Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 8
Текст из файла (страница 8)
О й% 0) о) И 4 й -Н Х Р Х о О 3 с) „"Й Х х й Йй д ы ф 63 ы Ф ~Р й о о о о Ф о ах х о ФО С) Чб ,Х чб ч) х Н ы Х О, 6) й=, ~ ч) ФО ы ч) ° 6 х Ф ч) х юн о о) м Фс') И ~> о х о Я» .4 Х х р о с., б) о Ы о М а х о о о м о х ао ы х о о ы И о ы И о »х ы о Х н х о ы ы й ф )х о х сб О, о 0." сб о х ,3 О Х о, о о Ф ао )НО м Х С'3 Ы б) Н хо й Ф»о о Фхтр оы8 х О Х нЫ 4' ф Ф Я Ф ') 8 ы Ф о Х ы о нс о о а Х ~д д х о со хах с) ы х а оых Х Х Х с) о о о о 6 Д Х"' х с х 63 ы о )6 3" » о й )Х о х И у Х х о, х х и о, И о о х о Ф х а„, с о х Х ы О ах ы с) й о О о о Х й д ы х й ы о Х 4' б) Х х о хох О" о Х а, Х Х )о д 34 х ы1 й а х с о х х м х эх о х 2 х ы с О О ~О ы О о о о х Э о а ОЭ О О О с Э О с О Е ы с х 2 с с О ы с с О х с О Э с с с О О О с И О а 2 с с с О.
о х 3Й н д 2 о Д х ы ы Ф1 х н о х о 2 х с 2 эх ы о о а о х х х о х а й х о ~® 1 и „'~ о с ХХ2 „хы й с~ а ы о х ~ м х а„"о оххс 2 Я а о хоыо ~»х хх аойхх Д о хсх о я: со '" х осах о ы х Х о д оО Ь о х „цф, ы Эо 2 хО а "." о „...
с2" м~ ыо 'й'"ац х о Яоо ххннаО' Ы О ЭО,о М асс" ~'о хы о ы с ~с н д о н ы хм аЭО о х ах~у х х ~х о Э О д Ы мэХ э ох ~ах Я о о х Н о м с х ах я д о х сох о эх о о с~ х о х о ы х о о х о ссэээ о,о м а ас омхдо ,. 6 2 о ы 2 ы ы Х о о х Я хаххх ад с~ммоХ 5йЙ а Б х х х м с о о о Ех~хаР Роо, о ~~ -В ы нс х Оххсхххо х 2 о,о х ~ х х х с" о о, х ы х о, х „ ы о 2 о с о, ы ы хм о, о о -х о о о И о о д х ЭЭ оэ м х о х „ о, о ы х „, о ы х х д х х х х ы 2О й~ аБ ы р с ы н ы х а сИ р о о о '" эх м о о ф х ы х И мх о И х ф" х о Э ы о 2 х х =х х'х 2, охы, Р'э~ ~о о ньюс м 1 ых 3х Й о д ы о ххэоэ сох о н ыхо оохд х осы М о х 2 ых о Х х х х о о о хм х о с" о с о 2 х о ы х ой о, хсы х ан с ао х х х с х ЭЭ о х 2 х с х о х а х 2 х~ о оэ Х эо х И о о х х о о х 6 2 ы х эх х о 2 о й,2 х с х я Э н дП о о х а о Я д о о х О о ""- й д о х й И м йх х х ы о а х с д о о х х о а о о эо о х д О О Э и Й Р а $ й $ й О ы 3 и с: ы О о хэ х н 1Д о х д а1 2 о я с х х х ы 2 х х" о о о, х й 2 о С, 2 6 х х~ м о х о о о ы с о о о Д о а ы с 2 й', о 2 х с с о Э' ы х с 2 о » м 2 х о х аа с о х о о о, И х ы х х х ы ы х 2 х х х ах х о ах х с о н х х ~ о о ы о ах х х 2 х ыа Й' аД д с о с л ос о ы о ы ы х х х о х эм л о ээх~ у о, эо о Л 5 х х о х о о о о, о х х о о Э 2 ах ы 2 с м эх х о о х ЭЭ о 2 о 2 х х м о х эо о оэ х Е а х Э'Э 2 ы х ы эх о д х И х м х х х д ы о х х о д ы о с х с эс О х 'х О д Ф с Ч о Ъ е х с с 4~ Ю еч д хй х э- о О о с о - х оэ о ы х х о о д ф о с х х о о, х о о х ''И о х о с а х о х ы м О О м" а ах о ф мхх ы >, ЭМ Х ЭЭ х д ю с с о о х о о 5с о о Э о Э с Р'э ы М ых о 2 х с 'Э ы о с х, х м ы о о м 6с х ы с д Д о Мсх ао'Э ы о, он х м Я М Оыаа о о д ХЭХ о М х о 2 х ха о х х я х '..р а о с хы о х д хх о,о х Рх о о х ээ ао ы оса М ы о ох х о а х д х ыоф м о о ы 2 2 х ы х „о Д о Э о ох о хо„ о 2 о 2 М О ОЙ „о с И я о о С'Э с о х ох 2 х хм х о х о о х .
