Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 21
Текст из файла (страница 21)
х х 2 о о Ю о о О О. О О о О « Ю Е Ф О Ф х Ф Ю л к Ф Ю Ю И е с 5 Ф Ю Ф >О о Ю с о ы о О Х о Х х ц, О о м ы о о х о ы >4 Ы 4> о Я1 Х О о с4 о Х ы 4' О, ы с[ с> Ж Х6 ь' х 0 О х 1 ХО г о х х о д >Х х Я ОЮ ю о х Х„О о о Х ах ы ы хох >Х М >Х ххх со „ю о ох Х Х с> о с4 д а сс О. х Х д ох О'со ю оюд ю О,а Ооо со О х до с> сс ф~ а о ьх» '' ь ы м о со х хо ы Ю О ы Ю М ОО >«со о >4 х о о м ах о о Ю о 4 д о » Х О Ь д о ' ам 00 С4 О Ю о х я о ах о о сс >4 >4 сс с а 4 Ю Я йо с> 44 а ы 4 Х х х мс о ы с> х О,Х 4> О о В~ оа а О » с> о" х д о х И »х д д о ы д м 8 х >х "й х о м 4> с> Ь хы Г~ И О >х О О х ах д х о ~ >х Ю о О„ д о Х м ~ а ь ьь «> ь 3' Ь >4 ь х ~4 д а м о о О о >х "о о, о Ю о х >Х о 4 х Пй о Х Х а ы с> ю о О, Х 4> о о Ю о ..
х Ц >Х , о д м х х ы СС 4 Х „х х 1 д" х ай ь м й о О о ах Ю о о 0 Й >4 О о д Х а Х о х" „>х д х х ю х й, О о х о О' '4 о о о х а Я О х й 'х а о о д СО 4> >Х ао >О о о о о о о о д Ю Ц х ай > а Ю д ы „о сс й О, Х о ых 0 Й' Ю о о 3 х» о о Ю ю х м ы м х ы И И о о ~ о х с> хд д х х х а о ы о ю СО Я М о !И д ы ах О О, о" о д о ы Ю 4 ы о" о ы Х о х М ы а О, Х с« ы о М д дй о СО Х 5 Ы о ю х Ю »И Фх х о Ф ох юх со о >Ой Х о х а о о а ы д и ~ 5 а х ю хж д Ю О, д 3 од ХЯ »Х д с 1~ ый дю 4 Ы Ю Ю х3 ад Х о о ~го «С 4> о а х о Ю Д *Ь Ю «> О О Ю Ю х а о о о д о д х ы ад о о с4 ;4 о о Р~ Ю й х Е х ~д о а" о" х Х ы о х х м О мю х х С> .4 х х 4 Ф! м х о Ю х х» х х Е о х «юо П о >4 х ы х м Ю д х о Д Ю х ~О Х Я 4 ад х х х х ы о х х о ы д х х о х х о х о д х Ю О ы Х о д хм о Е'Р х й р М'-~ х д х 4> >% Х Х о с> ххх д о ой о »х х Ю О, >4 Х Х д ~ о Х4 О ОЫ д х Х о о х х ы о 4" д Ххх Ю ы ххИ О О Ь О х д.
а с« а оды хххх О Х О ~ О, 0 М ах о ХОЙЙ, ДОЮ>2 о ' о дд х ХОФОО о ~Д.2 4> о Х м И !1$ х х х о о х о д х ахх й ы о х х о р~ о ы >см Х о х О О х о М о х о ы х ы >4 М ай д о ы о о Х с> о х о 4 Х О Х о » х ях О х ы о а х х х И х Ю Д м д о о о оа 0 с о О о 1Й о ~' Х м о х >х Ф~ о х ХИ >. а о ы Х с> О,Х х 6 сс с> х й >х х о ,„х :х Е о >Х Х о 8 х а Р' х 4 о Х Ю ,-, с, ы ы а о х х В О а о ь мс ы р' х О.
