыоо х,х а.- оО о щ ор) й х ~ х о ща, х щ ' х о Ы Х М Щ О И И о х хх ыо й оыу)хх омщхй У' ы и х а Д ° У о м о ах ах о И о х а У Й хх »)х аз х щ М о х Я М й х с) х о ы а о У х,х х х ~ х ы с) ы )х о .о о ы й~ О, Я ~, о О, о я х 3 х а мь о о щ о о о о о а ., ы о д х Д ОЭ о ь щх М ы сэ й О, о х )х )х $ и о РО у й $ О У х Э О х ы " ~, "х Х Б " '" о о О О О Х У ХЫ Х )Х Х Ы» Ы ЩХЫ О Х ьщ Х Щ Э о Й м о о х ох х о "о щ щ фх ы х щ х»Я х щ13 х-йьаоххх ь 'а о )о о х щ о» щ" р ы ь х ы х " х а щ)х х х о й у О У о ~Х Х х УцщдОХХХХООЬ о ы О ы й Я х ь о йххХаахщх -хщхохыя Х О О СЭ щ Х ы )о ы щ Х у у й ы х щ' о о щ х м х х ы ы х ь х х щ о м аха)ооЩОХРххщы»-дх щ ых ооащ мдха д щ щ Х Х О Х а)' О щ ы щ щ х ы щ о х~щооахщщ х х о о х х о ~ ~ а ц х со х М ых эщ 6 И сэ х ыь х ы ощх о д ы О х х о ьо о ь" хо щ що х х щ Оа х с) х щ щ щ о х о м о "И Д5 ° ) о о ьд й ~ ° 5 К2 о ы У о ы й о ы й Й„'" щ о ~~~ о И а,о ы а щм о х»а .

х о ь х Б о щ х сс х а щ щ й о.хм х о х ., х ух., о ощхщоы Й )1 оох" Йям у ьх хы» о ~ )оа ы с, ы х х щ охохыыИХХФ о»щ х у о о х о ь о х х о х х х о мох ы У щх" ях" хщЙ ащ ХХ ы)х о х сэ х ы х с) щ сэ х щ -И4 ххх ухо хай м хы М ххх о 0 а щ ХМ х о о 1" 23 Д щ ~ а)О о о о о х ФИ сэ ы Р) У М х О Й х о М О р. О сэ о р р. М н н о«1оаЬэ ипи Иопи«1ц эгсаэн«1о1 Ф н Ф с с н ихжопиоп еаэ«1лн олонэча,1пии олончсххоп сач1поиоп э ипи иьэп а ииеьэеп иисчаиопи«1п ехиец эсчаохиопоьэ иеи э»чапаи«1ец1 иопис1ц о н «» р с О М р » ЭЖ ЭЖ Нее»1Э ЭОЛЕ ЭЕ.«с и н В О р.

(изиьсч«1хоп епчпиопи«1п э) аЭ 1Ъ' пь« ЭОМН НИЭ1Э ЭЖ ЭЖ ЭО«1Е НИШЭ ХКЭЖ ЭЖ энпьопоаооц о р. Я н и н р. иоша1ц 1Хс юлэнопиох ежынов эинэжн19оси эохээьспеиэхЭ аоеоасча пои«Ьье1«е аоиоасча еи«1о«1» ДЭ1«»1 хонйпоеп хсчньхепюх ьоно оловжеснои аеи«Ьсе1ь1 н1 Ю Ю Ю с чопорна яжеснои посэу»1 чЭ1ь1 счснэносечоч1 есинзиоиион ноиоесча иинзнимзоэиди счюоэзь1 а и еиии9е1 х а с Х Х а Д н и И Д Х Х о н и а о о ф й о и 3 3 й Ф »х й м х ~ ха о о о Ц о Х Х Х о о о о Х о о э Х о с" о »Х о о Х «С н '. ХХ Й и о с х о о М О О о О х а" о о :с» Р О О Х»х о 4$~ '- И а о еэ ойх о о о ~а с» .о Х о »с я ай Ц хии Х о х х ,е Я' Х СО О Ю р ч аэ, х о цР о сч б Х оа р Х ~и й И о х Х р о СО х а О о с Х с 5 Х о л ср О о 3$ ~ а о Х о о О х Х О О о О х о о Х о а о Я й р Х с» Х Е Х хХ о О р, о о Х О о Х Х Х Х и1Й О О о сс О Х О Х Ф нюс Оох а хО о ~о Х р, о и о О Х о р, Х а о о о о Х Х Х о с» Х Х - Н о о $ х Х Х Я Х Х Х Х о н о р, Х Х Я с Х '" а и о Х о а~ М о с» Х с а й О «» о о о он Я й о о я о О Х Х о а о Д о о х о с »с о с» аа и Х ю Х 6„' Х х а о О о э.

ар Х Я со а 'И " р Х о Х Х и о а р. о Х ы о х Х Я 2 1 о о »Х с О о 2 х хОо Х й о о Х $ д» Х»Х о о х х Х ж сз ж сн сн О О О х ы сэ О а» О. О ж «О О й »ж Ю О О О э Е а» э» Х Х Ю э сп Х Х В сэ Й е» чэ О а «Ъ сэ с сч Х о о Х О х3 ф Я Х о Х с $ Х Х »Х $ о о о »х О, 0 Х э н оэ сп Я И Х о о о О Х О о щ Х о Х Е~ а ~ Х О»С Х о х о о1 й'6 О ~ й р. »Х Х Х сс с с» Й н о ах х о м Х мо оБО о х арх о о о ан а о Х Х м хпо Х ах о х :с «» н сс О х ОО Х а Х Х о хоох и о о Я ххио о О м С Х о щ х Н о о о о н мХ ан О о с«р о «» с х э о Х Х рсх Х О, ОХХХ Х Е Х о »Х Х с» Х Ь а о о М а х х и «» о Й о ао Ю и о о с ф о 5.

