Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 6

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 6)

х д х о $ о оа х ы ОХ Х д О с й о СО Ы О.Х аы», х о ы х 4' 43 ымо ах с -О .О, 33 о Й о Х 63 бс 33 63 о '4 63 Д о ы м ы о 'и а" М М -"' й О\ Х ы д х ы х о" х м 3 ы х асс о ф, х оы оИ а о 0 х х Ода 63 3 Ы 63 Н с ы ы 63 о ыс хм о о М с с ы х О ах Х о оО осс х х~ ° 3 аи х 33 сб о О,а '3 о~ а 3 х м Й о 30 о о х ос х о с хо », 43 м Г- х о д ах о ы Х х о~ о о Д с 33 о д хсх о х о ах » х х ы х ыФ, фх 30 О о ы а о о о о», о ы а х о И О х Р= » х о бб о о СЧ =Ш И о ы мд с о с о с» х О О, о О 63 И сб а Б а о х х о ы а х 25 33 Ы х х о Д а~ о Я 63 Х о И д х х х х 3 ь3 О Ю о о д о 5й, Хб О о х о х х м ы о Р х о Х х И 2й ЙД сб ос о а х оО О н м о Х 3», о о й с 30 'И 4 й, о 4 х о Х оС Х о о х с ,"о о х ф .'3 Ы а а ы Д х М т ах И о »х а с» 63 Х - о "4 О, х о Н ~» ЙЯ о х х ы х о с х "а Об о х Х ОО ай О о м », х Фй о й х о ~ 0 о о Х Н о О х о" х Я 34 х о х Х сб д 30 »' Д о х х ы о 30 о о о о х х Д' с ° в х х о х х Я д.В Д о с о с с й, О,Х Н о ы о оо ыо ао ноЦ'» Ы Ы О О, ы н° Лрхх о ОдХУО 3113 х х х дх 30 О о ы о 6 г- Г- д О, о о с- ы ОХ И а Н 6 Д о ах х о м х о х а х о Р'; ы о о с о Ю о" ь $'Ч с с с с В х О 3 й т т т Ф х л о О с х О т о т с 3 О.

с Б т т О. О а о о О о х )х 8х о ~о О О О О, о о д С О о тх о о Ц х ~х О Х О О Ь 3 *4 Й с а т о х Я х $$ О ах ~ с х О в 3 д Ч Я 8 х О О ФО "' с ы х е» т а с о 8а $ х И$~х а о Е о о о т о о х хБО ох Ю О о х х Я,о р х Ж х о д Я й Р схх О х а~ с о Д 8 8 О, Ц,х дт, 8 х ох т ад о фП д от1х :„6 ооо т о с т йЙ,. о" Я х $ 8 й о ь ОХ'о о о э х жо,„"- , е) ~-. ь х .е" х о И о Д т о 1 Р И о х О е % О Ф х б х О .х Д О х и ~') О 4 х х х т 3 о 8 Ы й' 8 3 о о д х о" о Я О д О„ о о х с о х )х о х с о О о 36 х» И Ь о ~ о о Й с х о х о х о о х с х О,Х .х о 8 аа ай" о а х 8 а О' О т а" Ц х" с с о хо с О, о о Ю ах о х )х с х О, о х р о о Х с д х ~ д а О О О о х х о Д ХО о О, о о о Ю о ~О о с х О х о о х о О, х х О а х х о ~о б' 8 о х О о х а х х о х О о о 3 о х х х С~~ О, и 8 а о о х сЙ ~ / ~о П а П ~ЛЕЗУ В ао ь ~' й 8 йй,й ° ° й.

т х х ~ ю х д о йь о с ат б о „3 '.й Я и т т О я о ад р а ао охйо й д т ао о Я, а д ~,т" х о ь'осР ,х х Ф О х о а О Х о о И х о х Ф д с с О,8 и о О. о х х Я О о о д о х я О х о х о Х О х о ь ~О О.- х о о х »а О Х 1 х сч с с оо х и 1Я о д йи х с 8 а» х д х х до с да а о ох а о о х оо Х О о Вох о о о ох о сох о о хс о а о о ф О ИИа д о х с х »О д х Ю о Я б" О 8 О, » т х х О, о О о о о с х о т О, о с о О Е о х О. о х х о х х 8 8 о с О х Ы Об Х Ф Ф д х о Х а хО х я а~ а ВУ Х х д О) 4' Х О) О Ф ы х Х й сч ) м с'с Е )О сб о О, ы О ы ах м й )с о а О й с с М о й О с х з о т б) с о Х О 3 СО. с з т с о И О о "в' Я с ы о р„с ) о О ы о бо о О) ОЧ й Е Х хо о о О ы а С'б С В Я И О) ад мыл а ах о а Я х а, Х Ысб х )х х о Ф О) х И Ф ы Х Х о О о Я а о о о о а о х х а о Ф о ы ы о 4 а О ы м д Ф о х ) о с а, И о а )О о О) а сб ° ) х а О) Х Ц х о ,х о о х о х Я О ы й О.

