Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 13
Текст из файла (страница 13)
х О О с, Й О О а» х й о х ф о о О )х о 81 ф ф с> й х О О >Х и! И~ о„х о ., Е" о о ф с> о ф х до м о д о О О х с> "И о х о ° И х,ф, а Ц о х о, О о о М о О О х о о О $ М О Лх а О О О О о О о О О О ф х О Я О х о х О О ф 'х х О о о Б 1 О ф ф о „о Х о Х О х с) х О Х О О о. о Я о О о х ы .е О ф ф с> О О д о О,Х О О О Х О хХ д О а О о >ф> О .Х" о ф х ф ах О о й о "3 а х о ф > х о о хм о ффф м О Р о х х х о х 2 ®И ф о х а о о о и, О о со хд о ф 63 р о О о >х Д о х" ф О д х О о „- о О 3 ф )х д о д х Х О фо х о х И а оф 1 Р.х сс О о О х о фф О О д о о О О о х о „.И.
И О с> О а х » ф о ф о р й™ ф" О ох>х о О О о о ам О О д.ф, х Д о Ц х ф ф ф х х х в' о о о .Я )х о х )х о ф х )х о х а х х х о о >о Й м> о О ф х о а Х О° д О с> м х ф О ~ а о 1и"Ыо о о х ОКО ж х'6 Я ф о $ о Н о ф О о,х х М х - х » ф О О й а, К о ф х х д О х х с> о х я > о х о О о ф х /-( х ~' 3 М! х '~ х о О х со м о о о х х о х со х о а>о о ф ф о ф с> а 2х х х х с> х ио ф О о м О о О >х о о х о, ф о х м х" р х о со о о ф фо с> ф Я я х х о ° > а о О у" о х о х О О О а Х О . Иы~ х >х с> х о х д )Х О О ОО » о >х О О х Ы х П х И х 'с> 2 р 4 » х о й х х о х О х У О О.
О ~О О У О Е Р О О О О О О Е О Х О и х О О О Х х О. О в .4 о Ы О О з О О О о о 3 в о о в и х Ю О, о х о х х Р х м о х 4 в х У о й О О й Х 4 о й й1 6~ х х О о а о О у О О О. а о щ О ~й о О Р О О а О в а -4 6 '= О о 4 й О 1,„'в О И 4 4 4О И О О о 3Х х о ы 4 о н о о У о $ $ й у 3 О Й й $ х х оР о ы о м хс У д Ро ох оо о хо -Я ° -. Х ОООХ ХЫО ОО ы Х ах Х Х ХОНГО УО~ОХ о х Х Я ф О, х " х оххх о хо о а Х Х,О Х О О у х ау ы О ы М я д а йоа Эоххнм О, о х О„ бЭ х о о о х О о о" х о о ы 4 а ах х 4' 4' о Ц Х О О о о О'Я ы ХаЦ о ы о о х х о а Ы О Х о х а х х о Р6~ хх о ы м ~,й уй о о х ""И 2 . О Ухо а ы $1~ й х х о о о х Я м о д оа а х Х ы о о о О мС' м ы 331 йхх о х о х о 'у' х о " "И И Х .я, а,~ Х ы У д О ы о а О ц Я х а ы о И х о 4 ы И о о Ид а 41 д о о Х о 8' д х ы сб Я а о '" г" о о .В О о о о Х~, я м Х о ° о х ы о х Х $р н 3 х о М о а Х ~О о зх о У о х о И Й 6 о о .~- о о О О.
ы И а О о м о ы о О, о о о О х о о И Й о ~х ~~ х О, ~3 о х о х О Х У М х х Д о Я У о а о х н о :Й Х ~х ы » ы а я х х У о х о Х ы ам о о о -8 о х х о о ы о Х о о Х О о Х й о О. о х м о в х ы о х ы о о о 41 Ю О х» о о а х Х х о ~О о ы а х Х о О, о 44 О о о И о ~х о х хх И о м х а о 4 О О а О О, 4 Ю о х х И о о о о Х 4 х ~ о х й Л о д М о 6 х )х о Х й о х ы 1Х х ы 4' о х а д х х о 4 о о ы х 14 о „х хдх хо~" хйв О хю о о д о о д х х Х ы Ы ОНЮ ххо х Д .р оно х О О О Х о о ы ~ о х О н О о О~Я а О О Р, хю о о,4 44 х оо ы 4' м Ы 44 О Х О Х4О Х м о У Х а ы х НХ Х моы охн о м х х Х Я 4 х о о Х _#_ о о о о ы М мх О О о о о 4' о х о 4 44 н а мн о ы о Ф о о х о Х .В ы 4 о хы а х ы я Х О о ы 4О х о х о о д о н х х х х )х 44 Ц Я » хи ы О, И ~О х о ы \Х о ы о о о 44 Д НО и 6 о Х Х ф м х Ь~ 'Р ы о т р с.
