Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 3
Текст из файла (страница 3)
Р" ,с Ф о ° Е 4 34а СР 4< 4Р с. Ы ' „Рф~ 2 Ц .4 х й о с 44 НОЫ о ОХИ Ф ы х ы х о 3 сх х Фйох о х О ы Х 6 ы О д Р'сО О а аХФО . ао х ы ы ы д 66 Н СО ы д ао о И - хх о ан я х сч ~ ы х ы !р:. ы ас О о ы х хн х ОДР, РС Ф о 'х ао хоы д Х О О х О,=3 Р' ы Й с ы О И а о И й !~5 И 6 Я~И 555 о о ы Х Х ы ы Ф ~ х ы да хх8 оыо ы И ы охх ХОР р1~ "-3 и о хо о о Р~ о ы х й дс х Сс )х ы й Р, о с- ф ах о р~а с 8 о он о ы о ы х „ о, ы х Ф х ы 66 Ф оа ы х х" о Ф о„ о о х Ю ы ы с4 Х хы х ох с4 х о н а о 6 Ю х' х Йй ах ы ы н х о Р: о ~ х о х М с ы ы о х о ы Ф а ах х о о СР о сХ ы х х ы х ы н х о ы ,х х о Ф „ ы р РО х о ы х Х х х ы д н 66 х о о а М Ф о о ы й х 2 х ы о хо х ы о Х с6 о х х о д ы ы ы сХ х ы х а с Фо ~д хо сх 'Я х Ф ,О ы Ф $ Р' - сх о о О со о О О о О х х о о Р н а ы о и,' хх :й 66 О ~и О х ы о х х х Ф Р' Ф х о ы х ао Ф ы н хо о х ы ы о ИХО ы о ы н хд о д о -хх он.о ф Фью ы х ы хох а '" хоы ы хВФ х о х я х ~ о ~йс х х хдх „Х ФФ хсх ~Ю о ххх о"о ысх х Оно оых о о ххах о асс х ы х х а х ы о о, „-СРо о Я о, Рс й Ф осы Фыо о И" х" х о ы х ~,ых Х Сс ы д" с" х с о СР дх ха о о Ф х о а ы ы о о х Ф сХ х о Р' ы о ~х х с о х ы о Р' ' о„ О о о ы х х й о х и х Р' о о о, со х о 4 М Ф ы ы с й х х ы Р, .
о х" ы а с4 сР ы о Х О о .4 ы о о х о Ф й о ы )х $ о, сх О о ы Д ы й о ы 66 Х й' х х Р~ '4 о о ы 4 ы Р, о Ф ,х хо ы Ьо Ф х й о ~~ М д а х ы ы о ы 4", ы о Р х оО о, о и о д х сх . о ы о х о о х ы Ф о с х ы о ю ах ы о о, х ы с со х ы со о х х И о. сХ 4 о "о ы о о х ы >х о $ о о х а о х Я, Ф о О х х х ы о ы ы сХ с6 о х о '46" о,х Д о х Б а 4 О 66 РР й 4 !К о ы о х Ф о И о х х а О ХФ х Х сс С4 х х ых хо х о х о о, » х н Ф а й О ы а ы Ф сХ ы о х х о ы ы Д с6 Ф х Ф ы о о ~х' Д 44 сй х Ф с6 о Я а Ф х о с.
х о о х х о, о х й о о о х о .ИФ с х М с о о х а„ о х о о с о х о М о, $$ $$ $$ а Ф 8 о се а о й $2 П х х й о Ф Ео ь $$ «$ Ф П$ с $ '1!Ееп.д"!угп)г'е(Егеп1Е ' !е!Епе('!)Епе$$ г)уп), (Х 008-) О'1> 09- (Х а.г)й (Х (Л)990'~ п)Е 969! 9гг1 (Х 869) 60 0 ЪМ'$$1ЮЛ 056 8691 8098 1898 г)Ъ Я.'1Ъ Л. (х (ба'8 (х (бг)э'л (Х(Ы.) 8 0 О*бб 9991 (Х 888) 20'Π— 10 0 е!уор! '!егор) 'г$1уор[ (х 868)6'е (х баб 0'5 О'96 8891 Обое 8688 (Х869) 58 0 О'9!в 169! И.01 6891 998! !Его '1)ге($( 'е!Егге($( 'е( .$$~ 1 (Х 8Ы.) 900 0 009 ! ~еО '1УЕ) 'е!УЕД $1Еггд '$)угу 'г)~дд (Х 869) 90 0 О'81 8651 8918 '1$ЕЛ 9[УЛ (Х 806) 68 0 096 869! Е)егг ! '1У~~ (Х 88о) ЕО 0 б'0 8811 8861 99 8 098 69'г !86 ( ооеи%) $8 'иеигмегее ееыод еоеипееоиеЬяепе эинееоеее!9() .ооеи ое е,е '1ег е чгооиие(попоете ,Х ДО д О! — —, оэ ! (Х 868) х'0 01 Х 'Ф".1 Х'-.1 1ее о еипеоиоеоюпк(( $8 о оиегоиепосиееН иэкэ ичнчиее!евген е($(еиг(йо иве!ивовое!и иннаиеолозеи ие!и июиэинэние(и 'воииееэи иииеоие(э!лег(е)( !'8 еиии9е1 с.
