Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 10
Текст из файла (страница 10)
о )о и о о. х а Е а ь о а о х о о 4 х з х О а о о М а О а а Ы )О о )х н о О с« д х х х » «) о «) о а х х И х о 4 )О о о х 4 4' о а д х й о х о о х й Ц м О,,-. СЧ а х о Х й О х 3 о й )о о о о хац х» о х д й х н й «) ) О ю «\ д )о )о о о 1:й « я х а о О х о х а й о ~~ й хх И а х о х )) х о д Их О О, х Я «) х й Х х а Х о о с« а о х х о о о а, х о о х О и О, И ,4 о о х х о Х й м о о х Х О, й Д о И о "е" х )Х И )х и х х й » О, М О, х х )х 4) м С)" 4 )х х .Я » О И Х о о О Х И— о Х о и —.
~Я и ф н, д о Я й о о )О Х й «,) х о = й й о х о Ю И Х о о о о х )х о д ) Х «) б :р Й 5,' о Я а а о о о о О о а х й о о й о х х б х о $йМ о о хх о о о а )о ох о о 4) Я й 8 ао о и Й а о о й д нО,О х Хй хн-й о о а)н' «) ' д х о а о «) о о х ООйх Х)ао Х о о ох ,-:- р.: Д )х о о о йй. К а о йхо а4'а 1 хо о о" о о о хн нв а хй х й о о Х й О, о й й х О о Ы х 4 .х й ы а о о 4 т Я х 3 о й й «) о о й 44 и д Б х о о о о й М )« аа й «) у » о а 5 о й о И о о а о о о о „, о „о х р) о О о й о Й 6 Я «) д" Х О )О х х о х о Ю О О а ах О„ о М х ох о о 4 О, а с) Д а )х й й о а о Й а а х о о :4 а И о о о «) Х й 6 < х, 4) а сх х о а Х И О )Х ,4 х )Х М Х а Ь" о 4' Х Х «) о о Ю х х $ й о х о о й О.
ах Х Х й Х О х о о о о о а )О р х «) х ах х ® ХО о о )х я о н х а а а х о о й о й о ах Й о" о о х х о д х н Х О, О а й х х а ам х )х ха о о о ха Й ) о о о х а О Х О.ьо о х ~ н о ««4 д й о «) хо ха 4' ХХ о йо а Я ОЯ~ о хо о Б о о й О)о хХ 4 ООХ о а о Х а о ~йоо х о оь)йх х .Хх" х ох ХнаХ и э х хо ах й и 1й О й а о 3 о х )) о О, о )« о й х х оо о х )х о 4 х » Д о о о а йй х о о о о х' ~~о о О И «) )о -ч йн., Х со х я о «»« х ц Х )о „- а'х о о о Х )х О х х ай)х о о И О Г х 4 о о х о о а «) %» й х о о О «) О О„ 4 о 4' «) Я й "" о О Х «) о х «) О М о о о ~ 4 4)„ 3 ® о Д и.
Ф 5 й о о йаО Я, х 4' й)О И И!у- !~Й х я «)о о о й О О О, й О х Я „«) О, х о о 4 )) Х о о »н Х о о о а 4' М а » х о о )" а д о о Х Х Х о о о )О О, х ЙР х х х о о :й )« х о х х Х Ю О, а «) х х Я о х х о «) о О, И х ч О ),) о О' О„ о' 1 н О а„ Ч а„ о' И а, ас о. Е и а, Е Е Е И + Е Ф й о о. о о с с с о й х о с о с х о Р с с с о о. $ с й с с о. М о И О, х о и ф х о х Р й о о о й Ы ~з о о р » й й х х х о о о х О, о о о й х Р,-„ ва х й х со -д сХОО Х х о о Д ах д йвй о о $Н 1х х хса"о д ао хх„- х о н о й аФ о х д ао х 0 с М о а о ~х х сс а о (р х с йф' оох !3% о о он й о о о о н с о о '~ о О х Д!:. "ъ -.М о ВЯ» в % В вх в „! ~) ы в В: о $ и $ й 5 3 Й 3 $ й Я о с х х а х о о х о о х й с со 5 а, х ох м о ф охна,х о о й с Х о х Ы о х х о о о 1 о О, О о х о -:' 11 О, о" о Ф х о $ ох о ав Х х О х "~" й а, о о х х х Яа.й о Д о О о й Н, х х хвхо о Х ~~О о а, Я х о х с х о о о Д$ о о р, Я й о о о ххо в~в - в$' 4 6 о о о а о 4$ О, .а Ю р~ д о й о Н о о ч Е о с й о и х во а, Д д о х о д а о о а,х Е~ о ~о О О "н ох Мх д д х о хнхю и о о ох о И Р х со д о „х о х хх62 й 1' х о о" о х „о х Н 'О„,О О Д о ф ф о о о Нн' >х»а, о о о х о о .' о с о о ~О н Х Х О о х асс д в о Д» с о ой хо с О о О С Х ххах о Ц о о д о Бхх о в1 х,й о н о о о х Х х с Й о о о о о одахх оох онвох н о а св О ы О :и ЯЙ о о 1х о ы с о Ю 4Ч Ю Ю Ю 3 х х и Ю Ю с Ю и ы с Ю х ъ т Ю ы с с х О Ю Н с с х Ю Ю Ю Ю Ю.
