Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 19

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 19)

аг- Х д н О О м О Х Н Х о о оо Х» х" н -д х хсао хощщхсчхоо аОХ ФОН-.ОООО амщОО о щ Щ Ф Пс м» Х с ап» х О а И о О' щ ОДХОО~ХОХОщаЩО ;ххо„;хм ° ...: » Д ~ д о хщ Ф п4 на х х Д Я ~, о х Д о нй х о щ ащ щ,р О Х Х щ о,„о о Я „Ф Д й О „" х щ о щ а и о х о нщ- с„ф хО ДО Ф Х- "" Х Х ОО Й~х Щ хо Щ ~ ОС ХДхйооща»хос щоОохсхн5;щ -5. - '----: .

щ О О О О щ с Д о О о О Х х О О О щ щ Н С Х М» Х О. » Х ХПО м О Х Х Х а О О О Ф о о о Рих о а с Д х д Д с дх о о щ о Х О Я о о щ Ц О, щ х о а с О О со Ф щ а о о а о охх я д о Д <'» ~с а о О» щ ф с щ Д Ф х '1 $! Я о о х х д х Ф д 1Х о „О О с" уа хоХ О о м о щ Х ц а» м щ щ щ а о Ф Х о Х О х о н 4 О о О 4 Д о .Я х н Ф Ф.

Ф $0 О Ф У Ф х х 4$ У 3 х 4$ Ф и 1 5 Ф Ф Ф Й О бр о бс о О сс о Х,р сс $ О С3 о сс О х О О о о х о ах И о Фр О Ь х о х о О И х д 4 ИД х х О ° О И о О Д О о а х $-. И д ь О Фсб д а о у . ИУ й х о м ~ХО ф РО а Д Ь СО Я О сб Рх х йРи ;"~Р сб ькх ь :5~ О О д Х ссь" ах 4$ Я ' а р' Х !$'$ О о О х О Х х ,' Я Г, О ь о х бс $ Х м О М ОН Д х О, о ах о 1 Й,„ О Рс О " ОН ~ОХ оха Х О О О УН о ь х бр х й $ р' Ф х О м 5" х а" х а х о о а $4 а ж о х о х о О х о 4$ О х х х о Ф х О о х О, о О х $,$ о о о О а О О О рс 4$ о о а о О х $0 о о 0 О 4 о й а о х 4$ о Х О О О, о О О О О О сб о х сбос И х х х х О 'б а х О о 4$ сс о о „х о о о О х о сс $0 Е~ х б Ф" х Д $0 а а 'с х х о х сб р' х я х Ф сс х х а х о х о д со ах о х И о х со а О х мн "х о м О,Х х х О х О о н х Ф м а О 0 х х о 4 О х х Е: 4 о о х н О Х О О х ср О х 4$ О.

о х $ $~ й. х сс м а о а $0 о х о о сс О, а о о Ф а р' о О О о О О, Х ФО Ф Й Ф »а „$0 д" о О У о 4 н х о х О о Ф х х о х О Х х б Ф Д сх о Х О х О х о н х х х д О 4 О О Ф х сс -б ф О 4$ р' сб $0 М о о Я сх $ О х 0 О х "х Й о О О, сх х Я сс о х о х сх о м х х д О .Я о сЭ" О х о О х Х О ха м б а $0 о х О р' О $$ »а о о $4 х х х х Ы о х о У Я О х х ~6 бм а О сс О 0 О О 2 х Х О а м О о О ф х И Ф О $. а х х У $0 д м со х ~' $0 а О о О $Х 4$ х » о И О о о м х Ф о и х О о о х х х о О, О О О,О, а х сэ х О х х х 4$ О, 4 о Х О х Ф о Ф О 0 Х О Ф О .4 о рб О н о у,р; Е $0 о х И И О 5д Д, О о о н х О О О "х б х Д хй а ~ х х Х О х х х ~ сб о Ф о х о охй х о УХ О О Р О й~й О О Х О х х '8' Ф х О о а О $4 О х х Р,' Ц о О о О О о О Ж х о и о х о О О »х б о х6 я~ д о х х О х о х х д о х р а о О х х ф о а сх сс о о х.

