Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 5

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 5)

о ф. О о ф о -'- Д хцха~ )Х Х О) О ОООО х Р) ОХ ХО баххх О о О о х 8 О ф ОХ ОХ ~„хя М ~ х аф ОХ)ОО ф о О Х й32 о ах хо 6«оо н о о н 0)х Б О а о и ахи о фср 3 а О О х х )х О О О Х о о О н о СО „63 нхх Р' а о со ан 6) сй фхх о х 43 а о ф Р' о х х. х х Р,'- ф о сй о О о О о о о ф НО м х х х о со 0 а б» о И О 63 О, сй л )х о О О х о о о о ф х ад )Х со о ф О О о х 6),й с ф2 К х 4 И О) ф о Х СО О О О ф х х О о х о д О ф СО о 63 н О О ах о со о о х О х х ф х а хЙ мф а ф д х о о )х о о х О о хх" х О Сй о о о ф й о х Ва )х х о д О О х о о х 2Л й„" о ф о Р' р О О )х О х)х «о М х „ Ф О х й о о а ф а ф Х 6) о со о х а а о о йс Х СО а" о х х о О сх о х .Н3 о х Б о л о Х СО хО о О йй О 66 о) Х со Х ОО о,, х -;р о 0 6« ~ а о х х со х «), фВ » 6) В~ О о йс«о О О х х х о О О о о И )х о о с.) х х о а о х о ф оО аф О )Х 63 о с х о о До ф О) 6) х)х «3, О о ф .Я, О) О Х х х ЙЯ Д ф а 6 И о «:3 о ! О) о) 'О о о о О, Р х х о х х О О О у х х 61 о ф й Ю аэ со" сО Ф сО «О О ,4 Са х х Ф Ф сч Ф Ф Ф с О О.

О ча \Э О О. х с Е Ф Е Ф с х Е О Ф с О Е О с с с Ф О О. Е с с О. Ф са эх х хо х х х х о хсф ф О Ф с Й о х эх ф Ф О о офф со Д Н О ос о И О О ф ф О ХО О Фхх о х сох Я, с ф ф х,а ся" о о о х о х ход О'0 х о о о Э й х х 4 В са е а о х О, о о а о о Ф о х фФ х х х о О х х О х о СЭ х х ф" М о ф Е о д о а о х х О'.

сэ х ас Ф И ИЕсо О С О $ х О ах О Х са о ф о хх о р х х ф с фо р1~~ Вф Р' о х Ф а О Нс Я о о х х,Г о 4 х Ф й ф о о Ф ю~ оа а '4 О О о эх х Ф х д ф о о о о И х О О х са х сэ х о х о х х й 2' о о о ~ х х н, к о х Й3 х о о х аа о с'с Э" со х„н х х .Я о о н р'=„- О с ЭС ФОБ с Ф О о ос Ф ф х ц ф х ф Ф'С- а ххх И оса с ос ххф д Д ~2'Р й Д- ф и фооф с 2 х й о х о о х х х о х О О х 3 0' х Е о, Я о х о й о ф О М Е О Э Й Е и.

з $ и О Ы $ Ф с Й о О а~ О о сдох Х фн '~~~о ~т' о х Х О хф" ф хх Н ~ х Еэх Ф ° Э ао „ х х о М х О. М х о - й Ф Я Са ~~~ с~ СР ~ ~16 о х ф О, 4 о ас х ф о Н Й~ о ~ с д о, о Зй Ф о аэ О х О ° с ~ о о м О у, о 00 х х СО С Л Ф О О „о Ь й ,0 а.