М с и с $ о Ф и Ф с х у о с Ф с с с О $ о с с Ю о и о О. с с с с с И Ф с и ~з и с 3 И о О с о е Ф Ф 'с с Ее ЕЧ Ф о! и Ф о Ф $- с й о а о п и й й 3 о о о 4 о х $х ~ х х с Ф с х х х о ц » о а нр." 'о 3 о о о ~4~ о х И „ах ~п ~ $":" 53 в о ох о о Ех и хо о ае ь ~ Ф,а ЕФО , Ь ГЕ $$ $"$ о о о, о х о о х $$ о $! Й Ф х ~, о о о 'й о о х ах ха о о х" о Ес„х о ~~ о х о ~о о о а й 'х с и и х ФЕО Ео ох о $$ й х $$ а с о о с х о х 1хй охо х .Цсбр ФФХоо о Ое-'* '$ о Ф х с)х©со о о о о ! о о с о 3 4$ хю о о с о о а х Ф х $.— ~х о х х й Й Ф х Й ас о Ф х "х сг $$ ф о х хх х аю о о сх о е о Я И р~ „й с о $$ с'$ е, и д о Ео ~о 0 ! Е, о о: $.%. п о о $$ д 6 ха М и х х о а -с' с х х о о Ф о Ф 4$ е х о о х о с Й х р о й ы и! 3 С 3 о х о х Р, О х в' Я о 4 х х с )'И И 44 И у 4 о 43 о х о Ос О о О с 3 О О а с О О с о О СО О о о.
М с х 33 с о О х 43 с л О с О М О х с о с с О о о $ 43 О с в с с х с о. ° 3 О х а х О х 13 хх О о о х О О х о О О О х й д О, О О х О о с х 34 а О х О о а д х Ре Я Я 34 х а О 34 О Р. О о о О Р, 34 ,4 43 О ю ,4 х х Й р! х д х О О О, о о О О ц о 43 Сс сл о о Д "х и хЬ О й х Я О О Х 8 О О х о 4 Х О О хР о а" Я Х О О Х о Я х н О о О О 6 х х О х О О о „, х О Ц х х о о х 4 И х о о о О, х Ы .И о х а О х о~ о Ы ~ И Й х о о х ,с» х О О.
О О О О д 2 х й', о Ы а хх йЬ 3 34 о о 33 о .'Д! 33 СО 'О' О 43 О йха '! Ц О О о о д О НЙО х О Д о а С ОИ "' хи О„43 х х О 4 сс Х о" 43 х ИИ Я 2 х П Ил О 3„ Т Ф д О о 3 Ф о х о О Ох о й $ ~5 б ы Я ф .Я. „ Ы Я 4» сс3 Н ООх О Л» ср н О х ах х о ао р О аса О о о Д аХ х~ ф дО, О 11! а-.-~1~ х о а Х 43 х а х Ц »Х Я о о х о х" о О х х о о х 34 4 а хх ;4 х О о х о х О 43 о х а 43, х ' д с Р о х о х 3" о Ц о о 4' о О х О о Д!й Сс х х о х О О О" х й 34 о о о О 5~ Ь о о х д Х ХО И . О 34 сл Х Сс 43 ОХ О д о лхх о Б ах О Х о О 43 а О д х О О х х 34 О О. О хахо х ~~ й 'йВ х а 33 х х „х х х ЕИ СО 'Л О О с о х О х '4 о а х,~, сс х О о 43 ла х х о о М О О о СО х О О Й О х н ах О »Х 43 О ао х о х 'Й 3 О,Я о х х ОХ О О О Д 43 а х' х а я х х О х х Я 34 х "х О д О х Р О О Х О Х 4' О О х х х Я о о о О о о о х х й х О а)с а И а!Ь ! О.
