Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 16
Текст из файла (страница 16)
о а„, О о и $ 3. О Й й 3 Й О -Осоой . х ас а$х~о о д х о О а О х ла Х х С« сх х 4«, х х,а, х а х О Х о ИИДХУООох хохххухло ХОХХОООХ ху'40«ОО О Д Х О Д 4С О Х О О Х Р, а Х Д Х Х о Д о а,х О Х о О Х ~ О Й Х Х!С Х О ОХОХ" О ДдОХХ сох лсо Со ХХХОЛОХЛХХ о Х ох х а'-ах .-.- ° и ° ° ~ о уйаох УО О 4« О Х д Х Х ~ ХО О- ~ " Х ХХХХ«ХцОХ у СО д ххуоасохо х"й ~Р-х- 6 Р х ухо уй 4 О а Х с С у д одах ~у ухсаохуо о О«ахххао Ц О Х. ахх о о хо у й'~ й.! О с« Х О О Х И ау Х х й Х "04 4 ххх о О О у охх ООХ Я ха, х х х х О О,О х х О И а 0 О О О х Х О сс Еаза ~Ос д Х о ~~ сас 0 х . а хх йхх У х х сс о 0 О х х 4 д 0 д О О О о ц х а О о" о Й О О о Д о" Ф сд а О .4 Х И х. я ХСО Х О о х о с а,х О Х Д х о ~л Д И ,х х а.
о . х О О а, ~фдхц ОООО сс Х а, 2й ,4 й' ХОМХО О 4« О Х О Х Х СОУЙВО о й Х ХОО О Х" О О О с ах а«4 Х х дх о т «х« «.Э Ф И х «Р «Р О а. Ж «Р О 63. « О о 44 Я И Р' я Е О «Р 3 р х «Р х $ «Р 63 И Е 43 х «Р «Р в ~ «Р «Ч аз. 'Ф «.4 «а О Х х 4 Д О 4 4' д о ау о х «х о о с« „о У О Х О х а Ха. О О У о 4' Х О о о х х о о У 1й о «Х мо о ф х х ф о ч Е! ч о ф к ч ф ч ф о о ч ф Ю с с ф ф~хн 4 м Х О,ф ч ч О х ф о ч 0сф о О, х о х со 4 ~ ~ф х о ф" о о »ч фр, РС очо Рй ч о~о сао са о Х Д сф о ндх х о ах о ф РС о ф ч х о О ф 0 0 ф о х ф д ч Р' а м х Й ф н О о о о х м д 1 3 о Й РС о м И ф о ч д о о, О х о ф о ч х ф ф 6 я са а а» о са сф о ч Ч РС Сй ф о И х ч Д о о ф ч сф ф ч о ф о ф са х о РС ч о ф СР ф а с« $ ф Рс м о СР а ф ч х о 6 ч ф х ч ф ф о о ф Б о" ОХХ ч н ° мф $ О о фм О ф чм фо~ Ч ОРО Д О,Я. ф са сф" 0,0 о о й ч о о „:Р3 ф Я офф о ч Х ч ч ч ф хф ф ~ф о ох о 0 О 3 И ф о ч ф о ч х м Б ч д ч ф Ц о ч й Сй о 0 О Я о о ч 4 о ч са О, ф ч й о ф ф ф о 0 о ф о ф О Я ч оф ф ч ф „, » ф ,а ч Ф~~ очи ф хо сф ~ О ч О о ч фоо а ' С4 о Л О й3и о о Е о о р, Х ч Ра ч о О" Ц О о ас сф Ы Я О о $ о ф Я ф 41 о Я '- .И Я м о ф ф о о Ч 4 ч ф сф о ф о ф х о ф Я о ф 0 р о о со ф о" ф' Р ф ,ф о о 0 ч х сф ф ф о о о М ч о 6 ч о ф ф м$ о ф ч о ч ф сф О О о ф ч ф ф са щ р сф чф Е ф фй и й ф И Х са ч ч о» ф ф ф ч о м я Р» о й о х я ч ф ф о » о ч ф ч ф о ф ф о ф ф и ф ч м ч й ф о сф й Р Р К % Рс о И й о ч о о о о о Х м ч ч й о й Х ~м Ю" Йд сф О СРР ч.