ЭХ . о О о са О, й ь СЧ ф а О ОЭ О О 'а м "и о 00 а 'Е ФЭ ' МЕ х аэ Ф сс" х хх х аэ" о о о х Ф Д' х д х о о с Хо ф о х ф х ф о о о Ф И ас х х й сэ х х ф о о с Х О О Н, х х и х ,4 4 ф х д О О со о о .Ф о ф ф о о О ф О" Д -' ~,х О о о ф О„,а эх Ф о о х о ххй хс о ф о Фоф о х хо хнф ЙО О х "~ эх х ,0 О О ХО, ф 0 О ас х о Е Н о н до о о х 4 О Х ф х ф Ф х х сэ 4 ф х х о 0, О о о ас о х са х о х И х о х с О, "Фх х х ~ х 0 ах х х о н фО О Ф о х ф о $фх~ х о Ф с о х ф х х о о фФ х а х о х хн о х х О Ф х х х ф Ф ф ф х хИ '4 О, о ас о х о х" х о х о х о ф о х И Б о о о О О ф х -Д х ф О О о Б о со о х о о ф ~х сЭ ф Н о ф о Ф о Й'" $ ,Э, о Д й са Д Са эх ха х х ни о Ф Ф аэ Й иБ ~, о сЭ х о н 6 ф о о Х о о с" о Х х Ф хсо о Ф Д Х Нса ф х Я Ц О, О о о х о о й аэ О Н о х >, О о о д х о х х Ф 25 х Д О, о о х ах х х ф Ф д 0' о ф о с х о О, х о х о О х о х 0 аэ о Е о Ф х ~К О с о хф о о х с фо х х х о ф о,а » х д ф ас О О с~о х хо 4С ф О Я о ф Ф О х х ф О х х х О ф о О сс Х за аэ е х Р ОО сс Х аэ х Ф х 44 Х О Я ь х сэ Э с аэ '4 О эЙ х О Х са О 'Ф СО с О„ еч Ф х о Р ° Ф ф с о о о ~ ф Е о х со о о с Ф О Х 0 Е Ф х,х3х о М со рЯ Я Н 1 с ~х о Ф х о нх х ф о с х о О О О О, О о х о 4 эа х о жхо о Х О Са Ход х 4О Р' ф х сэ о о Са 4 0'Н х хна о ЭО Х Х О,х х 3 х хо О О О О О, 0 О о О эх О,Х о х Ф ас ЭО Х Е й Ф Ф о Е о адф о о о о ф о о х х Х О о ф х х охи О со о нф'Э о о Е о Н 0'Ф о о 0 М о д СЭ 0" „Ф х о х 1ОХ Х ф о о оН, О, д О, Й х д аа о О о о.

о ы о о. с с с ы с о с х з с о х о с с о х й о. с з с с $3 с о $ х ы о х и О, 'р х СЭ сб О О, х $ о о й ы х х с а О СЭ д аы х СЭ СЭ х."И ф аЕ, У х х о о сб У х х о х о ф Х О, о у ах ф о,о ы о осу ы хс фо фно О 1!р хэс о ы х д и и ." х х хы Х О, сб Сб Ы ы 4$ а ы о ы о у о 4 х о ы х я, х 2 Р сб с'б х о ы у о Эх х о О, ы о ф с х с о х И Я Д 6 4$ х х о о О х ы о ы ы х ы ы ы й х '$$7з х х Е со Я '4$ х 1к х „о „х х о ф ы ы Д о ао с о ф р, Х С3 4 Ы сс И сб й ны а х И й У 4$ о о„, Ы 44 а- $3 $3$ хбэ сб х У о 4$ о н ф ы о о О, о х ф х о о х ы ы х о 5 Е В И а с с с 43 с ы о ы $ с о с й с с о с 33 д о с с 44 С с о с 44 с с с о сс с с мс С с с Я с с с ф с $- с Я $ $ су 3.$ Ы й' $ ы ы й сэ У ~4 х ы ы СЭ х ы о ы х с ы со о со ° 3 У У Е х д с о о ф со о сс О" о у ~ х ы о ы о х М О 4$, х ° 3 хо о О„ф о "2 х о с.

ф" У ы О ы о ы х ы ы 4$ ао о Мох о'х х о о хо ххх о н о схх а ф ы о $$'э СХ СХ ы о ~У И о ха4$ х 'б' 43 ы'Х О, о о О ы ф й ао с ы х я Х ОО У 8 ы ы о х У ы аЫЕ и~п аф о с У ы СЭ Х О, 4$ О х х ф ы Х ХС4 4' х о ~ ~~ Й 4' СЭ У ы с но СЭ ы ы о о ы ЭХ 'О о х эх ы ы х о О х х о И Ц ы 43 Д $43 й $4 х 3.3 м СО Х х ы У Й о ,Ч У о $3 со $.И х охс х ы ох~ х с о сэх -" Й Ф ф а~ 3~ Й У хх о х о 33 сэ О, ы ы $=$ х о 4 ы х о ы сб о о х Й ф Я, у х х ф У о ы $4, м' о ы х ы 4' ы о х х ф Я о х $4 ы 4$ Х О д У 43 43 ы О х Кд 2 ам- О " сч 43 Х У я'~ а =$ о .Я сэ сс о х о хо й СР Я с Д ф ° 3 у,ф й х ОСО 43 о ф х' а ы р хо ф 1 2 сб ф о 'с 43 ,4 О ф о ы Сб ы сб ы ф о У 4$ о ф ф о ф ф У 43 х "х ы ф Я ы И ф ы о д "Я х х х х И о сб ы ы д бЭ й х Х бЭ о ф О У ы эх х ы х ы ф о м 4 о ф о Я У Е~ о йр Я," О„'с со о о 3, д Е О, 43 й ~ х О СЭ 4$ Х С« о ы У х о ы Й", Х 4 х ы х о И "о 6 хн ы о ы о ы ф сс ~Ф о й ы И со О.