О бр ч О р. т т т с с с с ь о т ы т ы с т т « с о р. т т р. а з н ы о а с Щ т с р т ч о ы ы х «) 6И .я, ы о а ы с х х б) о 6 х Я ." р й О О т )О х н х х о с с о х О Х бб х о а « о н И~й Я,А $4 «) ы Я ы Й охн ос» ар х" ') о о х а х о х й о р3 о Я ,$, », о х с о х с ы" с ы ы«бо ы ы х о сх о х Рх р,о х ы о д с с О с ын ы р, о )О ы ы «) -И о а ар о х о М .я, х о ы х ы х » о а о с м х »' х М о с о ы х х „х ы И о» ы т хх хх к" 'с' М х х ы ы ы с н х х х м Х ай ы Я 5 х ы о 5" М а о ы х н нс ~= Я х ы о Ь м о х х бб с о 0 х „ ы д и р.
О х х о ы й ц о т' Я» о ы ы о с х о о ы «) а О с о о $0 ы р )О о ы ». О, Ь й )б ыы $ х х ~Я ~~ 5 дЯ й« хссс с м с а„" ыы" с ы хо х с ах ы,б ы ы «) '-' х, ад ы Р" О» о Х~ О) х 0$хс» $0 0 ы сХО ) "хо» бо)ых Хм оно ы ~ ы ='й~ Д йй 3 - "$~~ с О б» х, ы а' О Х 0 х ы ы о $ »' о о Р бо Х Х О Х о о ы р„о х И 4» ы о о х бб о )х х х с бб Я а ар )б с ы ы б) б« х й р] х )б д ы а ы о р о ы Х ода ар о о ы \б х ы 4 с 4 ото ы ы н ы хых Ж о Ж Я $4 Ж $ \,$ Ф о.
Ж 6 о % 2 р о. Ж Ж $ Ж бо М о Ж Ж С$. Ф) о $- е с$ Р) $)«$ Ж с с о «$ 6 ~„ х 4 С о о х )х х х Ь х О, 4 05 о 6 о хо м с й а х ых й ы » х с о )4 ы ы х о сн Й с а «» хР о х р )х 1 ы )х р сд я о х )О ы х ы »" ь;. )х с о О о с" о с о ы а '$' х и' о о о т х ы й б ы ы й х с а ы ы ы ~К Рй о ° Й И О 0 б) н о 4 Ж с Я х О ы б Й о р, ,~ т~ ы х а ц, ы ,. о х с' ы о ах )4 Х 4 ы х ы ы х о о ы .4 ы 'с сх о с н су с б«фбр Р Ка х ы 4 с В. о х .9,с х,х И)х х м х ,Я 4 Х с до эссо хымых-; осы о хй а б) Ы $ б) О О »,о аи)0 ы ны х ~ о ~ о ф сс Он И.Р ы Я о м о х с .а, аьсИЫон о М н о ч сн Я а~.
ось р, й х», ы о р м Х $.$ х о о офйых р х с о д а "$ ы а и ы а )хы б« Рм О, ы О б) 'т' х с ы ы «) о $ ы о ы О нХ сХ о р х о ы 0 », х с б:$ р Ж 1!Р б) д 'б К! х б М 1Г ~~ь х м а б' о ар ы о - й )4 ы !$ ы д с 2 н о х ы 4 М о х О, ы б') о й р о о х с х )х о х х О х р, )х о И с б« Д $0 р, )О о х ы о )б О 4) о х бб х х «' х $ $ О б 3 т н О с О р. И а т с $ т ы с Б о с с О т р $ ы с х ы р х 5 ы х »' х )х о ы с бб ы о х ) х х а Й сй Ц $ ы а $- ы О, ы н 4' с )б с $.$ о о х Д! й х И » х х Д й о х х М о ы х х р «б бб хс х с с ы $$ И ы р, х 'х ы ы сРй Я Й н о Х ы ~„х о Д ы о ы ы о ы р '4 а,о ы б« )4 С Х д ы р о х м а" охо о ыбх" а х о ы ы Й.~, )х о" х х «) х Й х ы ыб«Ц х ы ы О ы с с о о н х ы й ы ы )$ х ~~ Е И «$ р, х )О ы х )х х х» 3' р х Ж ы о )х ы о Ы )О о М ы Й~ ,х а" $4 Ию ар „р, б) д о" соы ахыЕ о ы Ы ОО б) с р с Я Я х о м" Я о й х х о и о х ы о х )х ы о оса, «$х х р х ы х й х д о а х ,4 «) Ы бб х «) и х м ы «) )4 И ы Й )х М о М хх" с о о,х «$ т д д о о с а р, б» о Е Ы й х о о х Й х ° х ы о х а ы о ы х ы 'х ы о х р с х х о о с а б« х с о а «) ы 4) Х Я ы м ры р, р ~ м.