с х с 43. х о х х о х а о д ы о н с о И о о х О, ы х х х М х ы Р ы д „" ы Оо ы Д с О, О ~О о о о м о х о о о с сх ы й х х ы о с м Н о х х д Ю ы Я с та х х д ы д ы а х,х х ы ы о „;ох .ии ххх аы с Ю СЮ х",~ о н д ам ы сон с хм Д О, о о х о Х Ны Х иО 'оииопииеодиоо о ио 'оииоиииеойпод о о Ф о ЮО 'оииоиииеодиод о ~ о ! м ИО 'ОИИОИИИЕОИИОД й о О' о о о ы 6 х ' а о с х о и р3 и и': о х о их и о о рд: Д х ы Н о с 4 о й и и и и ы и й и м х сЧ и а ооныз ы ыхыс с~х >х дух З ОХ Й д р,т о ос аю с о фм ы р ах о ~ а > о о о 'х ы )х о Ю Ю" ы о )х- И 'ы о хса х ы Я)х Ю сдх и 3ы ~„й а Ц й" о ы О о О х й' х о ы 3 о ы о ы х >х х х ы М Е' о х й х а ой с4 й х о И.
о х Ю оа ~х Я м й ы о о' ы х м ~х х о Й ы их )х о х х х о ы ы О Е~ Ю о ы о х х х .о х х х И о ы о х ы х И ы ы м О Й о о о х й ы о 2' о х одх о о й'Н х х с О о о их о о х ы о и х х х х о ы Е О х ы й ы >х О ы о о ы х х й о ы о х х х о ы О, 'и о Н В ,и о ы о Ю хх о мю их х "4 х ио (м ц)н й х х о о Ф и со М СО о оо Н Е Е Е Е о н и 2 й $ Ы й $ о с ыони ыйхи~~ыыо ЕНСЫ х ахй,„й ыы оохно о онхсХЮтД с >Х Х Х ю о „ю о ы о сд и ы -Х~хх хсхс о ы х о ы ЮОДОНЮС О М т х ы м С х Й о хо с о ы ы с о х ~ ы 3 хы,о охххсхю х х х х хс т И 8 И о О, Я о о о х Й О. о х х о х О, о ы о о ы х О з х о х ~ц ! О, а ды О Е с 2 5' ы о р о ы х о ~х Я с' И х 6Р ~ ых И а ы 3х ы о ~ю ~~ ы С~ 1 й ы :Р Ю м Ц $ ы о йВ о х и х х Ю х о О о ы Е ~О о х о х х е1 ы х й ео х ы и с ю х СР оо оо х ~о и" „н х ы х х с х о О ы,о о с х д о ' с )х х о с Я м 31 ы Л ы г й о о $и ~О О, Ф х Я Ю х О 8'Ь - е м о 1 о С ~О Ы Е ~Ц Ю о ИН ыо'» а Й м ы "сО х о о х х 8 о о о .Я х о О, х х о н х" 2 Э х я Е х О О, х х и х о о ою ЭЭ о х х о Ю о О х 8 о Р, ЭЭ о х х х 4 о 4 ГЧ Ю Ю Ю с с Д Р М Р Й И Й х о о.
