Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 20
Текст из файла (страница 20)
)( х о !$ х я т о с) сч О) о в О. !й о с о о о О, Ф о . х ев э' х ф ж х о О «ЧХ х ххо й -",1 й~ и Ю Р х о (э х м а е) с) ж о ж е) и ю х ее 3 .и О ")« О х О о о о э с Ф нв Я о ее х х" м се Я О имя э )х о о е х о ох Ф о )ч о ос42 се,я О х( х о ао'х Я х Ц с ( И м х х о мх ~$! о о х мЕО оса х х о х о х э' э о Х О. )х О о х х х х о $~ Д ~, ах Й о с) х о о м омм Ф о )х э) о ы м О о х Я о о 26 о )ч ц( о М се х о и )х о м о о, о о и со Х О, о ф х х х х с) сч Я о о о д о о 'х о о э РЗ х .э м о с х х Р .И О, о с о Ь о )ч у о О, х о Р) о о О.
о )О У Е Е Ф с О Ф Е 6) х з Е ы Ф Ф ) о Е Ф х ы ы М) о о х Ф х У Ф й Д 6$ ~ о Х Ф ы х )х о о ы бо а Х Ф И )х х й ы о 4 ы о сб 6) х х х Е~, 4 о н х о х х О. сб Бд Ф ах о нс с) . 6) х'о Б Км )х : о ы ы )х Х о О ых НХх ах Ф с) охх х Ф о ах Ф ах д Ф'а оой Х ХСО ЕЭ =г о $а о $ о Ы ФЭ О с О ЕЭ Эб $ х о ОЭ $ ОЭ со 44 ЕЭ $ ЕЭ 4$ З' Эб ЕЭ,О Х ЭЕ Е ЭЕ О х х ЕЭ ОЭ .О Ю о С б, . о $6$ Й оФФ $ о Н Ф ы "о ДФХ ы о о Ф Ф Фо х ы ы » о а Х "ах ы х х ох 3'д ы Ф 6) Х У ы о ох ах д х х Нс о сор, о х с х аы д Й Ф р ы„с 'О' Ы Сб ы ас) 4), $0 а$-$ Ф о 6) сб 6) У йхо х ы ы ххх х о х й Я 2 да о й хы» Х ы сх о х ы ыХ ы х '4 х 0 ха ХФФ о Д Я ы о ц Х Д со $. а о ох ы д ах ы о М ~Й х „Х сб х мд ы х о ы ы И сб о о х о х ы ао ы Ц ы ах "И ы 4$ а И аа о у х Ф х о ы Х О„ м о ° \ УН ы й о о Схы Ф х Фх)х охс $2у о х ай -ам о" о Ху0 ":йх ы ы б $ ы ~ »х Ф й Е О,о„ы ы о ху$" Х$.Э х У р ы д хнх 6$6) оа Е Ф Х 4 осу а ы Ех» ЯУР 4 О о Х )б Х У ы 4 х о о х Х Е о Х а СЭЭ ~ х и.
' х СЭ д Б о ы о й Н ы ы х ы ы ах х Е 6) а х с) сб Е д сб ы ах ы ы н а о ~и д х х" о о $ о 6$ о б ы о д х Е Ф $6$ о о ы о ы ххх аы а 6$ Ф х о Ф а о ы ао И о „на О, ай„ Ф$-Э х х . ы х у ы ы Ф 6$ Ф С м х ы о о х ах х о ы Х О Ф о У ы Х н ы Х О о о ао х Я ы х Х о ы х х о х ухы 4 о а О о У 4 Ф ы х б' х Дба 4 6) . И.' д "о ах ы х и" а х-ОЭ ~Ф д сб ы Ф х х о Д Н Х Н О 4 В»'х Х ы ы ХХО, о о 4 х с х с) х о х ы х О а $Э Н ы С) Сб ы а о х х о х о х О, ы И ФН а х ы Хы о Ы а ' И х а о о ы Х д ы х о ы) х ы х .4 4) Ф х ы х х ' $.' й'й,- О, сб Ф Ф О И сб Д Е х б» И х я д Я' о 6) о о х Е ы 6.) 1.0 Фы х сс о Х о а $ о х у' а х со ы ы ц, ,4 с) $ х о о ы Е Ф о ха О О„ х Ф о о Х О, Е о о Ф ы х х у с,) Н 4 ы с а о У б о м а х 2 о У б о о ы 4' х О х х х О, о ы )О Р Ф о О о ы Х О, о О ы Я Д Д х х х х Я Х О.