о х о о й о ы с Э ы о о с о м эх х х 2 х д ы х х д с а х ах О х «1 х о 2 о х ы с с И о ы с о х о „- о о ы с ~Ы х н о х „ о м о а о х о о со ы хО ан м Б с8 й о ад х о х ох эх о о и й х О о о и о О о о х ? Й Б о и и )О о сч О О 4) О ) х О 3 Ы О. ? о ? О ? ы О х Б о ? О сс ? н о ? ? ? о О. $ ? Б в ? О. Б о м ы О а и О О О, н х и ы Б Б х ы а с) о Б х и и а О х с) Ц О, ы О о О й О х м о О О )х х Х О Я бс 4' о ии х хх о х хо а о )и о х „.БК м х и» О Д о о ы о и о х о с) о и О ыи о ° хы о ы и и ) д О О х о о а и й ы О О ах сх )" о х ы Б~ О о О х х ы о ы х 4 я о ы х Д и Ц Сб )О х о о О х и о О о о х, Сс а ~ ы сб Х х а хо ы О и ы о х х и сб х ы° н о Б)х о С) 4) о х 4) Ы х б О х с) ах, 3! х ц м а сб й хх б) н Б и )х ы х х хи с) о ы )О О о о х и д о И и а СО СО 6й -$ й о,х о 4 ыо ~ 4) "а о Б,х 4' ы Н х ф Б Оо сб И х ах Сб и О ы х Ц о Б х )Х сб О, ы О.
О ,О, О х х с) О О, и ? Д х О и О О, х ы 4 И с) 22 ХО б) й 40 О х Е х О,и Д »х х ы О О ы 4' х х охи ы о о О и '1 охи х О Сб х х 4 РИ-' ыа х) х) х ы х о х ао О, и х О ах х н х ,4 1Ц й-В О 4 О~и О, С) )х х ,4 охиыы О м м О ы ы с) ааД?О О ыодоы„ О Х Х О Х 044" х 4) Сб и хд О. О „', Х н ДО о )р ". о но х оыфноо аи мы б Сб 4' Х )О Х и й и ой О х 4 ) М хи х а'х ОЯ~,ми а О "х О, "Хо хо хао В', х и О 5 Х Х и ЫО .Рх " 8 и ОХ, Д химмоо ас) оо о хх Х О О О„ О Х Х Х О нХ О и нХ О О И О О м Б ы 0~4 сб о н о - х ~...
О и " )х ы О х ы хн х и О)О х х о о 4' о и О о о д х и о о хи" о о О 4 Х о -."=Е м Я 4 а)О х х о )иы О О о о х х х 4 н ~а О Ы Яя и а сс ы а~ О Ы 4' х ~„й О и о Б а „. о н о ы х х о о и й о ао х 0 О О ы ц х и "х .) аы и2 о 3, - о СО" О о со о ы х х х и о и и,х О сб д О ,„о х )О ы о х сб сч х х хы и ы о м и о н о х х О О и о о х х о О и о Х сб 4) о О х )и с) О О 4 х о х о Сб Ои, Х х их о х ы о х х о О.
и о О О 2 ? й~ 32 )О х 4' о ы М й а )х о х х о и о ы х О а о о Б х и х 1 О а БО о и х о Сб о а х о Й з о ОО ::6 О. ? Д О х 4» х О о х о о О о Ц х х Я в х $ я Е Й 3. 5 й Ы $ $ 2 й Б о и Б О х иа )х .4 х и ~й й м о с) )и х х О Д х а Р$ н о о О ОН Р~ й о ах Б аы х а б х ~ "о о д о . о О ' О и Сб О Б Ы Х О х мо р о а1 и О О О О х ~~, х > о ~М? о д" о р,о х о нйИ о?о и й х ас) и Я и й и Р ЪП д~ х д И О 8 ? 6) Х О и 4) Х о О х о о О )О о м О ы о О, И О о 4' с) х о О О, й1 О О о М~ )Я сб о.