й о м о х О х х х х о" И о $" О 4 О ° з О х х о О, О м ср О о а о » $ Ф о "х н О О сб сб о о сб Х Х О х Х О О О м Ф х 'х $б Я $4 Со о о О о а Иь бсс ь ь "! ь а й 5 Ы 3 Е 3 $ 3 х х о х Ф о а х о ~ Ф- Х О, Д сб х х о О О $4$ О х Ф х о о Ф Я о о Ф о О и д оо 4$ о о И Б ао $ о о о о х 4 сб х О о ф о х Х $0 Х Хсб х а,~, "х' о х х$'$ О х Ф а ФУ ~ х сх ц х о х о х о ' ОИ р~ О О О а $" х Ф О0 О О О, х сб Ф х о х х х о д О О" 0 о х О О Фхмо О Х О,О "-а1 1 12 $" х ~' О~„~ х О О Оо ФН О О од о Фх х ~ -х о й $''у1 О Х О О » ОХСО Д а сх х о о О д о о Я х а сх СО о о х сх у! ВР сх 0$ о 4$ О р О Я х Я х о х О х х ах ~о ь ь ь бс х Ф О Х х х о О о х Х оН О О О о х» а О о о Ф х о о х й О х О м "О о" х »ХО Ф ~О О, О~Р$ Ф Ох Б аосм а$ х б Д М Ц О О,Е, х м о о ох х х О О И О х хд Йо о'х ХУ$ХО хмьхо х я х х Ф 4$ $Р х хо О х 4 сб О а Р' $0 О О х сб О Х ао О сс 4 о О о О д х х Х О и О я сх х о о х О, о Я У о О, о х О О иР х" х ф о О а б" О" Х х х 4 у х О О о О Ф д Рй м У „ а" 4 Ф о ср со о х х О л' х 4$ О, И х О х Я О » р $й хЙ х И О о О О х а Х О о И :Б х н О Ф х» сс О „а Ф О $Х О сс х д х х $ рс хмрб Ф о х Р!~~ х бОм "-Д О О о хам м р о хСО Ф х а 5 х „х о Ф о о О хм НОВ Х х х сх .4 О д Хсо о о хнх х Яо Ф х х Х сб х ~ о ХО х с, ао о О Х д о х х ~и х ~И И Ф о И И а У Ф х х х Ф х а О о о х О сХ х х О О О, И 3 3' О 3 36 о $ о.

