Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 11
Текст из файла (страница 11)
о эх о о о $ о $3 и» о х сэ ГЭ ХЮ х 4 св х ПО О о И о Ю й х Ф Я В 3 о й! й [нхжопкоп енипшы — ц) Р «О.виюьинейло Р и [эз+ з1оо*)) 1 =[р)л о=оез=Ь .оэз9[ Езьаз идп . = Р шкоде иэ\пошжЛдхо чьэонэ еи Ез ез -инойп вехээьийтхэпа1ш кенчпмюонло — 1з ',евийь -юкаак олоньонэпп чхэонэа~инодп вехээьий1юпевв венчеыюошо — Ъ 'ихжокпоп чшоиэипшодп кею -эьийлхэка1М кен'пашэонхо — 1з 'еиЛЛ1ша чьэоиэшл -инодп вешээьидлюпавм — Вз 'ихжохаоп илэонх1Ьаоп ен вопэ олохээьидлхэка1К енмпшо1 — р ху "у = у «+( — хг1д )'-( — г)д долеэнэвнох [Ивни нэоэдл) М1чнденек)) О О Б с $ и О.
хокевх9 лчйюдэп икеклокп эюпшЛыыэыооэ — 1у и 1 эою иовко а ннэш1ошча едыеэнэкнох 1шоана эннлхеьно)) 1э ) 1э 1л 1л Э=Э о 3 1 Ю О с с 1 д х хэош элноьмохо и и вине ьенеооО [,иэ!д1п) чшохиэ венчиэпл — ед *[из) вокепхоо виичдхжьп чеешокп — у '.копэ олохээьий1хэпаип ешлкшол — р '.ехайшэпе -их алоньонэпп члэоиэвпинодп кехээьидлхэпеип — з ИэнаодЛ хЛак аохинпоаодп винэьээжЬп эаонэо ен )) о '[1оп] р'з = к — ~во'о = з 3 едолеэнэпнох олоньоьэкпохны випяЛдлэнох взвопил И $ й О О °" инпхЛдлэнох эинэжедуоеи эоньилеиэх) ВИНЭЬЕНЗООО Н И1ЭОЗНЭ ИОХЭЭЬнйьвзке елэьэед шШ еклидод1 и/п км винеьэнидц О.
О ЯЭ О с ж О М О с и с О с с О О с О О Й $ 3. $ О Ы Й енэкэшча випчдхэдэп юная '.ехаепхдо квниЬа — р 'видлхэпавк — х 'ехпекхоо вкпхаш — р нхэомиэ иомээлнйлмэив хн ямЛийоф эинлэлэмб и эойолюнэмном нмнмАйлзном эиэоимл мГк эиим9нл х о 2 о СО „о О Х 2 О а ОС х х о х х ~ о ОО „х х о ~' х сс О о о „ ао х Х а О х Х О о о х х о О о х х 4' 4 РИ СО О Х 2 х х 2 о" о О.Э Х о со О О о О х о х х сО о о сх сх СО со х о х х Д О х Я х х О О о 'х Р3 о о О х о $ х о о о о о сх 4 ОЭ х а 2 О о И х а Х О о х м о о о ах й о. О о о х х о " .Й ОС х х Р-И хо »И я о, о х х' 4 о,х о хх ~ х х Х 4 х ,4 Х х 2 х Ы 2 ,4 'О Ц Н о о о <Э о й ОХ СО о х Х 2 ОЭ 4 Ц ОО о ооБ Х .
*а2 о о»" о о х о д о о" о о Х о сх о х х х х м О а" д О ХР » Р О 4 о а х о о х х х о й х х Х 2 сс $ 'хх О о 2 х 2 х о х х о х Я х о о х о о х о о х сх О О х О О х х о о х О о о сх о О О 2х о 2 о х О д о х ах ОЭ 'О о х о Р х Е Ы О О х а о о, х о х х х ~Й И3 х о х о Х о ц 3 Х 4' о М о х со а со Д о ОЭ х х х ~,сх о х х '33 О О о х х о о о ао о хнх х о д оса хнх х О О Й~и ХОХ 2 СО но ХМ о О х х о х х О о о х Х О О 2 х х !И о м 4 о о О Х х о О ох И хх х х ~, О, х о охх а о о 1х О о хД» ОС Х х а х О а х о о о Х о н 4 х д о со х" О 2 3 х о х о О О о о ы о х а х х х Д6 х О О О о 1 О Х1 4" О ан - о й о х О Х х Н х о о д ах о Р х м Х М х Х '$ сх о й х Х ОО х о ЯИ о х о И о х 0 х О хх 0 Х Ю о о Г о о.