Е о фо ф Рф о ф о Й ф о о ф ф о ~ о ~» ч х ч ф Ж Я! »ф, 4 ф И ф Я ч И о м 0 ас ч 4Й х » й 4 ф» са оф, ф а ф о ф ф о р ф Ж ч 41 ф м ч о ф 5 со ,й ча ч фо ф оо о ч ° С а ч 0 ь; о Ь а' Ф ч о ф 4 ч о ф М о сй ч о 3 м о х о РР йс ч о ф р х ф са ф о ф О, фоф очф ф 4 о Х ч сафо о осо а о ф"м о,й ч ч ф ч ч У ч Рй ф о ф ч' х х йО ч ф О са ф ф р, ч ач чсф 2 о х о о хо о о фо Сс ф 3'~ о ~,Й ф в~~ о ~~~т1 фон~ й и~ й Й 1 фр о Й Иах ч Ю „ о ч очч ф сф м И П ч о Я х х фчо ф ф мф о ф йс " И $$~5 р ~ ~Ы ~3Й1 Р р ф а ф ф а о ф ф о Я Р О о о Д а о а о, а о о ф К ф О о РС О, а а х о о Д 1 Л о Д -Л Л 'Ю Л х Л х 'Ю о х фх Ф о о х )х л ~х СО 5й )х О.
э О. х м ф й О ф О О )с ) О ф О ф Ы 1 О )О О ы О с а х сс х » о и ," ф о он х о с охн о О о о х хо о ох о о ад о о хо, Х ~у,ф о Ф х х2 о х 6 х" о Ж с. х х х л х сс о л о х с о о х х хх Д» ах о )" О, х о о И х О О о И 'О,с Ъ оа,о о 4о х «) Ей ц о )О о о о й о о о с) » а х р, ) о х Х О о х И$ И ад )О о м о д х о о о х о хххо,ф о х. х" ас О га ф Рдо: Ео х ~аИ н д О о О л О, " х Х д оН О О " Х Х о ф Х О ф О О О фО х Ко о аф фи Е м О ф ф х о х х о х о ОЖ ф м фо л х о х а сс ом о х х о Я 4 о х о х х о х и -" о~~ д х а о Ео . о о)О)х о Й » д М м~х х ммл 3 о,х о х с) )х о ах с) )х ф о О о и ° о х 'О Х о О Х х ад ф о о О 'Я х ф о х о о х )х о х х м х о Й х о О 5ь о )х о х \х о о о о х х о О и Я а О М я ф о хЙ ОО о он 1$ о х Й х х )х о !И о О х х О,о ,";Й О О х х о »фо Я о х о х о )х Офф однл )Х ~~ос а х „х, о х до~Ох о ОХ~О х х ~ х и а й х ф о н О й ~ Я сс х х о оо.«ха о, сс с о х И о о Д ф к~ Фо ф х 2 х хо о о йЙ о ао ф охо х" )~хо ход х д о а ф хо м фс« аф о ф Й х х )с л о л з,6 ф аф О х о м .с о о х о - х о ох о,„мфо ) х ход о ОХ)хх о од оххх о ОХ)о О' а с) Х о "" ы) ф о х с' ф О ф О О $ 2 Ы й 3 Ы $ И О Й ~$Р $=:1 о о х х о И~о х о й~ ф ы о х а„ о о н х Д )х х д ф Ц о х 'ф ф ф о о о О )с о ы о ы с) о о о сх о ф'с х~ ы х Ф И Б Х )я ,О щ з «О й~ Е О Ы )И Х О М Я М О сл О О.
