Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 15
Текст из файла (страница 15)
"1 о хо х ы Я ы х а$ р. й о ы о р,х х хИЯ Д ~~»О Х О х ах х ф$ О о х ХОХ х о х ы х !Р' ,4'х ы Д33 ххы О В~ р О 2 о х о а а '" о хо х о)х х с о й х о а Е х о о й,х. ы о 3:"' х х ы о), н х а Ф~ О ы о Д с х ы О х й ы 'х о а р. О Х о о х р, х 6с х О»Х и о с ы ы ыоХ о хс о х н м 'х" аР о ы х о Н )р с~о ы И -" а)о н о с х О 4 Р„ нхр с с х с о х р ~й" х о а)р ) О х х о О о О Р .Я х о х 2ы х х х х о а х х х ы а х о х о х О )р о 'х" о р, о ,Я о )Х О х х О О О Ы х о )р Й ы р, х о р, о .Я й О О х ы н х р х о р„ н о о х Вх х о О О х х Ю и ых 3 )х о ы х 3 х Дха о о х до о х о х ы)о ы ы э)р с со х о ы о о р х О х а х х о х о х о о х ы )х й о „х О о О ы И х а х )о ы о о о х И ар )с о н н О,О о о ах х х о й ах ы И р с ы р М с р 3 д )о хХ х о ао е о Й )х ы о О )Х о н с ы х о ы х о ы ы р х а с о М о х 6 д.
Й ы Ц РФ ы )) 4 и ы ю с о с ы ы 3Р ) )) с о с х ы Й с ы р О о с н н д о В.' 1~ ар 3 о о М ы о Р х О о о „ Р5 а о )" Х О )ы) Фа х х х р р х р р И о н с о но х У 12 ) р х ы р, о с х О о о М И о О о сн ы с Е х й х О 0 и' и Р » ы х а с) о х Я О 60 о о о Щ О о О х 2 х х а са О х о х х о 4 х о О ~ж а, о х о Ф з Е х щ щ О О у щ щ о ас щ О о О. Ь о о О *с И 3 Ф о Х О Са Х О са о Я са Х 3 фх о о «3 х Б х х Са о о О о 63 й са 33 Х О х Щ 63 сс О О НОХ Д- о х о М ОХ Х О О 63 до о о о х о Р' 0 щ х о д х ОХХ м д о х о д о о Х 3 Х ЩО О Яе~ а,а О о О О щса о О " Он Щ - С"3 3Х 63 охх о м ОО х ах 63 „х х щоб ХЩ о 63 „х х хдщ „х хщо О о а м ан.
сс а хх х Д О х,х о ха а 'Я „ о 0 о а о 5Ю 63 о щ Р. ы х х х О о О И "а х о са Я ° 3 щ о д о х а а о х х о Х о х х хы О Х О .Я х х о» о и. 63 63 «О Х33 м Я са о х а,х ~Г Я х о ах 63 х о щ о о О о х х 63 3 о РХ О х а щ о о о х »а х 4 х х о х О, й х х о х ,4 Щ й и х ° 3 О х о х о щ о са х х 63 О И х дс х о о о ~ Ц о НО ОХ Я Д»~ о х'Я' о м О О~О Щ Ф о х" м х о са О О а' а'х а О Д О 6\ Х Р Щ О О н о о о Я х ЩРХ" Д 63 н х щ а«о Х О 0,3Х о м О Х ом О х а а х х о ,х ао !К ао а щ х о Я а щ с" х о 'а х х а' о о х х а' х .
а о 03 а х о 33 д о О О щ 2" х д й Щ са х 3" Х х х сс р~ о~ д а О, о О х щ х О О ах о щ х а СР о о д й х,а о о о х о м х х а О х о х х н х о д о М О х а" О са са щ о ~Д! х о 43 х х Д ОО о хо О щ оХ -Н »аале ОЩЩО Ф о о м щ а. х ха~8' О Х Щ д О И рх'" О ОНО - Д'-=- охх'.
х х щ щщ х ох о ХОДо о о па'щх аа Н Н Х хомх хха П О Са ,„ о оо м с о О х о33 И5а оадщ 63 о о„д с'3 '"РО К аа Ч333 о о и ООО" О Хо д щ са о о о .а а ох а х х о 63 о 3Х Х О Йы о о х а » о х щ о О О х о 33 Х са ох о О с'3 х а д о ха о й Я х о О о о О ° 3 х О, о сс 3 х х 3Х СС3 х с 63 Оа » Ф „ О Х д О Х а О О хО щ 'х о ,4 Й О о о й ,Я д о х х х о а й х М ах ~ о Р' М а, о и о о, ° 3 о Б 8 о х о Х 63 х х 63 О О щ о о о 4 о Я » Щ О о Ф о о О о хН о 0 3й О х о Й а . 30 о м о О са СР О»» х о о о 5 о О х а х о х о о х х $=.