О Е Ю а х х Ы Й $ Ю й О 4$ Й О о. $ щ $ О О О 4$$ О ° а . 'Р сб м а ср 4$ м х р~ Ф' х . о О х ц О 0 О х о О $Х О х а х ~ О х у йй ь сб сс О о а х х х $4 о о 4$ о х о мх О .р о х х 4$ х $ О а сс сс О а а,б О Х 'О 0 х о х У х ь м о о ~1 х о у о х х О $! о о х о х о х х о иРпчньтпсевй чпчц нн -жна1> иоконпоп и и>шанп аонеисЬтви ИЬион эктнишст 6 с цэьАП-1! виндясейто ОЦ 10 %5э аякнш а кааитпсюии 'нпниэнс спвжйэпоа енжнок эн вяжонкоц аинэьАнси эояээьиюийшяжЫх члвавн внжнон вяжотшоц ценен хияааона.пней ииаанин циюэьифвйл-онэшнй ! ' 0000 000! !'0 %0Й %0Е 1чнотаи э1чннаипхйсвй кинэнионэйп ш нэишфф соя эинвнс оюпт -охдаац иянэнп анно»инпоаайпйноп эннчсниэявт>шсс 00 -Во'0 %[> ннли иана -юнак Ноп ииттвийофэп кэчселйаапоп эн 1Чдан 'Ио1ПЬ ат аньоппаок чпчд внжноп еяюнц вячнэпАЕО котэ !0ай1 енэкэйп олэнхй 0 100 0 иийтэионифойц о ос > внэнэйп 0 !00'0 ияиэтш енвнсЬлеи итаонло>ш аиненс оиинохцоэ ц %1> юпч хия'шоюэн он ох шояээн иянэс и хчньейеойц вячнап,!Еа кшЫдх11 иийлэиоэпинщ %!> Инйтан -скЬфйэтни цонноинвеийкно ц !0'0 сйо'0 г" 00'0 вноэ шэяцер! вйтаиойэфйэт иИ 00'0 Ло'0 Ц Ц0'0 (осис!>) иий -лэиойафйални цасэь !Полоща эипчйяоп ээшонжейто и тннэпАЕО еиипохроэ ц Ц 000'0 000'0 !00'0 ияи *кинэсЬиси чтаоньо1 ияи 'канаш ЕНИПШО1 ЦттнзЬиеи киаонэсс о> с х О о 1 монэии нни1пиш вннэйэнаи нишщ ! ц эцииээт х о о о со Ы Ф и > о о Е и я Е В с с с 4> с 3 с> о х О о х О о со а > м о а х СО с> а о о о фЙ о .о И х о О В.

ос о ~$ о о О, Х СО > ,4 х 0 о о х о о й а х х о ХИ х оО о> х х н о о сх х ~ а а а х о о о о о о х >х ,э О 0 о О О от о й о Х о с> х о о Ф Ы х Фс х х о а о х $ рй о о о о о х о О с> х о а й о х с ~ 5$ >О д о о о >х х а Я и 6й о,ф, а х о х х х о ос й а \х х х о 0 й8 о а о о б Д о о Й 0 й с> )х э' '4 со о И о о Д о х о х э )х с> х о> с:1 $ой 0 0 й й й о х о о о х ,э !К >м о со м о о Я5 о х х о о х х О Ц й о о о о пт х О х о х о о х х Х4 „а б о о> о О,Х с.

ах! й о х хйх х ~!л Д сс Й ->~ ~ о ~хт о ,> х о й х '-В о х хи х о х х х й о мх о 2 Х О о\ й О, о й й й со о сс х о й Я О й и О Я х >х 'й' с> х а с х х й СО йд о со о о о оо Я ф х о х о о а :1 о Ц со ос О со йй 3$ Е! о й х х с а а '" о х $ х х о й Й о> х со р о а > о с> й Я х о д 1мх Х О >х о о х х о Х х О, о м м о х 0' а'' х с> ,'о о 0 й ой х м и О> ~ с> х д о о о о д Я о Ц о й о о д и1 оа 0 х се и х х х х с> «> х о о х О, о со о Я й м сР й с> .н Я о о х о о 1 э' о о ~26 ОИ~ со" ах -н х >х И>х о о о а" р й я х ос й ~ о х х х о о х ,О Я х >х 0 о о 6 ° ~ >х Я > х со х М х х О, Х х и щ с х с о о о о х ах О, Я а О>О О О Ь ,> оо х о а Я чэ о х .о о с :: -'„й со о Х Х О, Х О Х о х сэ со СО о й х о х с охх о д о о и х о 1й$ ~х 8 о х хо о ах х х ~'о й "хх о о 4 х о О И4 х ох оа О,а" о м 'б' О сэ.