О О сс Х й И )Ы О э х З' ОЖ с яэ с О) О И ИО 3 СО О М О )Я Ф щ 'Ф д а" И О, о )х р СО о о х о ,." Й х )х „, м о о 3' 1 ф )с 1 д ф о «) х х х)х о м х х х :Р х х о о «) Яя а а о х о х )х )х х й о Я сс Б 4 х о о О, с« Ос х х 'о И о н й' о о ~Д х ох а» 4 Ц о х Я ф О, о о х й ха л о о ф Я д «с о о м х Р,х ф о о мх рб с) Х О. х х о х х х х Я Я ь сс о О х о о х о с« х Й с.с «0 Фс х с о \ о х хо ах 16.:- охх о х О Я, О ХО.О х х сс х 2 Х$О а.В д Х О о о .и ЯЯ о ~ о сс Л х ~ х~ о 5и О со х х х сЯ )х о И О ф ОО о х сх о х х а о ф О х х' ЙЯ о х х х Я О Д о Й ах х о ххБхох Ях «с О«ООО р о йф~ха х х а~ и ~ д х'х х ф' О С,"О ц ход аЙ ах о о ~~я а" ° и-".
Я » о х Х О О,О х «с И «с о й ОЯ ОО Х и О Х О МО хК хо „Их охой;о Хс осх Я,х ' х х ~~охо О, о Я о о Я о О о о о х х о х о сч с с ч 3 5 И 5 Б 3 О '1 с.с ч Д л Д й Я О, ф ГО л О Л о Д х л х аО Ь Ф 3 а И Ю л а о л фх й О о «с о мх о х « Х о ~ ~1 о о хО О х Я О Хох ф о о ф д О «« Я о сс О о СО О «С ~и3 х х и О о ~~~ В Ихх2 д Х О Ои Х о х х ф Е х ф р фс.« »х~ дх ОДхх о ф «с о х х «с ф »х х х х о ~,о ~ » Я,„х х 3 фофхсф Х О О ах ао х х о охи Оохх о Х О о О, о„Я Я О ф охх ОХ "Р Я хх Я ~ Я ~ ~О О" ~~ дХхсх х сх О О д х о «с » ф ХО=И О О О«О О х х х х О, й о сх х»х х хо х со о х х о о ЯО '~х О „О "' х о х ояф ро й«ХО ОХ йоххосх Р'Оео ОЯхх со Х Х ф!Я.хо ЯО,„х х ОЯД оффф ХО ООО хи ххх ° с о о о Я Я о х о о о о И «с Х х х Я дх о х хо Ь)х ~ о о Я Х О, О ,ао х х сХ О о о о ф сс ххх О О, 'эх х х Ц В И о о 6 .И сс о О, сс х х о ф х х ф Я сс О О х,р, О о Я О Е х ф Е О О ф х И.
о ф 3 )х о х ООО х М О х о Рх х х хо~ фф ах х о Б ы о ф Р Х Р' с) х а, х о а,о 00 О о ф о й 4 х и ы, а )х й 4 а н ОО сэ о х О, х х 5Р х о Ии о х » х о ао Р) х х х х о ы м СР С') д -'- ф ы х о х й х д х ф фо х х с4 ы ах Р\ а, о и! х х х х О а ф о ф х а о о о о х й О м » с) х х а, О х сс о х х О О О х х х О х М О х ы о о СО )х х о о о х о о ,4 о ы ф х Р О о о х о у х о Д" о сэ ф с) х а рР о ы х х о ф х а с' о О О о „о 'СО О с р, х ы о „3 О а.
сэ О 43 о фх О О о а х .4 о -ф „а р О ы х х с) ср ф О 4 Х Д а Й 43 О )х д а о о ф х" х м дс) о О х ° 3 О, сР х ф )4 о О 43 34 О х ы ы х О д Б сс Х 4 х Х сР ,4 Х х, й 2 х Х 4 Р' х х 43 В х ы х о "М х о о Е а 4 ф х н ы хо о сР с) О Х ы х о о а СО х 43 )Х х о с) о ы О х О, о с) 43 х о а ах й. с) О Щ х О, м м О сР ф с4 с) Я, о о ф дх О й о с) й й х х 43 о о о о ф х а 3' х О Х х х О о 4 х х Р' Л х — ' ИО Я— 1.И %" о Й И ы х о р о )х о о Х о о Д Р о м о Я х 0,4 О о о ф С> о ЯЯО х о о о а о х х х О О О Р' о х О х О йхо х оод О Мхх х х И на о хм х х о ха ы ф ы х о ф хм х ц ф а~ )4 о д »<> с) х 4 $2 а ф ф о х р1 со х а 34 о х о х О 1Й о оа О х О 'В„Д, о х д ф ОО ~$ о ах о И н „- о И 4 о $ о х о И ср О О С сс о о х о й о ы- х а х ~ О~ а 41 0.