66 'а х х .а х м3 ц о ,а х х х 63 а, 63 3 Й щ щх ~ х Р Ф 63 ф Х 33 30 о о о х О х о о щ о хщ И о о а' О О о О о м й щн о О 63 а,о О Ц О О 63 О о Сс 4 д й а~ й й Сс до ао н о 3Х О о а а3 63 Х о а х х х ас хс- 5 ДИ х о х Х що Омсм н о ~ ах о о х х ц о щ х о о о 3" асх х м о а„ ООЩ х оао ,ФО О о О о х а о х ххо Щ РХ н хо нщ а Х О О О х о о 3 х о Щ х о О, о л м О 63 о х щ О 3 мс с и 5 щ а и. 5 М В В 63 о О Х О Са с'3 63 О О, ~ Щ о Х 33 О Щ х О о 63 63,4 о д 4 р, о о х 63 Х О О О х са о хид щхх о О»О х \х х о о й х о х О О х х 63 Щ Х 'х' о х ОМ О х О ОХ 30 а 3.
о о о О Я х х »~ х ф х х х 9 3Х х х х О о са х „ Х 63 Ж о О о о о х 3 О о и Са Х са о х а са о И о о а о х хм ,'3 О О, о х М х Но х ощо х ОХО о м х О Х О„ о х о а х 6" о 63 о щ о х о О Х 63 И охф х х х:а О О Х х М ОО о о а' с, оща о н с, х о о х ха х о О О о о х о о о о х РХ РХ Х «„О О О охаа Ф х Х Х О О 5 д д щ х х 63 О х х,а 36,3 ах о~ф хщах~ а о ойдо о о щ О' а, И".о 63 щ Х $ 3' 63 щ' '3 о хдо о н Щн о о х о о х х й 33 й Х О щ х х 'а "х о о х о х О О о 63 Я ах х а х щ о '3 о о но 2' р о х хО о х О о х Е о о о х х о н о о д О щ о О, о о о д о мд "-й о о о х о о О О х хо о Х С'3 х о о а о О Х О, о х о 4 Щ о О 43 Мс О 3Х х х а о х х х х х о М о ) ' х 63 х М о о х о о 3 Х о Н о о а х О а о о О ЩООЙ Щ х х о Х О щ д о О о О х о х о Оно о Й ах »ах О" О а О О П о х о х х х хо х ~=си н ах х а, .
х х о Щ о хахХ а х Хнаоои О И ~~х ОВ'х О О ЩО д Щ Х ОИХ. 'хнах о Оса щах хх .,' ощх о хха х о Оащаххощ О О сс Х 3 РХ оох7 ФхдоХ ОХЩО пХН ' ОЙОХ х н о но Н Х о н ах хО х»о о х и са ~ а' х 3 х и' ,. Л щ х "2 Мр о Щ ХО х Р х О О а со д о х о И х 63 а о х о о х х 0 х 'х д 4 й х х Х 63 о щ а йи х О х» хщ о о ~а О 1й х м в6 хо СР о д Рс Д а х Х О х х д,а х О са Х 63 О щ о о о х о О Х о х 5 о х ОЙ со о о щ хащ о о д х ф,а о о о «) х о о Д О О. Е х с с О О х О °" О О.
с О О с О Ч« О о о оа. о о х о й .Я х х о «, о х о с о й' х .х х о К'. о о о о с о,о йЯ Ф Я" ХО о й о с о) о) о Х О Е И о о ф Я 5 о х сох и х~а о с о с о о 1а я х х с ха с о ~и о Й~ с х х х о х о Ди о х )х о д о х « о о х о "о о о х о )" ««) х о а о, х о о м о м х о "ю „хх о х х о о $ Х о аххх хуох3 х о .о о х о х О Х но о о х х о а о )х )«о м х о х'хР х,о о Х « Зох ххх х а «) й Д о с о ох 3 х хо д о х ф о х о н хо о сХ Х о о хо «) о о о .. о о. о Д х « х хс Д а ~ о «) о х о о ~ о о о с х о йх, х а о о х хо Х5 «) д о о а ). ,а о о о о х Х х о «) )« й о Я Ь" о о, Х й 2 х х д с оЯ Я, а о о о р) о Х о о х Ибо ад х о хо о х с о о, х м х д о ) х ао х)х сс о о «) )о о о » о о о х х м о о )„ Х К 3 ~ 1« а а а о д о Х о х а о о д о Х И о х~ х о о х о о о с о «) х х о х о х с о о о, о о М о ~ ОО х о о) о о '" сЧ "' и а и» о х о )х о ф Й'1 о й )х о х хд м х Х о И~ х о, д с о о о х о х х о о с о х нх он: о о с о х «) х о о о х н о х м о о 13 8 о о д с Щ 4 З о о хо о ах о хо о ) д д х «))х о хох »х х х Й~ х х о «) о а Ы Ила »)о Д «) !од Я о о о, „,", о о о х мс м о х а, й о д х дхх х )4 й х о м о х аР х )« о с оо о Я ох д ао хо х а ) х х ~ ~х н м~ о х о о х '' ' х р„И ",д оххх ~О о м«о о о ахЯ о с Е,М )х .
