Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

м сои Г 1а : о 3 х й Й о, б х ОХ~~ м м . о о ::хй~ ~'о Д ох Я~О о о о ф |о . йх хн„ ао ма 3 о ох о х ох о м хд о х х х й х о о о о, Р Хмоо о о о б ао а ой оах О хо, х О мю О со щ "1'О о~о т и ~х о о. М ' М 5 о о х' х о о х х Д а о х о х хйх х х х я до ~о н х ,х й,о х н мах Б х хх ДК! х о х йоши Мох о хо р хо $.

"." Вз.: о мох ах о х норд ой,хха о, и 2 о до хохХ . юох х" о Хо н х х хх о хо хм Х о о х х 'с) х оО о х х х' а х х о х х Р$ х йоо о 'о н х „" х д р Ы о хо охи ох о. И о о о~ х х~ дР~ о о х х ~ хн х 1о х х м 1 о х о мх х Г: х од й о х н оо о х д ххн о х ох о „х Ьхй Ф о о о о х о о~О х о о о о х ~4 "хх "хо й~б х х о о О хо н хо н 3 Ход н о о И о о2 б~ х х о х х И о о о й х о о, Я о 6 Я х йЕ <ч но, о~ о М х о и х" о хо оо х~ р ~" х м ф Я Я х о ° О м,в ~ ОО м,Д 'о м ~Ф Ы ~4 О о ~ ~и $Ф фД ~ Я н х м х о х а 00 40 оО со~ к Ф Ю 00 м. ю 00 м е4 'о М6 ~ о ~х а а о эИ о о и о с с О О д д' Ф хно х 'хй х х охй х о Ф" о Ф ц хо ~.9" х Д н о, о о о о х )Ж л ~ о.д од о ~ Ъв О 3 >~ ~ д3 м О ОЗ М >И Й, Д о й..

о,о, ао о оох с й- ::Й о х х ох н х ах х но о м ~О ~о м :.л х н о х о ох ххо о х но о хх о хо 5%х ,ох Ц О~= Ц д ох ~ со сч м ~ х о о Я, 'х 1 охх хо х + Б о х х о о Я о, х ох х ц о оо о о 26 д х РИ йЛ Й х х нх м й о о х х х х : о о, :~" з о о о х о о о йоо х х х ар х о хо м м еч о.х хх о ох н хо х ~ох ОО о щ х Иа х о х х 4 о 1й Й а, и Я Рх о о м м 9 '««оа х 9 а х «««а, о а, ~о р о х ы „ х ~ х О оа а о б 6! а «« о о р.-! ч а$ «н о й о НО о о х о а «! о о 6 5 о х оа «х Е Е 3 х х х х «х о ,я, я х «« о х о о !х — Ф И о о х $6 .Я х а 3 !Б « й х л '«ф о х о н $ х о а о о й ! х х 3 $3 о о Я а о х аа Я о 26 х о р, «« о о о ««й ««оЯ а~И О «' «« Ех~ ох .О,а а х.а «« .О, ««х ! «« х ю б ! «" о й ао х о о Я О х;« О а.

6 ччх~ ~$' $:"3 а, о а !, « о о о «р о о О д!6 ч йа о е а! « о о х о а, о о х н а о н а е «о« С'4 М М о В и х х о о о О е л О Йо е а ООО еоа е х ~а цчй ~ОХ х а„ Ц «х а аД ч~- х а «««« о« х«о« л М «« М М О О «- «- М оооо ь о о о Я' о х о ::21 оо3 ххо охх ооо хх х х ыЯ о х оа о Ы а,о Л ео С'3 а ь О а.

И е Б ! Ы Ох «О О ь- Ж ч х а«аа !- О «х о ж «а ~ч аК О О«а. О ас а ~ Ж~ В ~~ Ф ~ Ж ч~~ О ~а~ < Е' Х О Х е «аа 3 еОа а 3 ««« ~- «О И««« х о о ~ мо о а, ~ «о Я ф р Р х" о х о х о „ х сб о х !" 3 о х х о ОО х И:~ ; 'х>х ао;Ео (Р о, :«о а Их о Д>х хах о хо«х ОХхо х о о ох х а«й о'х о!Х ао о оох! х 2 н«м М О ЪС И Ж Ю О Х мю ««$ Ф $ Ю ИЪ рд е $= е ч е а« с х« «О о ', х х' ° о о а.