Ц х х х с х х о Х 0 0 о сс о о х х о ах х х о о о ~ мХ х й а о Пх о б" .о 4 и а о 'о м х о х ,о И! о >х О х а ОО Х с )х Е.л х 00 й х о х Х х с х о э' О о о х о о и о о о а о Д$ сч о х >х х о о> Х со О х м О х Ы о о а Р о д. х х 0 х " о- 1" х О $Ю о о о х х ,> а о х «с Х Р й х х о х х с> о о Х Х О О О Х О О х дно с > х > О„О о о >х х й О. со х >х о х о О о о \х о х х 0 со Ф х х Й о о> и й о кинэклК е иоэ ипей исчн)ОБ -э?!эдна э .(фд нопл( Боп еуп -еи аопма.'и опоил кэ)эксэпэс(БО хемжопь'оп хнм уп нежаи.'оп ен монэпл иш кэюкнэиий цеалэеааэ 'имнэпл енапшо л еупеи алонлейволон (ь( эиюпл м (пчннэпп -эймидп лэепчдло кейыом 'епиэ кенжэаадлнэп кэ)эиокэдпО , нии )01- ишэ1пейа Иае ае емжоккоп-емнэпп епэкеед «жь э ел (фийенэп жикохун цэпинейл ен илээььекоп иснэпаь винеаодилКфиденэ ц »мнмш а едынэпни эинеишаепя монэеп нежоа ичнэимо ВББ каеэкнэнидц( -Бап еаеапоаэ эимэ)ьинехэр( июопьы винэйже ц эич о идп имэопоп янном иинап -эиэ)ЬН идп пена энне(Ьие(д нлсиэ винэж имншшэокоп -опидп иолА 'эинэпшк эон(Ьф эпие а (чнеедао кассе(ечпопэд -эаиле 'кинеаепшо чеэойомд илчнчБВ Кеиа — кина а па -ло епеьен чкадлном 'Наж»й -.Пн кэнэшосеипппоа( э рекли канаш»мсиак имнэеп эинишдец вин сЬиеи езЬаэ и емпеп енжоиеоеэн эепэнойп а ИН(идаиа 'эмнэпп эклем *хвеь(па а кэювнжид ца ипижкдпен энмаэьинахэр( эпч оионпши они линь иол 'эшчнж емккдап ееп ен еапй ончаэллэонео июонх(Ьаоп жо олоаолва(э екиэ кениомх Нонка кинэ\пэижЬп чеэойом.,ч ехЬ 'эинэь,(дм 'ливка юеиче(ча екиэ кенэевгшепмийц ппчйл.о (чпю ион шеи.'Бнэлшй иэиээ -иомондэе Ноннэнипэоэи йп 'имоаааодп ичйю '.Водки)пс аодкнимип чюонэооэ -ин ВАВБ Баии *.Нэинеипим -эн 'иэн а кинэжвдпен эимээь -айна» епйео '.«емуа(л» аидю -ижЬБ и кока олончаэппппэоэ .Иеэонкиаанеедд-идп ыэеоеп чеэонпадонкоэц ымелном немшопн Нээа оп оннжэйаонко каеикааеиодп пайка *еичдло епиэ кеншеи -дон кэюеичаепмидп и\1в\папп ронеээаеи имнхш (иэеь ( епчйю олончесеидоН- екоюи чюоншэйлоп ен эн(паш)п(а еидолмей) екоеж чюон(пдц ишэнэиийп илэоннэооэО илэпнлойи (Впннпиаине Внпйлнов ийиал( 'Б'а еннп9ее с с- о х х о х о о с' О Э о Е «Е' О.!( о .о х о м О Х М Се О О,С о о ХОРО о Х Н м м х о о э,а)х х О 4 о э,х о ,$.

х о о „х. ЕЬа о х мха) м о о с Я О (Л Х О, й о о х" о се 5 е), а СО Х о и о сэ х э т $ а О со о" о о о о )х х х о О О, )х О о д Ф х о о Я с) и' о х $х о о о с ~' еь о о о м 4 Ф СО о о )х й )«о о сб х х а )х я !1Ъ :«" в и «) н э (.л- о К, о о о )« „с„ ХОП О Ц м И К~ о д и т х и о о о Д о о 1О „ о О о х о х Й о х Я аа )О с) м') е) о х о О, о ,) о о х мо о" О.

Характеристики

Список файлов книги