Ы Я Е Й Я О $ м с 1 х Ваы охх х й О ы м Ех" ы ы ы Хйха х о)х йэх~хо о ы Х хоы ххх одххо ы" ха у 0 ай о "44' Ф О ~ 4) ы У ы ~ О Х Я > ны н х о о ХХД ы Ф Я с сх ХФ "О, о ЬХИОЭ ЕФО ы 6$ О о х Сб м о О, УЭ ю й $,Э 0' хо Д с ) Х о о ы а 6) Я 'й й о х о )х о о о Сс ы х х х Ф ы О, о у ы " я ххху ах Е» ХФЯ )х" о ы ы о мох м ыо ыы ИаИИ Х Е о о~ Ф д Е С С О р, ~ Ф х Е ах 4 ам ОФНХ ы х ход Ем х охыы Еххй~ ы И х о х о О $0 $.Э й р' ОЭ $.Э х Х х х Х Д Ь Е Х хй й И$ Х Ф о х )Х 6) о х д 4 х о х .
"Д д ы СО Х х е Рх :К х х ах х о х ° Д Я х сс о х О д ХХ с о о х х х о ы ы Е ФО х о О, й)0 ы о д Но Ф ы охх с У 4' У )Х Ы 6) о х о х »ы сс х о хх Ф ФЭ х а х й ы х Е Ф й ФФ ы )х Ф сб Х М дха О Х ы д Х сб Ф И о х м о о ы ы ы х о И у а СС СО о й, о ы Ф Х и„. о Х ы х х Х р, х ы ы а ы ы м О сб ы о й,р ы х х О О, х ФЙ И о о х 4' о х х х о ы ы о о о с $) х о х ы ы о ы 4' х х х ы х Е х О о Ф х а й с) Е х д )х о х х 4 ы я с) й"- ы а Фх ы х Х1 сс а У Ра х х а И О О„ о 4 о о, Я Е Я Х о о сб 4 Е о й д х Д 6) ы .Хх „х $$ ~' д ы ы )б 4 О, ы Х 0 о $ о$.$ „ , $:$ ы ДФФ сс Ф ы ы О хо У Я 4 о со х х Д,~~ ф" ф о Ф а $1~ сб )Х Хф6 ахй о х о й ~ Ф Ь Х )О Ф О Х о ," 4.: Я О б О6» О ф о )х о $ Х " Х 6$ ы о Ф )О 4 ы о Х О, о О х х Ф а У со У а ы о У о ы х Д х х Х Н с сб о О й О, Х о $.б )б О ах со 0 с Я Н $~ о с) У Х а о ы сб х м 6$ Д х" о х с) 4 6$ ы 4) )Х д о И )х о х Х о с) '.
Ц х х Х У ы ы х сб х х о х М Я ы СО о у Н О Я У а Ф Х Х ы ы ы х Х а о Х с' хо ао о х х ы х ~ оа а с о м е 3. с й О % х з Е Й У 3 МЪ с ф" о И со са 40 сэ о й о о д а У,б Й х о о х д СО х х О Оса са Х О 4" о о д мд йЙй а У х о х хо о о о хо5 о о бЭ '4 м М 5 % о о р$ х о '4 о х х о х о ф эх дах о о 6 о о дн ах н о» Е Д О $ о бб 'Х д о о 5 » У бЭ о а сб о х сн о о х Е $ м эд сб о 4' ;Цы '4« о м н х йо' аых 4«О Б она и о О, о х х о х О, 'х д бб х У о Н о о х о х о х о а '" о д Ухо Д х Уо о ас бэ оху бб о хо о о х О СЭ О сб Я о х Й х д о о х х о $," о о О х .я, о о» х а сб У о х а Й$ о ~~ о х «а н~ Ю~~« ~0 д 0 у а о "„~„1 и, Ц оох х„х „ха« О О О,О д О о о о х д о 'я "ддхх хадн Д О, Х О О Х Х О "о р д х о ад о о ф 6 д х ох о х хо о М д х х о ос,э, о Г ° ° -" '-: д м а д о 04«о дх х х а 4 с О ' д д О х аао д й 'д' о х х О о а О сб" р! о о а И с.