:О о х:хо о нх~Р о о хх оооо хх о о«а~ «! й ~: :.:'й й Х ! ф О .;оах о ' О Н д '-оо :ао х ~.:ф~х о а ~о М Ы о х х о $ с н у )х 6 о у СО$О~СОаОО ухо о о Он„ оханфсхоХО ао ха™ х о хнсо у„д Е о х о 6 О а О О о у О О хо~сфЦх«ЯОайо х»у~он""ухунф О О Н Х ОО а 3„ Х х О Хо О Х О ООО СХХОФ, ххо'о Д О У Х Х О О Х ф Х о х с» Я о «О с) Я о о Х О Х У Х Х О . «О О" ф ДХОохйдХ,ХО О ф ф О оф Х ф оф О Ф О й оно„хаФ ф х охфхоххфоо хх,афхххоох О ~ О " Х Х О Х» Х ф ОЯ" Х ф )Х О О О О ахоОО ф~фхххннх ихоВххр ахар хо х о х (~ й х Л д нх„ ф с« о х «) х осу и 2ме х,« д у х ао охо у О В Д Л о о О,ф »2 х ) х ф О х Я М » о х М фонам ф о»'" ф о ф о о хоо о о со о о ф ф О О О о хф ф аФ'" х» ) х о,«) о Д ОО', с» х хо хс О Я о с у О фффххх х ахи оххх о Х О х о о ф О »' о х о о ф о х ох й": ~" о х ф х 5 с» о О о Р д о х )х Фх М о с» а~ х, О М х жи „н » о )х х х д о ф х О О х д о, О с» «\ х о о н, а х ю х Ю й о ф х о, х о х „- о о сй р о о о о х х о ф ) д ,» Я » )х !» о а Д О Х Х О х И х о х х х о п х О Д! ф у х о Дй д о с) ~ о о х о и И.

о О 4 х х х й о х х й х о й х х о Б о О о ф Оф о ф Х О 'х ф фО р И~ с.) О, а .9 ) с са ф 4 х о ф ф о о о О, у О и Й » О СУ О о ф 3 о ф О $ О О с О с у О ф о и Е О. О Ы $ Е % х х О У ф с О5 о ° н )» ах О О, О й о о д )Я о )» о Ь4 лу 'фн" а О уй о ~ ~о О у ) Ц ~ ) О .е Ь о о ф у с), х й о оО о с- о аф" ~. х о х О о а Д у О о О О В И о ф Ф О'" О $у х х о ОО Офа хо о ФХ О о ф1ф Я О д у О -ф о О О «) О О с') р,у с) 0 Й Я О О Х х ф о О а а *о р $ ф а х О ,. ) ф О О О о ф ОО О о о и, Он о о у 'О" С О, о О О » 2 ф о ф »" С И 3 О М и х о Е 3 й: :© д. .~= йй „, О ~>щйб ~и~ ф ц~ ж ~ ~~ М р 6Ъ %40 О М й.

~.~ й. сй М ~- М ДЫОРЕ .":Е М Х а'Я "Б )х Х О О Х Х ~3 О о а» Х » Б ах Я Х О х >х а о И о а о \Х О о о М х и о х Х,й х х й о о Х Хх. х х О О И Ы од О О аД о х х' Мхх о х - ю ХНО д х х Х о Л О х н Б й х О х . Б Х О О О, х х о О н О О 0 О х Б О х й я Я й Д ф Б хф х О О Х О ~М Б ' а'О х х о ххоа О, о о х е н О О О ХОХХО 5 „хй х О О О О Х "Я О О О О М о х о о х,х Б х Ы з Ох Х О.

Б ~О Ц О О И Д О, Д Х х" Я о йБ ах 1О О о х $- х к3 ХО Ю х О о д ох ы х О Х Ох х Х О" О" Х Х Х М х 'хха х х х о х н о ах Х $о й Б м х1х х Х ОХ охо х о 6 я хх о о Б о Б2 о х Х И х а»х Я Х о о о д й Х Х о х Б й Э Х н Б М ф о х Я Х .й" я х Б х х х „ И О О о о й » ~ Х Х ББ х о р~Й Б и" хн х Ы й ,й ,Ф О О ц х о О о х й О х х й О х а Х Б . :Б Х Х о ах Ф о О Х о о М А О, х х о О О И Б ь м О, Х Х х Х О х а 22 о 8 Б.

