Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 14
Текст из файла (страница 14)
ф д Й Ы В й й й л и О 43 о х о О о и Б ф о ~дм сс О:, 3'да )х ы ф оа~~ 33Й ы рфх ы И х й сф сс о о "„-~3 офо ,с афф х ы дх ох Фо о ОДОФО о о ~ о Оо а о д ХЙ»О с, оххыбо ,3 ХХ 4 сб . ы Х х~хд~ о „х $аа 4 Ф' О Х 3" фофоо х а о О, о Ф х о ~д ыо о О х ы ф Н О о м о~а бцй со 3 о гх о Й о „а о И и о х х о о х о О,Х о х х х .и 'ГО Ф а д о о „ д х и х о х И ха а о Ф о х о а сб сб Х ~ж !и х д Й о х о :Ф '3 а о д ф х о о Д м о о Х сс а а н о х М !р И Я Ох СО Об . :Д сх д гб Х М фм го х о х х аа о ы х д ы х х х бс о о со о О3 д г3 Ф а ы х о ы Я Их ы 33, о ф х о ы СО Сс х Ц ы сч СР х 43 о иЯ Й о ы о о й сб Ы с\ х ы О.
~д Р= 3О „ ф О бф О О о Ф о Х бф о х о со СО о х о ы ф Д х !К Ф х И ы а й х ф х ао Й о О Ф со а О со о х х гл х.х ~о о о Д х о ах а,х И Д6 х до И х х х5 йС йЯйо х айб Ф" СО х ' о Х сс. О, Х Н О~Л Х х Ф х 43 х 'ГЛ х ~О х ххфф -л~й Х ОХ ф хд о н фФ о о о хго Ф х о а ох д ФМ х н хо'хы ы х оффис „о О ы ф ы ф ОЯО «3 3 )Х ХОМЗО х ~а~О фххо йх ах х ~я $ х ао м 33 о дх м ,б О,.б с о о х О Ы Х 43 д ха х й ны 4 О о о о Ф о ах д Р'а х ох х й О,Х хо о х н х о Б О Ы 33 И а х Ю м л х х х х о д н о н о »х Я х' М о Я о о Я г.) 34 а ах о 6 4 4 ы ох х Ы 33 й ох х 2 аИ ххх хо о 3 аф о й ы О х 6 дух Я х ы д О„г'3 .О о н фхм о м ФД гаоо с' о оИом' М о ф о Фно о х» ф ы ха ф О, й ф ы а ха х х х хИ й О сбм аЯ ~„й о о о о О О д" СО О 33 Х 'Ф х" о Х Ф сс а Ох И О ф о д х ох х ы о М ы 2 о И х 3Н Р \ о х Д Й х х а х х о х а р== й фн ы д а» ы а д о О О. О со ф ф Е О ф О х х ф О ф О К х ф ы 63 о о х О Х сб ф сб 63 Р ф оыф ябфх а Ы сб х ф нфх ы х 5 офх Е м ХЮО 0 ы О о Х н до 34 Р сб О х о О О хо М 03 ы о а 33 ф о ы ф ф о о х х ы х о х о 3 о Р 3- 'х а о р" ы аЙ х~ м а 63 о сф д о х О 43 аРР Н 03 О Ю" о о $5 а' О х о о 3 ф 36 ~ о о 0 Ю 'Г~ И ы о ы х о х ф ай О о,х О х о 4 4 Х х » х х,б а Х хо 3 ыоф 63 Ы сб ы - 0~ 3.