м ~Ь Р~"- Доо Х д о хй. д .''" а 'оо По о о - а м х о с х о о о о, о .« о х оо х о о оо $о о И о о х о о о х х „й~, )« ао о х о о х о о К х Д х х хс р„ о х да н х х о о со» о с о х х х о х х о «) «) о о, х о х о о Х„ й о «\ х д - Х « х х о о «) м оа а)х О д й".. х о о о о о о х 2 Х х о о х о о х о Х х,х о Фс хн щ о х ,) а й с Л о~х ю с х «хх Р н хс Л о а о о ~БР' Ж о а о о о «) И й а о О х х а х но Д о о Я д о 2 Ц» х д щ о д с о О а х" й О,о В «ИМ Я.о ~м о й с ~ О Зсх о ) а осх ф осм « ) из х«3 О, х ..'Е с хо х '«) хс о о д х о с~ с о .« Я о $ С хн »о «со «' х с сх схо а и х о асс оса ас о.
с о ю „х 3 д с од о Р~ф о х х Й'" ~:$ Д 9 с«с б.с «) Ф Р. о Ий о х о в с с х О ь О Ж и. 5 и О 5 $ й $ Б И Ххноо а офсю ах~аБ н х о Дй~ -Из : Ф .х ~ С о )о а' В о хо с о о "Е:" х х о Од. Я й * 'Б д х ю ф о х )" ) х о «о схяо Д а х )« ы ао й 2 Я а о ~д й )х О, и о о с о о х х х о х о х О„ о а а л с с сс у Х О х й о х а И а. Е х х О х О х с Ю й й Ь О У х Ю о О а «' Й с х х я О Е Я а О Д О Х О О О о о О О «4 хо о о а й Х О Х схс Х" Б о хй х о сх х о о а 44 О о О Х с« о х х с« а, о О х У о х а о О сх а о О О х х с'« Й х Б 4 4 Ц о а 13 О 44 4 О сх а о о х у о Х У о о о О О х О о ххд Х х х Д ООД Х со О о М х х ;14 УХО сх О 0 ф О х ао О О СО" Х О х >, Й О «4 $о о с о ~~В Ф~х О хЕ Оо х" х~ о о х О с О Х О Я 4«- Х о о о "оа х охх О О О а О Х О х О х О О Х Я д о х х х~ 5 «4 о х а, О О Х х «с о х х х О«а Х О Х (~ О Х О Х ХИО х со О х х х О й о Оо о хдхв Ц О «4 сс о Х И О М хоа о 4« 4« яхх О а йях а,ас ооо Х" 6 О О О сх о % й О о х х ~ х Х Ь О О о х х О О 3 О, х х Х а о о о Х" О о о о о О х о с о х у О О О с, О л Е' ="й х о о х Х О о о са О р! Оао х< лх Йхх р о~~ О И о ад 21':- о х ~о йр1 2 .
8 о а а, О О о О о о Х о о о х х о о О МИ х 'х о х Х о х с« 4« о х о о х о Х О х )Х,'4 Д У О 0 сс О О Р йисх сс О«0 Хх о х о И о Я х,х Худ Й "о О ХО'~ О Х О О х а аах Х «4 "о Оха о ~цЬ Е о „х о у а о х а, о х а о о х 4 х о х И О о О о о х х х о О 2' х о х а, О Х Х О Х д СО л о д Х х о У О «с о О о О о х о о со о х х о О О И 4Р' О о "х Й о 4« «Х сс х у У и х х О о ;„" о х х х О «4 ,4 Х о О О Х х х х а О са Й о х сс Х Й сх д О л~ я 3 ."- 1р сс о х Д х ~ ц~ х о о О о х 0 1х о Х и6 Х с« о х сх о Х О О 1" 61 ха о о х о О х и х сс 'Х х о У х о СЭ сс а ха 4« о 'х У 1 О «ла Ь х сс х О О х У О О Х х у О О о «Х х с о х у О о сх о й х 4« о о И а, о о а О о О И О О Л Е И О О о У о а, о са О о а, сх Х О О Х О сс О о О Х х х О о а ДИ о О О 4« о Е о О О И ~3' х сс а 4' х а Я о „Ю' о х хл х.