аО СО Й о й о о с) О Д-' Е~О о о о ф ф Х О Йх Д о о 33 о хо о й О Х 43 ы о Х 34 м д м о О о Б х сс И- ф ~а о а о ы Н ы й ~ Е х )4 О ОХ о О р Р) )х О о х Р м ф о о о х о ф с й д о д м Д, х х о о о са о о х 4 о х х Р3 ы 3")Х а о о ы х Й о о 0 В „."~ х ф Р. ОХЦ О ах о о 43 й о)3 о х о ы ХХО эх о а ф о о ОЯО И ЗОН сР й о о о :"3 о О а, х х 3.
О х о .' и ах ~о о о о о 4 х а а, о с) й о Л я х Б а О 34 И х х 43 Ы о 0 р„ о о ф о Ь~ )4 ~М Я х о ЦИ о о »а $- (Ч 2Ь О )Х о х х й х И » х а Х О М О о О .о ' ОО1 а гэ)э' о о )Х )4 Ооф Хо о охД о й о хх о ф хо Дйф Ц О й д д д ф ххф ао ° ~я о о х й о х х х х р, х х о о 2 1 о о о о р й х х о о х х О х ф О 3 ' а о ы О д о х а а са о о О ы н 33 О ~ ф х о О сс о о о о И% х х х о ,о о М 'х О х ф ф ха х м о'' И х Д- о о о О)Х ~ О О О~О Офо ф о О Х 'Х х х й х х о Бха $$~ '8 с) Х хх ф х)х х О)3.„ф „И х а 006042М ф о Со" а х,Хоо оо .аех ы "", :х 8 К хх:ыф х х х а, ф Х О О и ох ~ $ 3 — 'Р мох ,Оа оф О д Х о х ф Я О о ЫХ И фйфф ххмоо К д о аа» о о и Й Д х й Мх р„х ) а 1х „а 0 о с х ы м х х с:) ф аэ Х" '4" о о И сс х о а, х х ф х о х $' х ч ф х.
х м ф ы ф х о х х о О х Х О О х Д О о о О ф)0 фы х аа о йй„ ао ы И о о Х о х О ф о ф ффх ф О-" н С:3 ~~44 о х д х ф ф о О о м о а, х а И сэ Р Х ыф о а~а Х йо ~ „ ах 43 н ф мЙ о а, $ ~ сэ Х За о х ф о о о о ф сэ а х о М Б ". 4 Х х х бэ х й ф а х сР о 3, а 2- СР „й ы 4 х х ы Д ы о м СЭ ХОЭ аыэ 43 О 44 ф,х й Р » о о ы О О ° Р Р' П х)а х о с) О ы Х ф х хон х х,хо аф ~5 ;4 х О О о Х 4 о МХ) ОСО й О Х Р" ~~," )Х )4 о х Й х Я а» ао о а О а о о о о ф Рй »х а х И 43 о "Д ~ а нф й 3~ ~3 о о и и х д о о Их О )Х .4 ф ОО о с4 О. Р' х о х 1 о х х х х О О, х ао х о о О ф х$ ы х х р О н ы.ф ОЦИ ХО О х н оо И о о ххх са о а о ы о Щ охИ хох о Он Х хоф фф х с) ххх Х О Р' О ф ~а 1 $~ 43 О 0 охх о И х" 4 Д о р Х о м О х"хх х а З х ~- фф х»„фо Й 7Й И-' охд х" х м В ~ Хм х а н хх ф хы~" а,о д х О 40 Й 3м'и 43 н й а ф ода о х 34 фа ох ОНХ х о х О о Д х а о хф ф о д о о ф о р х о ф й х м ф о о Х' ны :Р х о 4) а х О о о й О Я а д "х о о х ИЗд м фх Й О.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