О 0 О Х сб о ф Ы 63 р" н х ф ф фых ы ф сб Х ы Х63 д х ф хсо Й д о рх, х,х о х'И М х р' ф нЙО сф о ф оно ф о х ха ф х ах о В1~ ы О ф ы Ы х О д о а х о р Офсфх х ы р ф о о ы й Я д ын ф 3„'" Р' х о И х ймо аыо о Х,р х"~ О Р,ы '6 Х Ю 63 Х Р 6 Ы 63 63 х а о 5 о О о о о ы о Р. о о ы ы о О О О 3„ а О О м х ы аа о р' ф о х х х х о сб Ы ад а„ф Р а м х ' Фхо Н хйхИ м а, -О "х" х о ф х ы Й са 3=у. офо х ы;Оф ыффм О 0фыф Х сб х ы ф о х х О о х ох х И х Р Я о ы 3 ф О О м,х Р м о ф о а, х ы х Л » с ао н фо а,— ы 63 $=( ф о х х а ф ы о а х я о х о 5 о О х х о а, х м о х О х -' й о д ф О о ЕЙ о И сф о х х 4 ы О хх 3 о 63 о Й ф ы х сф Х $й х х а а, х ын о" сб со о Р 3Х Я О Д О О сб м а о 2 сб ф о сб ф х д з" ах х х о х х ф а » х О о х * Х 3Х о о ах о х И "' а о х хх И О о а, ы х ны х О '3 РР а х О о ю 66 хо О а о о х О м р й х Х О р' ы х 'х а о х ах 60 а хф х ф о ы 63 43 сф О О ы ы и 2 й ы х х ы а, ы о о ф о а3Р ы х м х ° а х :-р а Й ь н ф ы Д 36 х ах Сс н фх Х ы й и д х о ф сх х х сс о м ао 36 Х х ы о Х 63 х х р' О о ,0 63 о х х О Х О Ы С3 Н о а д х х х ,4 И х фн а, са о ф о х Д ф х, о О х мы О х ы 63 34 сс х Я д о ф х х Х О '4 о х 2 фхх аф о Й 33 о д о аЙнхф а ф 34 )х ы о О ысо хм о о х д хана ы ы сб х х ф х н х ы о ° 3 а со а фа, о х О 0 са о ф о Оых х х З О О Й фо ххх 63 а" х р' х х х ы 36 ф ф д ф хфхф Х Х 4 мх х а х ф ~ а О О, ф ф о Х0 ОН аф ы х д Х а, х одх ххй о м а 0 ы х ы х М Я Р, Й х ы х оых сб ф ф ф и ~~в о фоы Йсбс х »о 1 34 Х Х о о н о фа а х х ы О Н Й~х х х о ан о х.х.
ы оХ о Ясф оод фхх а,ф » ф х а ы о х х О й о о о х О Х д ф О х р: ,х о о х х ы х о ы оа о О д ф х )х р' сф О х х р, ы о н ы 6 О О 66 Соф Р' 3Х х о ф х -И О х „ о ы о х 64 д о 34 [» х х ы о ~~ о а сб ы" о о х о ы -'6 х ы х а, о ,м О ы х х о со д х 3". Р". О „ Ж о х о х х а х х о о о д х х а оф О О ф о Ф." х а ф о а х х ф ра '0 Ы С'0 их ~ м О С 03 х фм с хо аЙ о ыа О О О д х х х а о х 63 х н 4 63 х ы о сб 63 Р и с о 63 О а о х ~ р О х х рс О 3 ~3 Дх х ф аа ср О сб Я Л ф х и< ы 2 о о о ф х о о ах й 6, м Со О о хо оа -са х О Я5 о х х х х о И ы 63 о х 63 ах о х ы о ф ю х о Ю х О 3Х Я о о х ф Х 633 а а охх х ы ф х а.
сб сб о о а,, Е о Х 43 о х ф о 03Х р, "' ф х х ф о Й х Я о со а о Ци!! ф х х са 63 а'6 охов ф„ях Фх' м Х РИй хох 36 Х х И х З ф О о а,о м О О д о о Х 33 Д ы ах О »о х ы НО 0 ф ах" х» о ф Р ф р' Бах ы 36 ,4 Х Д х ох ф ~ ф О ХО ы х М х о и1 36 д о х 63 ф х о х ф ы а "а о йй о р х ы Г~ й„"~ ы Ы 63 о О О х х ы с, х 63 д о О О х о х 1е о фЙ х х и х Ю О о Х 06 ф х хО хо Х 03 Д 63 о 63 сб ы Д х 3Х о о хо о ы н ы \б ах ф О х О сб о ф о м Й о х О О о ао ф 3Х 3 О х Й Й ф О О О н о х Р, О 36" О й ф 3 о х Д О » н о х О ф 63 д х я' ы о М 00 р::. х х о 33 Х О О р я ;„х о ф о х х Х О ы х р 63 Ю ы ыо а см "Ь сб Х о И Со Я ф О Х О О Х О ф х х Й О ах.