а х ы ы д о Х о 3 и 2 х с Ю х ~а ы о о ы ы х х х Ы 4" ах ы ф >х о с> д х о о о Х со о Ю о х Х4 СО О, сс д о о х м а ы ы х й сс д х >х ы 4 Я а,д о х - х ы х х ы д д о х ад хд о ы ЮО о . о Фаей х м О,х Со ы" Х > ы юхх о ы Х со й м о а >4, ыхха х 'х я х дЮЦ о а,х О,х д х о о „>4> И д 44Х ы о до >ОМ Х охы о охд Х >О Ы сб х О О, о >Х х х х о йхя ххд й ах х О 4 Х Х о ы хых И И М о д ЮО Д с« хо» Хсо О, о>о ой Х 44 с> „а о х х 4> 6> а „О,ЯХ" » х ход х х хд ох х х ах комод "ХХХ х оао х Хойд х Ьоыах ы х Б Й - "хО о ы о х х я йо о о '">Х О ы о »о '4 М ы ь оы»д «> дхюо с4 мох «> Х Х м с« " ы Х азы о ~ одюао» ой дои й Йх: О-Н О Х Ю о Д о х йй Х вЂ” ' И о ы Х 4 ю Хь о Х й ь о с> ы » '- „х о и В д о о о ф ы о о Х 0,4 о о о ы х Х >4 х ы ы о ы сс о х о м о О 0 о х хх О О, Ю 41 » О, И о х ыо хх х О о х о о х о о д о х х х Ю х х о о м о ю о о«, д ы ы о х о х о ы х сх Ю Ю Х ы М М 0 >4 Х о м о о ю о Ю 2 Д д Х О о 4> о м хо х Ю о ы х О О о й .'4 ы 4 »х х х йй йх х о о х о 1 о х х" й Х й~ >Х о д >4 О й а„ х х Ц 1~ Х 2 И с4 4„- Д "у ~Ф Ю ХР х х ь о о о х о д о И О Ы х С4 Х ю х С> 44 ы д «> х х с У д х У О 3 Ы О.
с Ф с У с Ф с Р ) с Ф )О О О Нф с6 И са х О О О Ф х О» с х "И Ф х на о О О о х х Х О о И х о й о „, о ф О О О, о О У ф 66 ф о О рф» ф Д о х х а 0 д х о И И х о о У О » О - х й Я' ф о о х х 4 о о Оо О О М х О о й о х уфа О Х О о х )х о Х ОО с д ф х ао с) а 4' р О х О Х С ф ХО с о Я ,"4 О Х а о ха "б а" с) н Щ д ) ) О 6 ф ~ оа О с-)О й К х х Х О ан, х М ы а о О о о х 4 о О х о х Я О, СО о о О ь Й х дй й= х д ф ф о Х О х О с') 6) .Я а, х о а 2: О ф О ф О н о ах а о х о ф О ф О Х )4 й о 61 о х х д о ИЯ 6) х хо О й О й ф ах а )а о 6) У Д О )6 )х х о о а о 4 О Й 2 о с ! -и'1 О а, Ф О Х О О х х О 4' Х х о о ": Р х х 66 о ф х а О х ф О о а О, Х 0 а, о м У о х О х а У О ф ) о У а 66 О х И у о о Д х о „~ х о У х о ,4 ~,Х хф х о й ф О О О О а О са 4' » О Оса хх' О 0 ) О ОХ О О )О хм о О д о а О О а О О )Р о 6) 66 х»х а 4) .