о со Р о о. х х Е Ю о Э х 4Э Е о 4\ М 4' о о с с о х х о Э с Е х с о а х о Ю. Б х х х о. О 3 х О о ф с,э сс ЭС О Эс О ч Х О Эс О Юх х о~1 О 4Э о Е ч Э 40 О с Г'С ю х сэ х с Ю 44 С Ю Э св Е Йй о ":,й й" а „о о о х х х Е о о М о ю 4 о о И о х о х ~о х М м в х х о о о О а н, 44 ГО о. х" о" „ "х х ,4 Х '0 с х о о н о Я пв 6 ,Э а о хф о о о ЭО я о эс О о О Г.В со Ь а 'о о х сэ О, Ю с о 'о пв й о Ю х х о ЮМ о сх с" о о х о ЮЗ иу ,'а о а аа О и .' ай о о о х о с.э о в" х 4 „х онР2 0 х ПВ'о О н о х о х ох ЮЮО Ю х о хю м .О ь Х вл Е ПЭ б\ ов х х И х ь со ПЭ И ПЕ Э х пв ь ПЕ х И в» х ов л пх св «в 3 св сэ х ЮЭ ВО Х О ОВ Х о Р ,4 О о х о х о 41 х о х 4" о х х О И о М Ю О н о о О о о о х х х а 3 о сэ ГЭ х эс х д с х И о Й~ О, ~$ Я » 'х о эх сэ О О, Эв о х о х Р',х $ х со 8 х о ю о о с о о И о д о 4 о аа „и о Я аа о Х св о со хЛ х о Е х х х св Ди х о о о о о :4 н х д х о ЭС О х о х о О Х 4,' К О44 ох Э.М х 4 о о ГЭ х сэ ~ СО Х О,Э Ю С Ю о о х д "х ю" но Ю о ю о 4ВЮ ЮХ Х ах о хо р, О, .1Ю ооо оох Й Гй Эв СО ср о о о о М о о о о о ю х Ю о й -' о Д ГЭ О, о с я о х х хн д х о о Ю ГЭ х ю о 40 4 о о х х с о М х а О о а,х х о о о эх х д,х 4 Н 4у о 4 СЭ х х о о х о сэ ю- о о х а а „х х о о о '- а ~ хх х СЭ, о х й." з о о эв о х Д х о с о й х х Д О х х эх о со о о СГЭ ЭЭ о о а а х х 4 ха о х х 3 ,4 Д х а И х о о эх о о х о д х х ОН О 'ЭО СО х х эх о о М х о о о О, д Ю И х» и ,4,4 4 о х о о о х о 4 х сэ х о х Е х о о х х М о о о '4 о 4 х Р о, х но О о О, о о, 4 о эх И 4 о О, й о О 2 О И в о.
ГО. сй 44 П о х х у О Ю с с о х х о П Вн в П с2 ГЧ 44 х с а о 44 $ й о о о $ $ л 4 х О, эс .4 о а о н х х х и х й Й х 4 х» Ю" о о о о о х о Р о М о ах Э о о о о с Ю о о о 'о" х о Ю х о х О, о о о х 4 » о 4" о ГЭ о х И й х о О„ Д О ГЭ о Ю Ю х о о х х о о О, о ах юн о О„ о о Х О о ххах о о ю х н80 а о О С Х о Я св х»о о и ° Э О х н о х О О„ св х х с я х о о х ЭО н 5 х С4 44 а сб о 8 х сэ о х о Ю х эх Н ОО о 4' о о о хо о 4 о н сэ сэ о о о н о о о 4 о о о о Р аО о о ПП св ВО ! 4 ав ГО ) В 4 ав а П Ь, П 4~ а ~! в 4 а эс ВО ! в ГО ) В ,ф~ в П вэ„ е х Г Вн 4 а р— о ГХ Й~ а с о4 ов о ГЭ н о х О сэ сц П а х х сй Л Л Ф о о х О, о Е д н о сс ° Э о о ю х о х о о о о х д !р х х о о с о х о о о О И о о х а во о х И6 х и О.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