о о О о О Х О, х х о х о х о 2 «) о о х Их о д о о О, Ф '" о т х ,') Ф х о о Ф ах х о я а х х сх о х х Ф х х »й х' Ф д о О ы й о х Я О, 3 х )х о х О »х О 3 о х Х 4 4) сб сб о х в с й ы х х а о 2 о Ф ИВ ы О) О д б) )О ДР о О о Йа т о О Фа х а, 4 Х о И Х ОО о м ~ х о х д ах х 4 О Д о х Ф Х И О о Х 4" о х х ы 2~ х а о х о Ы О х х О д О а, О Ф ф ~~ в» 2 !й Х О) х а Х о И х О сб ~ а о й Ф Ха х в Ф Я о о х фх о х "2 х х х ы 4' Ф о х х О Я о о О, О а .4" й ')4 а "' ,х о ы о х х аа "а о Х О О, х х Ис 1 .в, д в' ) сб Х ы ,4 )б д В )О 'и о х й х „ м» х ы О) о о 26 с) Б х о, о а, х о Ф ) х ы б) ы Х О\ О) о о О О сб ы Ф о ах о ы м х а о о х а, х О) а с=б ы о Ф о О о ы х О о ах о ~, Х 4 х х ы о х а Х Ы О » М х о И Х Я о д 41 О) х х 4 ы 16 х в Я Я Х х о )4 о о Ох о И!и о, - о 'б о ы Об Х о д О о х О м ах сб О) Ы р Ф 'Р й )х о ф Ь о х х х ы о х Х 4 Д й 33 х о д Ф Ы х 4 ) х х .И" х ых хя о О) Х хд х сб О ) х я ис,'х хыо Х' О о о Ф" а х х о хм.

х О ы о м) сб Ц О х с ад а с '3х, х $Й )4 Сб С; х $. Х О х Фс О о Д х х ххх '4 Ф Ф о о а'х О) Х~ О ы х х д д б ы х1~ Ф ы Ф" х И х х д о осы х х „ хох О ."4 О а х О х х Я х "' " о "хо с" х о Х О о д о ~ ХЫ О о х, со с)" о ас Х са О 4' о, о х сб )х охф о ы )4 ы Х х Ф ОХ )О х Я М б) )" х х Ф Ц О ,4 И Х х х х~ы ы ы Х Х ы д Х о о М Ф ) ох с м Ф ах х О х о в О О, О о х о х са о О х о * :т© 2- О О В а О Яс сб т Ф О) 44 О. т Й т з 3. 5 о 5 й' о 4.

т Й о х т о ) О 2 а о о 8 о О Х О) 4 о с х ы )4 Д а~ х т о д ~2 ы»х :Р д о 4 Ф О о о х х О х $1 х о ы ас о О Ю ОР" )м 4 о)" а о,— 'в" ) ,х х 4 а о а, О Х хо й о )4 х х х х о о З х О, Х о Ф О Х О Ф х х о ы а . И-.= о— О 8 сб О о о О, Х ~х О Ф сб Д д а, ы х а, Х ы Я рд о ° а б) х о О х х О,, й ы о Х - о )Х х „о о)" Ф Л~ а о З х й а ао о Их о о х 4' Ф Я х о о х О д д ы "И о х х Ф °" х о в ~й Ф о) 'Л~ О В о $Я О) о Ф а х х о ы х О с х о о" й а О о о о ы Х о Ф Х х х О м о ОО ы х хх я Х х с О о Ф "х ы И я 'х ы д ы ай х Ф Ф о м о Д о я х х О\ х~ в 5 3 О сс х О О Х Ф о а о а о р о О сб с') х а в х Й О О) 4' д с О хо, й с) о о хс" ы м о х )х ы ы ы О О Я Ф Ф х о о с ыха, 4 Х й-"3' а 8,4 О) Х м Ма х Ф )4 х о ) а в х 2 й ХО, о 4 х х Ф о о ~ д о х й Ф х Х О ) а а Ф а, с И," хй ах о д в х о а х ы в Х ы .в х О) о в, О) о х Х ы о О) )' ы о о 8 4 ы х х й с ы 8, м о х » о О о аЭ ах о) ср Л с „х х й о ~ О Х д» Ф -'Ь Ф ОО ) ч 3 8 сб х ы х о х о ы Яд Х О, х~ И о Х о о Х а о) о м Х Х в' ы )4 а о .в О) Х о Ф О вй 4 х х О В О) О 8Е х „ ы О) ) ы Ф а о Д О„ Я х о у 1 о й а О, )"- Х сб х Ц ы х а о м О Х о о О ~3 х д о 4) Х о Я х О Ф 2 о )о о ~ О с Фо 2 )х х м о Й с х~ й х х й т ч ь.