О а о О - "„х о х х О Я о х ф о О ы О х о ."р х х х х й Д у' х ф с«3 х !Р ы й о х о Я У 1 с ф О„СЭ ф ы ф й о $43 ы Ихы о 5х 4$ О, ф оа .$ сэ ы СЭ 4 о Цх о ф ф Х ох Н Хсб ~ Д ~-а х х о с ф о- " х П! й,' У 6 ы 4 Х ы $4 ф о ы х ф О О о :4 о ы х ф сс ы ы Р д х Р 'с" ~ д Я о ф х ы '3 ы о Я СЭ о оН, 33 ы м х о о 2' о о й О, ы о ф ф о ох Х д 4$ сф хо О,бф бо У ы ф оф ы ы у —.'-Д эх х с Ц с х „~Р Я ы с 3~~ Р М ".

Иф" В% о х ы о о „-:$ й1 С'сб Д о ы Х 3 ф д фой Сбо, х 63 с 34 63 с Х О О. о ЧО О О с. Х с с 63 3 о 43 с 63 63 с Х О 43 с с с Х О 3 34 с с с с О О. с О с з с с с о ы 63 о О Я ах х х „х :К ф о й~ х о ссс ы х о КУ О Х х 4 о о о о Х о О о 30 о о 2' о х о сб а» О О О х х о о х с ,4 3 х х о я ых о о ы ф д » х х о о х Х О о х Х М х х о 63 о 'х ,4 о хх ы сд ы о 2 ы ы б' х ы а о х х о о о х о 30 2 о И н о о с д 4 о х о с х о ы ы о о СО С Й х Х О С 34. ОС О ОО Х О а 43,", Е с х О» Л 3 Х О н Х О 33 О Ос с' х х 33 о х х О 44 3 д О а О ~ ОО 34 О.

43 И ц» х О а ~ Ь '". о 33 Х о О а х„ х аф 0 ох х о сх Х СО Ы т ыахх . а м о ы ы 2$И ооы 2 й"х осх Бох ы ао ах х 0 О о ы х ОХ х ы х ах о хсх а х х Х Об т а о о с о х Я о И Б П х х С'О о мб о о х а» х =. х бб о о х О О, Х о о о Оыб с х И хн о х а х о Их с х о д н х сб о ы х х о О. О х О. о о х о х с о х о и 1 х О, о х о р х 33 х с х х 4х8 о х й соо ао н о х сы С О о 63 х о ыйа х хм о н хсх Х о», ы х Охх д сх$ О ССО хс а х хо сб сох х х'х О,О О ос о о до о оО О х О ОС О Х ы о ы ы О. Х Х О ы 0 О о х о х д»'о х х 4 ы о ы о х хы» И а о о о о ы х 8 ф осо ~хо ю» д м о 303 О исб й ас, о х д сб ОБО о а х о х ох с о х~о х оох Х О Х ы с о ххф~ ЫО НО х мах' О бх3 о 33 х о х х о ы о а ы о о 63 х ы и б' ы а сб о а о о о й х х х а О 63 х ы о О х о Х с'б м с а! О.

Б х хы сб "сб(» Х 4 д О. ы 3 о ,, Р д И х » о х а сб о о о ОХ х х о х 6 О х О 3 4 Ы о 63 о с х х о о д Х о О Х 63 ой о х д о о са" х Дхо ы ЕЗ сб о о .. о Х сб а с ОХ д 63 ~ха х ~И х ы 61 о х о О, о о о х М О О, О о х 63 сб о 63 ы х а о х 33 Х х х ы ы с с х х о о а О Х о О О о О,с» х сх ~» й О й, ! о о сб Х О о о ОХ Д М О. Я а о х х о о у Ж о о 30 о о О, т О с ы Х с 3 о $ й $ И с Ы Й о х х х о ы О, ы 63 ы х о С 43 о х о, х х 63 О„ о х х х хм д хо о б с ы о 0 О 0 х $1: Цо о, :б О о о ао ОХ Ы о х м х о ы ы х х о ы ~Х о о о О 43 0 О х ы Е ы х х Ы 33 о о Я 43 Ф 63 О о х И о О 63 О" Х 43 о оО О 3" 433 О с О $ Р ,*, С О МОЛ „а ~ оо о фоы схх х ох с о ы хх2 », й' о а о о 2 ы о х а х о о ы х 4' М Ы х 33 ы О, Я с- о сб с о х ОХ О н 0 О Д хо о с сх 43 3 -"" й г- 3 Х онд м д х 34 с о сб;4 х х х д х о ао .

Характеристики

Список файлов книги