х с.'с '4 х х о 4" о о о дх о х х а~ Эд,б о д 3У О са о о д ай а х Р Х Х Д й У Х О Хо ох» д о.В й д 8 мэд Н»Х Х Оса Х О Д М ах 0 аО о х х „„-„, х о до д о б б, С Х о сэ хХоноххо ц х Н ох х оо х с дд 0 ох за аса у у Х Д Х О„Х . ° .К о х»И ах х х «.Э С О Х О бЭ Х У ° о сх м хУ х х о «Э" о~ ондх д х о нх о д " оа х " х ~~ ах~ о а о х д д О х сд д дб о оса Ха««„н Ка а о д О ~;М 04Э о х д н м И охаооо од ассой аод „.О~о хххход" с д» оо х о 'Я х дд н о у ад о ад 1хх у а о ха ад мх дсх о о 433 о Й о 4Э охо «4 ах о Й рэх х о о Х о 4' о я х 4' сб бб Х д О ааб Я о да о д Д 4' д д б' д о с х о х о х х д о «4 о о о с з Ы х х о о х з О о о д о У 4' о с У О с О 0 О Х х д Х сб х о Л х И о а, х Я д о,х о х х о х о х х ~ о о са о 4' эх д" о о х бЭ У О, бб Д '4 о д бб х о о д х х о о х с х а о д х 4«4 о д х х х сб о а У эх с с о Й а аУ О х о ох хэх 1 э, х а, о а,о о о а, б х м О бЭ а с.
,4 О Сб о д хх о аа а а о о о х о 4 д о р 2' Д о Д о о о о о а о » а с « о х о о о 2 И о х х д О. о М о о Х бб х х О о сб а х х х уО М У а, о 0 о о х о о сО х о О СОХ о о о бЭ бЭ Х ° ох о х 'Е" х Э" о о о д М о д Б о а ~ эх о х о д о о а, о И о о ах 4М О о х х О о о о д о о У6 й о о ау о о х д М :4 м о о о х о д Я х о а х М х о д х д о о х сб ф о х о о д о сб 4 о о Сб о о О Х о д а ха о о х х бЭ 4\ х о о о о о У о о о о х У б . о 2' д н х о О 4 н„о о о" о о а б,б ср х эх а 0 Л а ах о схб а У о о о о о ад д х онх осо о сб С ОХ ~ о Д О м д о о у а .
'д'х д у о эх о эд" о о о х о М а„а 0 о а х И х хд о х бб Х х а М о У х» а д о ЭО о о о о о о" х х ~Ф о О, «4 Х У У а х х о й о о » а о о х о Р х О о ад У х о 1х а о „х о а эх о о х х 4 О «4 а х х х м 4 х х Д я д х эх о х о х д о О, х х х х $й х У д о о ' х са о о х эх" - о х бб Х О о с4 х о с, эх о о о .4 О х о ао .я с 4«а о й эх бб х О о о х сох ах а о х ах $-и В=я - "Д хааа х д ~ —" хай х Х ХО о о х бб Х о у ао О Х сб 'с о 4«О х д о а,х н о Х хд о о д сб охЙ о н«Э со Х са 4 са да х сч ср а 40 мс-эх х с. Р.
а~о о ах о о д о х о хо х о о о а ф х хо о х х о Л о о Д бб ах о" У У о х х о о К о м Я О, О, сэ УЭ о О ос СЭ о о о бб х д эх О х о х «О о х о о а, х х о но о х О, У о о %э о И У ад У сб о 4 о о о х И ~Б х 4 о оэ д а, с м р «Э а сб о Й х Сб а, о о о х х ~~ Йи О О 4 х М с д о о о о 4Э Х да х о аах а УЯ4Э и х х о а о о х 4 О 4 х д х Ихо ах Я О, о о д 4 о о д о а но одх д И о 4 о бЭ У бб д оса о д х ОО х о о о о х д м а~ р о ос-.