Э4 Ж ЭО С.Э ЮЭ 43 з о Я Н О Х о в Х хй Э4 ОО н ОЭ4 Э4 Д х й о й о Ю О ОР х о ~ о % М и х о ОО Н 44 Эх И 9. х ОО ОЭ О с,э о ю о. Д и Ю. ° О О 40 8. о М х о И ь 0 ОО Х О о О ОС х х х о о О. а "а Х О х о х О ОО р с х,'» х Й~ х х а х х 4 Ос а Х ОО 0 о х о х х о о х Р о х М о О х о 2 х Я О 'оХ Ох о О н р х 4 Н о о х о х х о х о 44 х Р О О и з 3.
5 О х 0 Я $ $ И М Й о х а о о х 4 СХ о с 2 х ф х а и см Л~ а х Х О » х ОХ о 5" о сх О О о о х о х х о сО х о х а х 2 х о а х х Я С» о х сх х о о ОО Б х Й Р о О Х х а х о о й о Я '0 " х хо х % сО О, Х М Х Х 4 2006 ОМНСХ ао О О о ~ О ОСО о о х х" ао х О х О х 'о о х й3'-.~ яр ~8 О ОЭ х о Ви ;О Х О х о х х О Н х К Д О о д х о ф х х сО х х „хо й ОО 0 х ОЭ х 2 'я Х О а ~ И х о Р СО й О Н о о х ОС х х х о 4 Д а О 4 О х ф х о со о о о х х" .4 о о Со Х о, СО о о х о о х о, н х О О о ХИ о Д ф х о х сх о о хх„ ОХ Х О о "х2 о с,о х х охи 8 х хо о о х ОЭ „хй х х2 о Х х ххо х О о со ы о О. х с Х с О с >4 с О О Х О с 4> с с О О о а с х а е и 1> с> ЮЭ О О с ы Б ф >4 о ф ы О о о ы М Ой а ОД о анхо д-~ 2 о х ы 2 о м ы х ыы :-$ о -В ах ф ХХ Р хащо ы х х хсх „О а .~4 и ' ОО2 х ы х хщ О,х О„ о ы щ о,в ы м" х ф 4 о>х ф я ы с4 ф щс4 с4 4> ~~> о доо ОИ о щ ох о о о ~Ц Ы ~1 М а 2 хофх х ы ы О 4> ы що х ы х сд ы $ х с о х хсо о о 6 ~ы о ххмхо х Дхх щ д ы .
й й '4' Х О о ы Х ОО ОХ О ф О,О ф м 4 ы х хы х ~~а хо й о ы ы о х о >4 ы Я о х" х а 133 ыоы Х щ 4' хох х х ххх йый о щх ой Х со о х ы Кй х х м ~Р ы ы м >х о ы о >х х ы о ф ф о о о х сэ И Д х ы о д д о ы х 4' о щ ы о х о о со х ы И ф о Д х ф О ах ы ф х Их о "' х с4 >О х й ы ы х х о ы ы о ы И х х о >4 Х х ы ы о х х \х о хо ы о х ййф о о о ы ы х,~, с сэ х 3 о ох х х О, а ОМИ охх .я ы с> ,4 о х й мс фх ы 4'о Хыо х ы и Ж х х х ы „сф аых ы ы х О,' О ы щ х д о ы о х сх ща а Ы ы $ ы ~ ы со о о ф х О, щ х р х х м„ы О ы х о о >4 Д ы ы о д ф ы ы о х х х О, >х о ,4 о о о х СО а о Х О „х ы с х с х ы ы ф О со ох, О Ы О х О" о о о х х с> ы о >4 о х ы х о х ы .„о о щ" а х оыф ыщм о ':М' ао а ххщ ы о о о ОЦХ о щ о ы доы х 22и ххд оых й:.