д мс М О О) Х а~ ХИ х х Ц х й о х а. о с с й 6 в » р б о О б Я о Я Х с И ,м а т й х т Я Х аа 'х '3" б с д х о о х а с' ОО Я х 4 » х о д У м Б о х а о х о У о мс х О, а о х с«, д О. о Е М В 3 х Б х О д й Б й, х 6 х $ о х Б о д о д о ,'Ф о ф х "" И Е д оадх о о х оо о х "= х Н 3 ххо а" О. Р- д я.- О Х О м аД »1~~1 я я о о хх ХИУМо д ы о „, дед о а одсх од" Б ц од о ~ хххс«до ",~3 х о д а о о ода о .о~~' Б О,у д х Б о х д О 'Б дД а~ о ох о б у'о Ф,~„ - ~~1~ Ц~' о о хда Д О,Сс г' »4 о о х о О.

О. Б о х х Б д "а о о х о х ох йх Д д Юс О, «О о»» х х о м оо аД о дХ м х сс о х х о д о х СО Х о о о о О, о о О О х д х ах "К У о Х ОО' Б о Б «О о' аО х о ох о хо х о х Дха о о о о Д О. х х о х д О ОО,ХО д сб д х о. о о о Д Б Б Х х од х с« д о д охх ~5В сх х сд о ох о х с«х д ~, д х 2 в с м х Ф' х «О хо о х д уй о о О, О х «О а ~х дх д $! х О, О о о х «Д о х о Д Б р х о о х и о с» с о д х д о о „- о ~~~ х о о О, д ход д ф д И я з,'3 а ох Б д х х хдо У~~4 ~$ х о х й о сс м О » од Р Е. х х сх о д о У о од о х о а д х х о Б о Фл х х сд х д о о И: Б сс о о Д х о х о д д до о ' д о с с» Х с« о сд м. о д о о У о о о о о а х" Б а Б о х о д ах о х Б о о х х о х х х о и ° О, о о Х д х х» м о о о х о «~а И и о О, Р' х х х И ф о х м о х Я о о о $ й $ й 2 Й Я о ~~Й а й ы о с:с Р 'д 3,3 а О со о »4 о Б о' х ц'о Р о а »ОХ о сс о д 1и ~Й о д о О, Б а о о о о х о х д о пу х о ад, со мс у х о д а „- о дс а о о до х х о х д с охх о х д о ах хйм, Д х ~йЙ о х о х о о м Д м «О М О, о сс ах а о х х х о х о х д хсс с«а д Б" о , йх хх " д И У" х«о »а а аа о о о Б с« сх Б о Я аД о д о о х со о о сд" и Б ЫМ о а '" о о м х д сд о х х а О, И Ф Ц о о д О 2 о с' И Бй ~ф Й~ М Д, о с сО а мс " .Я х о д Р Е л О О сх О о \Э Б а а О О ~ СО Х О д О О.

м«д ФЧ $ оооо а Я Осд О.Х о х о .." р И о д ~у о х Дсх БУХ о дм х а сс с«х ф о«О о о 0«~ Б о х х о о х о о м до о о х» о д о о д У о о о Ех х р х д сс Б о о о х о о о о о Х о Я О, о о со р, х о о О, д с« сс о » до р, о о о КБ х У И а х о а 1и Б хд «О О» ф о х х Рй О, О рр о Я О, о оо х о д д Ц о о о И а М Б хм о Ц Б о х Б х и О, Е 3 у и )х о х о д Д . х Ц о.( Ф П )с а, СЧ х Ф с'4 П х о о. о со Ы а т т т Ф х З о т И о х ) о т о с).

т И о а з т т т сю. ос х х х х2 а о о 2 о о о о 2 а О и 2 а 2 2 х Ф Ф х 'Ф Ф О д 0 о, 2 о Ф д й о о д о 2в о х а х а, 'х В" х а, х х х а д х х о Х 2 а Ф о х о о и х х 2 О х о х Е д Ф х )х о х со о ) о х о х х хЙ Я о ФФ х о Ф д о х о х со ю ю х о' с) — а а, х х Ф о с\ о х х х Я о 2 х х 2,$ со Х О х -Ю о х ,~ )х О О о х,х х Д 2 О о о х х х д о х )х о Ф о,х о о о х о о о а, я о Ф о Ц о х х О с) о Ф ю о Ф о д с) х а о х х х х ф ао )х Ф о дади О О 2 ох ото ах я х х 2 ах а,х И хД Ь„.2 ода, 2)ох Ф х охд о 2 о 2'х О О о Ф И 2 ЦОо мхй» О и х Ю Фх 2ох хо йПо д с)О д х) и .И о о а.

Характеристики

Список файлов книги