Х о д Д а о 4 ад х О, д о д-ха О О о х д Я о „у о О 4 о х о » х о Оох д д о о о О, сс о с О Со ха о х О О. О Ор О О О. х й й ОЭ й О РЭ с х З й О д д Х д О Э д й О ОЭ Х ОЭ й ОЭ ОЭ с ОЭ ЭО о О О О Д Д Х Х о Х ~ д с Х О» а э д О ххм о ~оадо ХД а~ Д . — Одао ЕЙ~ХХОХХаоХХ дед ХОД х д и" ° Р~ Р' хм о х о 'х и О рЭ О'Хо'Х к ххй х ~ахэх ОО 2, О ОРОСИ х й а мэд х х хфо ОЭ О ох" о О„,„ О д Д эр О О хщ д д х да д ' ' рэ х ххах х--' $ х ОО О Д х' оЭа О а э х дмэ хм а хф до м х а~н хх роЭХОХ д о о о Д о о ~с~ асд сдох:о хо д~ ОЭ О о х о а о о х О, 2 о О О х р х м О м н О ОЭ » м х ЭО о нд о о д х х х ОЭ м РЭ д х о ОО И О х х 33 х,а х х х х НО О о о о а о о дх » х х хи х х рр ЭР 0 О ~0 ДО О ЭО х мэ х рэ о Х О О х х р' д О х д д х д О х О Х а р1 о д х х О О О, о хн о о а, ЭО х а ОЭ эО о » о эа О о а о х И Ц д Я » ~х О О О д д х м х н о Хр М Х Оэ РЭ Д а д дх дохсдоаХОЯДД Х О х О о ОО Х рэ о Х О, Х а О а, Х Э х Х Ом"Х" Х Х ХИ-~" ° ° ".
хо аО а" д О О х, ОЭ о д н $ х» д О Х Эо ~х Д Д СОО»аХМОхОнО ~ ) С Х О ~ д Д ОХХДОддо О Д ЭЭ ДХОО~ддх ХХОаэд.о РЭ рЭ М РЭ й ОЭ» Х Х а Х Я Оэ ОХ ОХХ р х хрходэа аохххдддЬо Оххаод ххаххдд Х Х д»О д мХЭО О Х И ~~а амэ а эрой х Р х х о д х „ х о О ОЭ 2- д о ОЭ х Б ~й д О Х О о ф о о хд йй Х О о О Х О О Х О О ЭО О ад О ЙХ о р! ~х 1 о» о .'Г х э х ~р о Э" 8 х о о И О О » х а Я О х д д х х О а х ХО х х ! р д О о а„ О хо О О О, Оаа О О ОН аэо х О С м Д Д О 3,:-" О О Х о о О - Х о ОЭ ~~8 ~ О о ф д <Ч~ х о ОЭ О Х х Р' О Х" ц' .1 о ср х р о х о х х д м Х ОЭ х о х Д О м х Х О РЭ ь х ОЭ аа х О О н а х р И х д Д О д о х х х х н» а,о о д Ю О " эх Д О Х О ЭО О„эд О 631 » э а Х о и Э' эй Х О о хо о д рр О Н О о О Х о а,о а р' о о л д О а. о ох" х о й ~.
"-.1 Я д 1М БООЬ Хнах О ОХ ОХ О О Х х а,н о ХОХ " О ОЭ Х а, О й О х Оа х о "" х н ах О хд о ОЭ о ОХХО2 о ХОИоО .: "х3 1'. х д ох .да Х" О О ООХОХ О О О Х Х Д РЭ х Од О оД дххх ООДХО о ХхЭОХХх М РО О Э дх Д"-- ОХОХ ~ $~ о х Х О О О ОХ д арО о ~ а ~ ~нд а,„х о ~ О О Э О Д ау х о о д о О ХДХЭХ ХН 0 ао ДХЭОХХ ХООХО одэххВ з11,"~ а да х ээ Э:( О о х ~д 2 ЭРО хм х !р- О О х хм о" а ХОО о о х рз $ Х О х х ~~ асэ О о д д~ о х о х э д о о О ю х О О хо ОЭ о х х О х х х„" Ох„" Х хд Д! -оя О О ~5 Х Х ОЭ О ОО ЬЬ„- ха о онХ ,", д а О О а'" о о о х" В' х$1 ~21 х х О О О о Н ХД О О х" Р ойдо 2оо О ИО О, Х х о х о Эа О ХО о и 1~И а О х О РР а 2 х хан Э" д О о нх О д х ао О О ОХ О »Ф о О ОХД О нХ р1 н 1 м хо о О Х ХО О о о о а»а ОЭ О, х д н д хо д ОЭ о а Д ЭО О О ойдо О Н Х эх х х о х х О х О о эх о о х Р о о х х О о о х О.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