ах яЕ 5 а„. н О ос МО О ф У ООО ах о У й о 61 Р ф о о а со о 6) О х х О О ах У д )х О 4 Х о О х о х у о х Я О ~ х У х о о И РК О, )4 О к~ х с) х х ф аф 6\ о х О О м о а хф О я х о '1 а х с О У о о й н х х У с'6 Д х И х .$3 й1~, О фа о ох и, о х ф ~ха О й 4 УОО ф 6) х й~'х О й ~ о ;~Ю У~о о Ж ф6Ч О У й О„)6 о 'Я', ~ М о й ФЯЫ о о а О О о $ )6 О МО ао х" х 0~$ х О'Я а »О О ХО)О Р о 4), ф ОЯ д 6~ф И офо нос ф х Оох я о а О й о й~ 5, и О о )х о х ц а р3 )4 о й О О со Я о с о У О о, $у „."Я О о ф х )х о о х д ОО О х о ф Хо фо О,У Я ХО О О о~ох Оса х о ох 4' д ОХХ ас х О 6) 4) ф ох О х~х х х йфф о ах хнИ о ф х оф мо Я О хо с о хо а У х о о аУ о ,") х о О„-а Х О а, сс ОСХ О О )Х О х с о Офф )6 6.) ф а д О х О С6 о О хо о о а а О 04 ~о „ о О Х ~Х ояР О О Х х мн о х О Р х х Й Д о х х й сх о Д Ь й х Й с В З с Ф с с О У О о )х И а, й 6) х х а 3~ ~д х х О ф с6 Ра ф о а, О Й о „й О Р Х,4 а О х У О О О ф О ах а, о х о О х х 4' О о х ф О х Я" ф с6 м О а) О х о о со 6) )х а И О о И 3 д о м 6) х а о х О с4 О, а ф а ф х О х Д ф н» У О х » и а, й о О И О О Я о ф о 2 О ад х й О о О а, н о ф 2 О, Е'.
6) й Д х а" х х о о о н У о ф" О о х ах О И И )О ао дУХ ао д О ф ОХ О сдо Я ХО о д о охх х х,х х а,о ХО О О О о оМ Д ф ф о и о ЦД 4' О а о фа о х х Ц 64 б О О О О ах х х )а о У ОМ Оха о Д р на о й )а у а О со ф о о х х О О 6) У о 'Я а О, Но 0 о Ц о ф о х а Ий )4" И о д О ф д о с) а У О, й в2 .
"Й О 4 х х О, ~ в 6) о о ф 0 о о О о Ф У ОХ О )4 "У О д И ф О О 3х о 4 х У О О 3 66 Бф ОО о ОХ О я .' Р. У хф ф а, ~ х о д О О х х О о с ф о о 61 о ф х о )4 а ф о О ф х о х .Я )х х О О НО о н о х х" у х х х о 6) о о,х о р д О 52 ф о х "'" а О о ах о о х о р со и х х о в' О, 6) О д У х а, Х О хф ОХ ф О н О х О о х О Х О Я О с) О ХО У)О ~~ х о х ха о )4 О мосх ф фа 1р: Я. а х)о Х,4 о О О О Щ Д Г ф х О ф 'Н О О о О с д о у х О О х у 'х о я~ О а о Уй Д о ф 6 ф а о о О о й О фХ 3и о ф о х х сх а М Ф ф а о о 4:[ Я й й х О Н ОО "'фй О д о х „„ х О м Я а о й~~ ххфх Хфай О, И х о О аф н фу х й," — 1 фо Хооф х64 ас) о Я ф алло х 6 О х — х ах О сх~~х Ям о )х ,4 Х ' фх о фо о О Ц о 3 х х о )' ° ) О Д аа о О. "- х о О Х ц х о о х 0 Х О х о '' О 40 х О М х х Я ах х 6) а х х х а, о о У х О о х о а х о х х о о О, Й а х О ф о О ф й о м 4 ф О О О О х О у х Д У О )6 й ь„ х о 5х О х о д О о х У О а О НО х о О Я х а О х Я ф фа ас у я х ОИ х х н о о а,- Я ~ НО ах Я О о о й а Х О О Х Оа о ОХХ )' ( х ф 61ХО хна хдн х о У О офх ао О хай О 'Я ф УО О Е с 66 О О Сс о оох О о с фас м О Х ЦОЙЕ ф х О а, о фоф О ях„ с6 О удД х ,х д, 2..