О Я х Ф Б >х Х Ф я х р ххх О М оХ, о х о Д О 3Бх ай Б но Б о Х Х й О х О х О Х о Х аБ Бох О О х~о х р„Д . Х О ах „ о .а О О И х Ф а Ф И х о О 3 х И ФЭ О х о Яа 11. Ю Э О ~р х а Ь к х х ФФ И .П ФО К ОЗ Ю О о а М $Л Ц О ~4 а а 6 Х й х й о х о х о х О о О, Х Х Я Ы И х О. о о о а й о И о Б и Я й Д Е Б О о Ю 4 Х х х х о н о Ы ф ж й й З Ы 3. $ й И О Б Б х о н о х О ~х О О х о о о х Б х о н о О % о в х Йх а н Б;й о х х й~ Б х х й О о ЮБ О О, Об Х й д о о х н ой х х о Х о ОБ х Б ~о Ж Ц "„Я х Х Х ° )х й д Ю х н х х и О 4 о х о О д О х Б' а )Х О Х х о О Я О х х х Д о о о Х х Х н о щ Х х а Я х о ах х о Х Х М о Б О,х Х О ВХн с~ х в Х й х „о н ХББ о х ~О О е О Я ОН Лхх Х Х О с- О 60 м О О м О" 36 3 и х й и О 34 О ч х а 3« О Ч 3« ь О Д м 6] а о с'] с м м о ,3«О~4 'ЧСООН4ОВД ° 3 О 'О Х х Ф О Ч О Ф 33 Ъ.

О О 3с О и ч 3« е х ,ХО О Ю 3- О 00 \' ы ы «3, М Со Ф О О 3««.3 и« .. о «3 ы мС'3 «3 Е с с Йы «.3 Л О е о П3 х о х Я О н х 3« Р Оа 63 0' сс ы х а х х Ц $ 1» х х со д о х ы $.' х о О ы 63 ы 63 ы и „ и ° ы о М 4 О 33 ы о ]х д-й х ы -1Й д 4 4 ы с 1„и5 аах д х" ы х а О 8 о н их х :С О 8 а М Е а О й Й 43 а ь 43 си и а О со О со м й О ° со м » х 63 Х О ы ы м о 8~ д~ и Й ,«о ы ч 34 ы х ы н х Д ы Д о » х х, о, о о х ЧО о «и ]с о х ы о й ы ]х о '0 с] «3- х Х х х ф Н ы О х ы ы х 6« х ~' а о х о и х р.: а х ы о х ы о а 63 х И Х )й 'Х 000 ис)п ччоовиоовпж венчпи31,~ Х Я4а (Х 000 иОп) чхоонпово«]с]очно) ,Х',О) и 3Х 005' "000 и«3п) винж1ипсов«3 хноиииффоои ииниоО ч Х 'виноввввп иК«иЬпно 3 х-д О Х о м х м х 3« '«о.

х д ,4 3' ы ы 2 4 43 - х ы х ы С'3 м д О 4 3" ы х" Р.. «4 Д О, 5": ха о х и Е" х ы ~,й "И о х о а о о и а]О ы о ч 'о 1 х и о х „ 4 Д и 63 Я д Х 'сч о х !И. и 3 ы о 3] ы ы х х д о И 3- х д а]О Х 3" ы Х )4 со о х и М о , ы О х х Й о х ~ о Я о „ ы со х о 8 Я ф х ы Х 63 ы о й ай Йх СО 4' О ы Р, х о .8х 3« ]х ы ы ы х х х,х мы о м „х х ох о о И Хн О И ха «: о х с] ы ы х О х Ос»сс «'х о ойх д 36 ы ~'03 о о х м ан й х ы]х »Бь хх х х ~ хы .0 ]0 Р а с] Й ы 3]ч х х Я х о смн о о х ы х х- х х Ы ]0 р, О х х х х 4' х о д ы 63 Х 11 о хх о о и х щ д ы ы ы Ы 4 ы д х х ы м й о о О"М хоо м ы Х,4 Д х х х 60 М х х. И' о я4 О Х ]х о ы х х х н м ы х а 63 х" х с« " о хо хнх !~2 ы ]с] о 64 6« х х ы 4 х й и И Р х ы ]х М р м о х 43 й о 43 о 3« д ы х х 43 О о х О 43 Х о х о х си ФЪ 63 Ф~ -3 «"3 ы оы, О 4' х о 33 ы 63 4" х х о ч о а о 63 'х а х О,Х й 63 Я и Р ы „х о х ы 3 Х 63 их х ы хан „хО 'Ю 43 О «-3" нм Д о и 2 5 Д х ы хно з~5 ! ='Е й ,4 И ый х о х ч о ]« х а 3 х о х Р' я ы х Я 6] Ы 4 ы х о 381 ,ц одЦ О, Х сс х х ,4 о Е и й х х х х О х и х о с" и ц ы я' х о х о,х о х хС оххх ]хо с«Ы о ] )3 Д х ох " о О Х н1 ы о о х ыЙ х Вх ы д х ы ы ы м 63 Х ~~ы хх ]« ыа а а 2 хсосо ы О О О о Я 03" х х 63 о о ы х М о ы х о х ы х х 1ь о,о о "Д 3« д ы х и 4 4 4 М 3 ! о и щ щ о щ Д Я щ н х 1~ Рй 4„ 4 а >и ф $ Р 5 3 э Ц 4, Я Ф 4 и И щ о о о х щ Ф» щ и о х )х о ".' В о $Ь и3 и Ю д о о щ Д щ И о и а СЧ о ~ о х Ц, о" оа щ о х э н о о х х Р о О, х >х $ я'и ищ~ о х'~а .8 щ х .'- о х "ж" о х м щ о О, нэ и й х о '6 о хна щ о х О ОХО и о Н О О хэ' хх а а щО Щ щ ощ охн р, х щ щ охи щ оМ ~ о' о щ" х М щ"' щего щ и 2 о о И ао щ И сч щх о о х О хИ О ха Р~ о щ щ о ж И о он О, 4 хх х ~ х а Я Ь- 4 и р и и 1~ 4 ,33 ~ р5 щ 4 44.