1 х а д х о Е о щ ы аа 4> Ы охх О, ы Дмо о хо И 6х~ ы о О4 а>ХО х Ы хФГ, х ы я ы ы 4> а й х>х ы х 3 О,О ы х щ ы х о „о )х" х х о 'щ щ о с щ о со х о о >х ф" оо х х м ыхх о а "х И а ы ф >4 О,С х Со Ы .4 о од о ф щх 4' о д ы х ы ф щ а о ы ф Б ~,х 'О Х ОХ ы д я ы ы о Щ О РР о О х о О х О л х о ы х х х Р х х х ы у х о о х х о х ы О о х » О >х ы ы щ о О х о ;4 х х х о О в о о х „о сэ" ы 44 44 а 3.
5 Е $ Й й $ о Й Я >х о О х ы о х х О о ы и Я 4 ы ы х о х О' ы К м ы >Х >О ы д И х о а>х О, ф о о х ы х О щ д О СО о о щ м фх щ х ыо х >х й И ы >х ы О сэ ы щ О, сэ >х ~х ы О >Х О с.> х н х 4> х р сх >О ы ы 4. "5 ОЦ, 4Э щ о о х х ИхБ о 4 С ы х х ы ы х щххщ охы ао с х о дном о ы хм>о й хо ы ы с ы ыи ы о х х х м х х х Б О О„ а ы щ о о Х О. Я о о о ф х х 4> О О х О, ы ы о бс о о о ы х м сэ д о о сэ ы о о о й х х о И О, щ х о О >О Ц х „- о о О, ам о х ф о о х х х сэ щ мф Х >4 о О ы ы ы х ы х х х о д х ы сэ М ф о ф о о ы ,х О ы р> щ о о ы х х О О, ф >х Ы О 4 о а х со д о о о х Д о о Х СО 4' 4> О О, >О ы о х о х х а х 2: Х сэ О О д о сэ о м сс Х Х О х с о о ф ы мо ы 44 ОО а~ ц х 5 4 - о х х с> с: х м о >х ы ф о ф о О х о х х х О о Я о х х о х х х 4 х о х "Я О х х о х о О о ы о ы 4> сэ х о >х ы х о х,' ы о о х 4 4 4> Д о о о о О.
о в щ о оы х х о \х о ы х х о ы ы О, о х >х ы о о х Х 4 ы ы ф о о сэ ы о О, О О ы я~5 а~р ~ ы о ,~ ~ И 4 Й >х ~14И~ оыо 1:,й~ ОЯ4ОО ф о 2 ЭО .й ° 'Я с4 х Д >4 >х о Й о ~, о ы х х о х о о щ щ хх О о ф ы (д о х ы И ф о щ х мо Й м с о Х ы о щ О, Х х о Х О а О' о о ы й ы с ы Фх Я О' ы х ыы сэ ф ы х ы о х с сэ о щ 4' о о ф о х" х ~ о .щ й'и ы х о хо ы ысо ы О, Хыо хй хо х о а ф х ы д х Я м аЕ о ы О а х И в' И Ц Я о И .Я и хы сс ы х >х ы х о й сс о х ы Й о о х о о О й о х 4 Д х х х х О О сО и О О х с с с 43 Ы О Е 4С с О Ю О.
4 3 Ю О ы О о с Ъ с с ю ы ао о д О д р' а о Мй М О О О ф й Ьх ы ис й сс С4 ис Ц, о д о м' ы о О 4С х О с О х о 5И х ы х ах ы о о ы й Рфс О хх хф о ~ о сх о сх О О р, 4' х С4 о О й о ы Д О о ы д о х х ~ » х о О, Я ф О а » ф х а ы ф сх ф о О дХ „-И сс О о х о О х5 » м ах О х О, О И ф~ ф Д 8 О О ф 4 д ы д О ДД~ х о ~В о Ц о о о а х О х о х я Й д х <~ Дф о х ы ы сх й о сх ы х 4' х ф Х и'с й О х ы Ю м й ~ Е о ф д о н х ы х й О х о О х О х х х.' й м х о Х О О Д х х м х Е.с 4С х х ф о о х ах ы ны р О о а о хД д ы ~~ о ы о И" й х ~~ Й 1 НО »х Рй сх о,, о ~ О44 х о д х МО О я, х х ы х хфЕ о Я х '4 х о ы сс Д д О Х ф фО а,с й йхх о а,д ы с4 дф й сс О Ю с ы ыоы о я ы йыо ы ~сх х йсо ф О О охх О О Оых о х о х ыо а ыа х ф фх о о х О О хйх о й ы О о й ф ф о од х а'й Цх о Р, О ф о х о й х Х с4 ы сс д ф О О Со ы о О О Й а ы ы й х ы х „ О о о х 41 )Х м о ах о о ф О О Х 4' ~г О ф х О НО О о й ах й о ых ха н х х Е х о ах4О хйф ~ ~~о д" й йсфыа О О й~,ф,а ЗОЯХ о о 3фхх ыхыф ф м ыИ х х х О О аф овфо 4С Я Ы с4 х ф о Хыа ы ха ф ы о ф м охх х О О '4 Х офх ййй р„ ххо О х ы» О х д О о О Н ЮХ 41 Д 4С о х н до ыа' О О~~ Х 5 Р О ф \х х а 4" с4 д х ф о д О н х й ы ф О ы х О И о О о О о 4 Х а х М о о а, о о с х й хор, о х О Б ы О Оаи о Х О х х О о х х х й 4 ы И.: х х р х х й фЙ х х Ы О ф сс О х о с о х,ы О ы с х о х о О О, д х О О 4 О о о аа х я ы »ф сс ° аы Ы 4С а ф о х нх Д ф ьи ы сс ы о юа .И й О О О ы О х Р д а 4' ы о.