а Й Ы 63 х ах ах 60" ф'6 Сб х о о х 63 х х ы 33 43 Р М 3 д О ра 63 х ы О м о „ф Я О ,х н ы х о од о о ха хо ф й й о 63 Я ы х ах со дн а,а д ф 63 Ы » ' Сб ф 3 Я сб ср 4 о ~х а х о О а а Х др со Я о Р Д орх о ах х ы о Х сф о ф хо ХОХ х о х ы И б а Х со м О Х о ф а о х х ы 63 о .ИР ы ф о х а хф О 0 а, о ф О о Х О ы х х ф ф о 8 36 Х б хм О р х О О х ыо о 'х д о а, х о 3 о 0 о аа 63 О Й И ы ф Й д о о а х х о Х сб б а, х Я » 34 Сс о о х 5! х а о ф х о х о у 4 о о х о о о х сб у ао о о х х о Х О х б а ~ $) О ОО х ,4 ах О,о )О Х о о У х О )) О Я х х хаД ОЯРйу о И х ао охи ххо о~ о О О))~,у )- х ~ х ) у о хо ах о "$ о о" аХ Ф Р" ~ хХ ~О о о о д ~, О х О У О у,)) у )) )) й у О О О о х а о '~ а у о х х х о о у о в И о у х Я О О х о о х Оу ($ х )х И о $ $)$ $$ х о о $3.
о о ~ )о о. о О). Х И Е х $' З фф Х ч $ о О ч Ю о 3 ц о о ~ $)$ м ~ Х $ $ Ю ,$$ $ ю Ю Й О о. $ Ю $о юэ Е о '$$$ $)) х О~,б У ао.о аоД Д хХхох х $, у у О х "8" О,)р х уау о о я У О О )') $; Х О оЕО, ху~~фх х )$ хх о х о Е О УХ) $$ОО О о о Ю о Я „ ~Й й о о у о о ~, О 2И а о у у О а) д $ х о $) )х х 14 у О )О х х о с~ Ю Я О О О о О,,", о ~ о х 2 О х )Р х х ЯУ х о о о х~ о о о х ф о о х о .В х О) о 1 о й ох у Щ О ОО Я ю О О ах хх х х)х о уу а х о о оа)О ф )о о х о о О, )) О, х у ) х м ху о ИОО ° 3Я о ух О у $ 3 О и о о х о о о х о )$) о е о о х х у ох х у я' х х Р О, хуоуйхоухо о х ) о а о о х а х $О а о д ~ - о 3 м у $ х у )О$ о х хо я х Х ОО) ~ О $ Х О О Р ) О О$ Х Х $) О й" ХООХО "о О „Х Х О У Х '- У Х~ ~ Х О У Х О ) Ц Х О х, Уа~ООХОХ оооа ххох)уаххоеоооуу ОХ О ~ Х 3 О х х Ох у Оа У Х Ю Д о ХВ Х Х О х И ~ц у )) х И о б~ о о у х о И фхо х я х") х х у Я у ао ое $" е~ х х я ха),о )х ОО Х ХО ха хх О х б\ 63 хх$)О х О„О,У)Ф у)О"' о а о О их)ух х хооах х о О )Зоохоа х О)О Д о О о х х Мх О )х х х М х о О о о р а х о х х х р, р.
э р. х х с М ы Ф р с р Х )- с х с р с х сч х ) й' Д х с ах х ых х3 о н о О о Ф д х ф х р О х х ы х о о с х о О х о х ы 3 х хы 5 х а О р н Х О р ~р ми х р о О х В х р. х х х х р р х х р О в х р х ' )х (1 х о ы ы о р, х „р ы Ы х од 4 х о о х х о но о х НО Р) х ао р х х И х о р аы х х о ~~ х х о ы о ы О х х ах ы ы Ы ы х х р, х р о н х )х н ы х р х ы д р,х о х сР х о а 5 о х р х Й Д ы х ы а,р о р о» х х с й х И и о о х о о х 3 'х" о ай Д х ар о О )х х й ы ы х ы х х х $3.- а~ О хх8 х х Ях р, о )р О о х х о х о ы х х х х й о О г Б. й" о 4 )х 3 фо Ко хо н )) х м Ц П О О о а х а х х ы х х х о ы О о О О а й О О»ы с р, ~о ы Я~о 1..
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