Я о ы И 4' ы с» х и о и Я ы о х а Ы И сб х ~ .$Р и 4 ~~ы Е' о рх о ы ы хи их о О Н О ?" ы 4) х Й3~~ ОЬБ~ й' Сб 2 41Ц о оыо х й'о й а а о о о Ы х и ы о х х 'б О Ои р $! О Ь О х сб х о й Хн Н О о Б 4 й Й О )и Р о о х х Р х й' Ы О ~2 о О Н О а и О О, )б ы х х х О р! о и н ы о и а 'б" О х ж 0 и О о и и й О О О, Д и й и 2 4, и о о х 8 Б д х ыа О о о ди Н сб о х х о о ы о с) О „х О ы М ых") ыи а 44" О ? 44 о о,н хЧ о н х" ф ы и о а) о ,", ы и о о и ,.
х о а хы о и О Х М О о о х ы и Он х О о Ы О а х д )х 1%? о о и х о о иххм х о И х а д й о ххи О х Оа х,„ы с) 5 сб сб Ы Х $й~ О О м,а х и Е ао Сб ы й х о о и б О М 'х о м нм ы о О И 4' о и и и й О,- )х х о с) О, о М фч-~ ;б '~ О О о и о ОО х о О сб 0 М О х о и о о о ?их Ы О о О, х и.% о ) ) р Р ы х О О О, 'б х х х ,4,4 х ? О о о х х О О О и м сс о )и и о х Й ~' 3и !Д О, о Он о с) „ф ,4 р, ? О О О, о о х и О б ,", и а а о о Д О х О м 1а о м о о Сб б) О о о" О о х х~ с о х )х о ы О 4' О )х о х х О х ы О и о о о х О 4" х О, ы и х О О.
и с) О О О о х О С) о х х о х О х о О, И х х П О О О О Е О О Х О х з О О О О О О О. 3 О. с 2 с О О М 33. х х о ,4 )О ° 3 43 а Ь Х О О Ох х Е О ф 5Д Да и К о о х х Е х" д нО с) 3 О О ОО», Й б С3 ох ах „3:: ~О а~ К! 8 » Д а х 8-3 хм н й Ц ООО х х ф х й; О Х Й1 О О Д с) о д О О2 ". х Х 43 х с» д М о 34 )й О д о х х Х О О Х О О о »)х 33 3) х ХО 9 хх Х О, 4) О Х О х х ПО О й Он О НОН О,Х Х 0 О о д о Х О ~д 3" й О О ф О О, д О, хдх о о Р -." х 6 о х О О О О О 'С х хм Б Я О О х М-' а '" с) с) йх~ О Х ах о 3 охй орх ойх о „-„" х о )4 о ~х Х Х)0 О,О О О й о О ОХ й ОХО н )х о о х сс х О Х о О о о х о х х о о О, х О О, Р О О,О И я 3) х 5 О а О д О О х о о х О О х 3, О о с.3 О о О, м С'3 О.
м Я О а~ а о о х о х 4 О о И о о х О, й х» а~ О. П о Х О д сС О О О )О Д О О с) а сс О. )П Х а о 33 ц О й о о о х О о о х л) О ..сс Х 33 х )4 о 43 х О о о О, О о х 8 х х ах О о Х Н О 4 х Х 3) О х а х О Д О а 3. а Х 4 о х х" ао о х а о о О О Х х н о О, о О о )О о х 4' 4 )Р о Д! О х о о х 34 х 3" О х О, х х х О О„ В~ о Д С.» о о х 33 О с) "рй а хм Й и ао, )х О сс а ~м о х а х 43» х н О О х о д О о Ю ДО, х х а1 )0 сч) В П О О О О Х О х ОЙ х о о О "х б О, х йй О М м о х о о ОИ )3 о ах Ь О а х О х О О О х Г.» 3 Р 8 ~а а~ а а а П ~ ! с~ О О О х, о с') х а ж О х о О "И х Р х О д О щ ах а О Я 34 О Е О Х О а~ со о" а~ а а-~ сд » И О о Я о Д х с» о О О й 5 $ а! ад а! а П о-~ сс О с» а! 0*, со П б а~ а О а~ О.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