н О Ия д о а Я о ф х х х ы х й м о х х р сф М о х О О х ы й ф О х х о ф о о р Я Х ср х о а, сс 1" х 2 ы х о с х а х ы ы д Я » ы О о ы ы х о О о сс 2 х О Ю Б с $ Ы *3. сс р р О р -Н О фй о х н о О ис р" Р 4 сх х и о -8 о х 6 й сх о х о 41 О о Ь й К х 4Р о „. х '44 о х х х х ф о х х х а о О х О О СР Х 44 сс с с о $$ о н хх Ю х й а Ю р. ° 3 О Ю ° 'с Ю О сО ~" -х х Я. н О О о .Я 'х х х и о о с ф" О ы о й о Д О, и '. 4" » й с ы О ф м О О * д О И а й ий с с О х' ы О О д О дх х х О х „И йа й й р й ф а »й О О ф,р о й ф е О О, х см о 2 а х И й Ю 4 'С о ~и о 4С х О а ф 4 ы ы й й й ы Х й О ыфх Х с,с й с ы ф ф О ф о ы О Ойн ы х х ф 4' Д О й х ы5 Род о х 4 й ы Их% О сс х х ы о а мф со Х а„-х Ойи 4С ф" О О ы О ОХ о хО $Й1 ~ЯД ям3 о й а~И Рх \х о 4С х „" х о х д о х й ,4 1Д хх 1й х ай й о Й3 х х ы О, Х 3,5 й" аы ым ,8, о ф о О д О М ыйх 2~И о ОХ Я "'2 О О О р, д 4 й~1 — ~о Е5х ОО о й 1 сх д од фй О 4 О ~ х О >х х о ~ о О «4 ф Офй ы м фй хо с4 ы а О й н ЮХ ДХ » м а ю'О, о ср о й Й О й 13 х о Б 40 4р Л х со сх о х й О а х о а О о 5х о х ~ о ор эх о х О х 33 сс х х о Я о х х О О О О о х О х х х о О х о О х 43 43 Ю Ю с 3 33 О О.
О СО О о О 33 с с 3 Ю с с 33 О В с О с Ю с 43 с с с Ю Ю о О с с а О ч 63 О О с О 33 Ю О с О д О х х ф д о СО а о о д О сэ д й а а о ии о о О О а ОЭ О Ф О ОЭ д сэ 3 34 ОЭ х х о х,х о х х о о д О '4,, х а х СЭ О о х ф ДО сс О о ф о О с х О Х О О Но х О о о О М о ;с 33 О Ц О хх ф о Я о эх х О д О С ф" о со х о о Х О о 3~ о ОО х х< СЭ О, о 'х~ » д о х О О о д Д о о д - и о й о д О О, К~ О сэ ч х О Д х фн Я О НЯ', ф О О ОО х с О д О 31 О рм» х о ~В 33 о о о х Д1 хй Яо Дд о сэ о хс О Я )х сэ д х х х д О 3" ЭС м Х ~ сс м И3Е о ' ос с, х М И а о д х х х 34 И Е О Йф 34 О О й О йЗ.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