ы хх р » бб Й Ы бб »Ю ы о х о б) оса хо о с «$ о -Э ы Ц Я ~ ы с)х о 4 )О ,4 а х Ж хо о р ы х оса с ый х ххх н а с р. О, о о х )х о $4 х * с х о х ы ы о 0$ я х" о Р х с д И.. о О ар ф а. ~ о б' б» о», о М н о 4' с «$ б« х х ы б) о х,р) ы р - х х р, б« с с о 2 р.
ы ы з'! и М ы а й )х о б«х «) ы о М ~и х о Ь й о о Е а,о „х а ы Р,- х й о ы с аы н о й о о х н хо о О х с ы с о о сс )4 с а а,о ы о х х ах ы ах х р бб Х н хы ы р,х б« с ы х ы~ с Ы ы о о ы о д й а 1 х ы аа - о с д аа й н Я о д б) »" ы ~И! )б х д б) И й Р, о )о Д ы а хо ы бб о $4 б« с я с ы ы р Ю о н о о ы х М х с б) х с ы д »' О о д ы ах ы ы р Р, бб) О о ф х И б) )О й б« ы М х )х ы О с ы х а3 о ы В ы х о с $4 й~ б) о ы с о а" О О И И а й Л м х х о ы ~1 .-е ы ы ,р) " ы б« х р о ы о ь с« дн а о ы фх о х х ы бб о х х о ы ы д о о х )х ы О ы с)х о х ц х ам $0 Х о х о о с аа ).О Х $0 о о х но ы ы х х )о о мы б» х а х о н) О )х м ы с ы)х о тта о с Ы» )4 х )О Х )4 о ы ы х Д о с м о Я с а о о о ы о о ).О Х бб Ы о~со о,х Л с ы хм $0 «$ Х Ь 'х р о о «) $4 4 Х ы о м ы х р О О о ах ы ах Ц х ы о с о а ы о х а с о )о о о О бб б) о х )О Х р И х ы х х ы о с ы о х а К х „х х о ы «) «$ ы с т о х х ы ы о х Й ы о ы х о х И а с 3 33 о О.
О 43 о О а х Ф Е 43 ф ф О Ф й ы Ф ф Ф Ф О а ф Е Ф. О о о ы й ы х ф О Ф о о х о х ы)х Зхо офх х хм ах о Ф Сс й о Х О,Ф О О Фх :Хо . х Оф Х о х 'б Х 33" а н ох ф о о ы 2 х о о ф ы о ФР~ ы о й 2 а' о „х О 4 х о ~х Ф О' ы о Я 3Х 33 о х х й сб ы й о ы а о д р= бб И а 33 Ы х й о ы х х сф д Ф о д Ф Х 3- Х О, д ы о й О, Х о ы х х х 34 О О, »о 2 х О Х х х 6 Ра СО а 3. х о о хй о ф о д х х ах 2 д х о 33 И о о д х о о х о О, Х ы ф а а х Ы 43 ю н Л Я а О, Х о о х О' .- и я й дух сб сб ф ы о ФХ Х он д о х х хИ И Х хо, 33 СО ~Д8 Ф»й 33 Х Ы О О сс х 44 ы сб д ф 33 33 а ф нх х хоф а х Фб" Нсф Н 'Р5 И ооо а О,б )х бх 3 3 о х х ы й о о "Д аха»о о ыхх сб ф Х о х ф х ф сб сб о х О Их х х сб Ы х 'б о х ы ы ф х х ф ы 3Х х а о о » о х х ы Р ао 3Х" о а ~, ф о о х Ы Оф х х о ы о О' о сс сс о о .х о х х ы Ф х о ф Б н х о х ф о ф а х н а х ы й Х 3 Нд 4 о х х б 'е' Сс о 3,3 О,ф "Ы » х ы о о ы д о Я х О О О х х о ы М х х Ы ~ СО а' '.
Х Об' "хбг И 33 О' О ф а о о Ф Х О ы ы х х 34 Х ы ы х о ф х О Х О. о о х м о :-р Ю„ д 43 О х х Рь Д 43 ° й о „ х х о 1х ы й о о н,' < 333 х х х х о ф ~ » о о Я ф о о сб Ы х х ф о ° и » Сс о о х ф о о н а о Я о О" о - -3 со а а$ х о о х х о О, й х Ф о х ХО Ц~ сО И И х Х сб Ф о х х х х Х сс ы х х х ы д м м х х д о о О о ОО„ д о н х о ф о О, 3 ф~ О О О о х" М '. й х ы >х о х О, сф о о х м О ы ОХ й о х о О,Х о 2 х х й ад '4 о о о х х ф В .4 О ф мф х о о О3 а ы ~ ~ х о ф Со» о И о О О о 43 ф о о ы о х о о х ах ы ды х :и хо ы ф сс х а х о х х" о ы ы хн О, О о о х о ы х о сс ~з х ° и М о ы 'Ф ф' ф о о ф х о Ф 1 хь М <~ о х а х 4 ,О о о о о х асх о о х н Гб о о й О гб сб х ф 43 О 5 Ф Ф з 3.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