Щ щ 44 4 и'" О О 44 О О й й о сч 4 о щщ о Щ 44 х и о м щ щ Д о о ио 3~ 4 о о о о 3 о о о Ц о о о 3 й о Щ й 5 3 и % $ х Ф щ о и щ Ф ,3 в ,"3 О щ о щх х 4В нщэ О е х 1- щ Х (и148) 'чьэоннонойюппэ ~ Х 'кинэьлкиьэО иКькйэпиэ.) ,и)Н О Оо ииькжэ иОп чьооньодц ,иГН ', От . О нннэжкьэкО нй» чээоньо<1ц нХ', О) .н С) ООГ' "ООО иоп) кинхЬппэкО ьнэнпиффэон иинпэбд о $ 15 о о 4 Й" Л щ Д ар х сэ о х ~~3 о И о К й . '„ х Ф ~О о х И о х о щ о ~а О х о х х о х щ о о щ м 3 4 о о х о о 4' О о о о я сэ .б о о х щн х х 41 о О о 5 о о о х о о а х о о щ щ М о О, х о о х о х о х И $ х О щ О, х о о О о о 6 6 о о О, И х )4 о о о хо щ щ их о х щ 4 д хщо а а'о И~ Е Ц 41 Ш о х о о х 2 д о сч х "о ~ И О, х Л аИ х ща и .„х Г~" ГЧ 4Э о х щ х ай О о о о И !° х И 4 Д щ О х И а щ щ х ~» о о о о 3 м ~,щ щ а~ х о~~ и щ о х „-' $ ~ и ах щ о х щ о и о щ оо О,Х О, х хо и о Я х о щ)х х о х Х О, и и в що и щно р о,х а - Я щ о "8 о х.х щИР а 1." 4щ $ о ~,О,Я О, х а Е а а 'О 3 И $ Р о 3 й о 33 и х Х с о, о о о о О, » Я о а" х а Д о а сХ Х сс И й на а ху о а х Д о Д ;4,", 33 хо 33 М о е о о М Ц х о И м а х х а о о х а М о 5а й о 3 о сн Д'о 33 Я "ОО И х хоо о о х Сс Д х о 33 ~Р~ о си о 3 аф м о $ о а о х 4~~ Н 1 3 ." о о сх о х а о 33 х й й х а х х о а 33 о х !$ 43 О, д о м а о о х х х х Н хн о х о И о х о а" х О са о о 33 4 а о х о а Хо о а х о о хи 33 о о ,4 Х О о о о х о со х 03 о х о о о И х Ц о а о о н '8» о ',4 о х х 33 О а х хо о о о о о х ха 43 аН 33 ооо оо» й О Хс сс о да Йхх а хо х о и 8 а о Нх о Н о о ох о ход х онн 4 о ох о х о д р~х - о о хИ 4 сс х х о х х х х а о о о о о 33 а о а х х о х х о о х о о х а х О с'\ о о о а ао о оа о са х „ х ом о О х 5 "' о о о "а Йй 43 м » о а х ох х х х м о о х Д 4' х о х а о о х о 4 Ц Я ~Ив аЯ б а а а 43 м о 3- О о о о о х х а О 3Х х Я О сс Со М о 5 е са х о а О, о х о О о о са о х о а Хх о х о х Сс х О' са 8 'И Сс о И а х о :Д х о о ох хСО а о о а й Б хоо Оно о ~~ асх о о мах х2% а х ийФ 8~ ц о ~ о й „са Сс Х О а 4 Х 33 о о м х о о х а о о о о х а о хо х о х о о о о х х о ~32 х о Я о хааа а о о й 33 а „ о о и о х о х~ д о И !р аа 33 О о й о о о,х о о о '" И И х а "х а о х х о 4' 33 а х ха х а х о о х о ",.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов книги