О сбо Я3й О а, о офхф У О о ха О )О са 6) О 6) Х О х,а 1 'Г) й Ц а о й о о $ Я"» .О.И Я сс ,О П « О са Ы О. й т О т ы ф х т О т и О т и Р т О а ч сО О ° с х х о ы х о ИО Х „О х ы хни ОИ а И О О'Х х аны ы ото О Д Ы ы х ф хо И ах о ач а х ф О О ы о ха о ы О ы хо о х хо О х Ххч офф О О ДЦ о Х О Д С«ф Х Ихр х ф рс Ы О ан х х ы ф" фй Их ы хо х о о,х а о о ы О ы о О О О «с х „ с х:« н х о х а „Оо о О Н Х х ф Н .о О. х«сХ р Д .« %! и! 64 .Я «с с~ а о ' Р а д „Д И х о а, И я х ы х о ф о х" х х ы о И х а о сс со а " ст Й оххаха «с О ХС«С Х Ы О аыОЫ Иаф о аы ф х ц о,х ф о х До т О„н ха И Ото ыс.ах .„ф Х н ЫН О х Х О И х О охохИ ыао ой И т ахинее О о х М о И и х й х О ..
о й хх о Х сс ах О о и" х ф ы х а "й'2' х й а х х н р Ь Ы О «с И О СО с« с« о о ы о И х «с -х ддйи с х оаИ~х И „ы хх о х о х хй ф" 'х И ф ф о ы о фм О Х О, О,Х Х О О Д Х" Х . ° ' ° -:-5 ыххофххоа ИООИыофыххои б х ы 6 н Б И ф х са хы ы аыИхххоаод ф хи „х ыххх охсх ха хм с«Х Х О С«О О О О Х О" "о 4 Офаиииоыхы Ифхххх«1«1х О х т О З О «с ф о ы О х т О о ~Р р! О, ы о х ы Ц й 1и х И о сам х х х ф О х х сх а т х $сх хачх сх о д О ы х ах нх х с« ц«ц и ИИно О О сх О О сс Оы"' д а ~ ,"."йР х х ф О т Х О ф оыо ах О, Ь о А д х и И о ы сс 8 И 3 О ф О и,х и са И Х о ох -х" ы о Й ф и й И ах ф -РВ о Й,, х И х 4 ф й Оса Х О о ох И И их х ~'~4 хоб ас м О О ф х Х О О О И «' Х О х х И Д 0 О О с« «1 а о о х О, ОН ы Очс ие О «с ии И х сс й сх х о О Х О о О о х « о „о х о х У, «а О и~ Я О ф о сф ы д О х д ы н «' х й х о о х о х «4 Ц Я О х ы О, ы м о х ф" ы х х О О О х а О Х а Яа О хИ Щ и г- о х о х и с« о О х а ы О О о х О а О О О о х О Х ОН на о оых ы Я Ото О о О О Ы О охх О х~ х о аВ о и Рй м ы х с« .; х й ы о И СО И о х ы о х о о о "х ф О х й~и х~И ~И ~ О О И ф О с« х ы й х ххх о ф и с И К х м О о о О ст р о о ы И о й ы " Уй О" о х И о 3$ ий о и х о х и й а х о о ы О ы х ы Х О $6 о са о х н О д о ,-И х х о х д ц й )х ы х 3„"3 Иыо ам хх хоы х ф ао О ы «с ы ы х д 'а ы О О ЫО О х «' с ы Х с'с аО,а 0 о" о Йфны Х О ДО О ы хх Иота с«а о д ф хач ф й х х 0 Ы О й а,ы х Я о ох ах х х М х О о О ы О Х ы м х хо их й ~ Ы О ы Ц хх И о„ых О И О О о охоч „ыых ф О Х «' х х д т $ х О ОИ~«Х й Оса хИ О И О Х О М ы д о са а о о О с« о ы Х Са О ф х о й ы а о х О о о ф ы хо и" х х ао д х и о д ы о о х О, О х й й о о й х ы и д х сх -В о ы И х дФ О,Х ф О о 5 н о Х О д х Йй х м фм ах )х н о х И ии ф ы й х х ах о о хХ «с О И ы о х о сх ы о О х х на о ы о х о х ы ы сх х о х й ы о х ,4 сх ф о и \х о И О О х ф о О с« Я о О, н о х х и Д и х Ю о 44 хо оО 00 0 00 о Е 04 о Д Д х О 00 Р Х о о о Х Р оо , о- Ца 'О Р 'Р х 00 о о о 4 4~ о 04 а х а о О~о ~ О Р 'оо Р'о а.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