о » «» Х »с о Е И' а о О Х и и Х р х о Х ° » Х О фо о О, »с и 3м Х КФ О Х Х~ а" с о »с о ,"«Х о о О О ХХ о ах »с О Х р Х Х о о Х О о а а" х о о х о о. и ,э х и о Х с» О х о о й и '" «ч СО о э Со ср сэ нс и Й Н й Х о х О и о Х о о 3 Ы с. ф х ) 0 О х О х 3 О с с х О ф ф И с. $ с х О о х )х о о а х х о о о о х м а о й) 6) 6) О) Оа х О о х х о х И х ах О 'С с3 6) Сй Х О )х О О 6: о о ,й 0 О х О О а й ~ Я Р! О Х СО х Х йй х о Ы о х х о й О) О й'„ о Р' ф о р 0 о О х ф х 63 х м х о со Х О, о х х х О сй х х а 0 ф )х х м о о о о ф" ф о о ц х а Ц' Со х О 'О со И о »" на о о о х а х х й о х о Р' О о Д о Л О о н -$ а 6) ~ на со ХО О О хХхх О о ох)х ф О О О, ) 806 6«ос х х н хйо м О О о ф ф хф х „ х х Ц „О О 8нО о „х8 Х ХО Х О Х ОЯ Х О ах ОСО ф О ох х о х х Х СО о х „ о о х х о ф ) 2 о Й~, Х сс О Х о х О д О со х И О о О о х Со Х о Сй Ц 6) о О Оф М Е х х х )х",~ О Д х с О Х х ао Х О х ф' О С Я х о о х РР «) х О о .«3 й й х фа х ОНМ х х д О оно ф О о о )Х О О О О ХОО О Е'" ы фа ан 8 о х 'х' ф О Я м фх х м О О, х до )Х»О ОХО О ф«3 х Е'~ х о ф хо иха О ОМО О) О хаб О, Р' о ох х хо х х Х )6 О хоо х о ха «.3 ф ,' О о „ф 33 о «)3 Х н ао О о сй Л О .4 ф х л х д сй Хо 33 ан О, л х О О„а хах о О Х о ~~1:: Р,о а х х х с Х О ~ о о х д х О о ф ф Ц 0 О Х м х до О ф о х ао ход ф О Л х )х,„ охф ~фх о О Сом О О о а~ $ йод х с.

х Я о О о фо о ф ф О )Х о х фх О о о О мох о о )х,ф, О Х Р о х о о л о а Х нл х х ох о ф о „о нфя х р 0 ХСО О О сй о Р~~ о фх ДО О ф д О Д ОХ о х о х я со о о Сй ФЕл О О Д Хсо х о х о о ф 2 ф х х 6« о о х О х х х )х сй х х со ф О СО" Х м ха Й х ,4 о О с) я х $ ф О О,) '0 О, х о х х о о х о о о Р. х о" р о Р' 6 х 0 о х х Я о о х х О,)Х о х х о В» ,с х 0 Х о 0 Х Я .;Й О, ф Р' х Х О О ф х о О Х о х о х О сс ~Я о Д. «О О 4 о ф х н о И н 4 О о м Сй И х х» СО Х о О) х о О )хф х о о о х 2 О 48 О Сс )" О х Х 63 О Л ф Х 4 а Ох х 8 о о «О о О, х о о )с х й )х о $ х 2 )х о х х х о о О, х о о х х х О О, х х ф Со ф ф ф й ф с 3 О и 3.

$ 3 $ $ 6 х х х о о 63 х а ф О, О о х х о 2 И Х О О а О ~$ д х 63 о о х ) о о 6« х о ц х 4 о о $ы х и о ъ И" СО ц о Х 0 х ~Д 6 Со о )х х о х о о х .4 Р3 63 6«а О О хХ ф ф а х „ О ах М О О) О н о и ° ф о а х л о И О х ф л х х " -Г, .Я х о й« Ц о И Х СО м ф х 6) )Х о с о х о Х р О х х о о х О о О) О о И о О х 6) Х сс ф о 63 о х х а О М ф о О Х а о О х ф О о 8 о О" Х Б 63 ох О )х о х а Оа О й ф Р3 «4 4 о х О, О о х 1 х,б О х х о н а ао о ~О Ор "- М О х х ф~ 2 ф сй хм Оа)о о д х )ХХ" О) х х лхфо Х )' О 4 с Х о ф юхх О 6) О ф О хф а офх О д о х ф о ах О .-:'Ий О О н о а со ф Сй х а)х Д ф х О н о о о » Р о хх а ах х О Х а„ 3$и ОХО а о ф ф х йя 8„3 х х О Х х О Х О сс й ф х о Йй ф о и х х ° ХО «3 х о х О со СО -3 о со Й х х ~ о л » с.) Сй со 0 С:) р: Х О х Сй О) О х хй ах х х о О й о О Х 6«О о х ф а О о о х о а а а х ф х х ф я с) Й и ах о р х о ф И Р Х Х ао О О Х Х о а К х О о а «-3 Р о ф И х х " с> о «-3 6 х»(3 63 О О О О.

Характеристики

Список файлов книги