Ф О И о. о М с о 3 4 О 33 со с й 0 й и д й ф й 8 О 4 Я »Х р х а хя о х ОИ х х Ы Р 43 д Д о о а ' О о О Х О о х с 33 ОО 4 й Н о с~, о х 43 Р »Д О д х х о х х о О О Х о 43 $6 Ф СЙ Л, О Х О Ь а хо Д х И С О— -", Сс х О О х о О О Я О сс 43 н о х сО, а л о О Х 8 х о Я~с ад х» 3» с Х-3 о й Р,Х О х 33 43 о ах О о х Оа Я Ви~ ~о О О о "' он »Х д Я О О 34 О а„х О О х ! Др О М о о ~~Й х а О й о о » О О со '8" О о И 33 Д 4, ОО сх хо х Х х О он хо аХ О х ох о одхх 8 х Х 3 Х о о О О х О О О О М Х Ф" Ф л л Е 3Ф И х х О, он О х х О 3 х х х х о О о О о х 34 43 Я Я о а о Ох ф х х о 43 33 х »Х о а о х о х а.' х х„х х 4 Ф сИ о Д 33 5 О х х р, о 4» 43 О х уР '4 о !и х х х 33 43 33 о х О О с о О он О О, „3 х О о О 4 О 4' Х Йой 4' Х '4 О 0 ОО' д оо, О О~В а Ф О,с 3 ЛН' Ф",3 н ал Йо хБ х х О О хоссХ О Х 4,О а .4 О Х Я О О 3 х Х О о х хо хд х о х ЯО,3- о~ 'х О д О Д" о о нЯ х н х х О Д х О со о о о М О л х с Л 2 х О о х О« о О И И х в е" о М о х х л Я О с о х хо о х Я' 4 х 33 о О Б О со о ~~ ох о О с И~ х Ц о х о о х "ь сП и сс о, сс л л о ! б П х 1 ь' Я со с \ ) с'4 П Пс„ ч о х о, б сл ! сп П П Сс сч сх о х х ф х х о >х о х сх П о х н о о х о о о х сс~ х 211 ! а о о сь о о о х Е х о х сс % сс л Ф ь М й й з х х х сс.
О О $ й И й о, ы х х х О х Х х ао Б хо ао о о й о х хо о о Л о о хсо х о о х х о х охи д, о ох а ~Р О Р Й=„ хЯ о х х о х О О сс >Ц х И х хс ~~хИ ОП ОП Х о а.- х о д х о ,д О сс о Д о о О х х" х о хо сс ойй О ОХ й~ х о, а ах х ох х а '. О сс сс х х хх ххх Х Х хО Л х х 2' о сс О х 4 о х о х а О сс о о 4 о х ао 3й !$ о р1 „~, о н х о .„-о со о » Д х ~ М О 3 о Ы о х о х х о х о х х о х х 'с х о о о 4 о о сс й а и х о о о а х о И йЙ о х а3 х а о х о х х о 4 х ах о х ь Е' х ф ь Р х а сс ПП ж ~ о о й Д д о о о о х а о х х ь, лп х ь о х х и Р ю 4 х м М Й х о со' ~т, о о о И о сс х м о а сс х а х Ф сх й ах по 4 о ха о о~3 со х х хх 1 и,'".
Б ПП М х о х о о о о х н о о х Я о 6Р :Й х я, Д о о о х х о х Х О о х о О сХ сс о х х о дй х о х О Я, о о х х х о со о о о х Л о „о х х н а 4 о, о ПП х х о о =х о о М х" х % О о о сс с ь ь ~ сс с с В й 5 1 $ $ о с х О а -! сЧ Ц й ь О 5 О х х о о х а ь И х 6 й а о о о о, х х Ы х о х х о о ссс о х х х ах о х х о а,х х ~$: х о о И х О Х Х -8" о й о, о х х о .. „;о й хсдх х о 2 х,ох ~ йй РЦ ~х Й х ОМ О о СС О ООД о ай хай о о х о о с х а д ох хо о х х хйх о х ан" о сс" х н х Й ха»х Ю Ю СИ О х х х а $ ь ь Ф х ПП Ю з сд х х со н о „ с сс х,с П' сь й о х о О о И о »м о ф й ПП х а х хх о со о о о Ф со ОРо Ы а он ч л с.с сч с'„ Сс ,сс х -~Ф Д ~$ с Д = о, х м с) с О )х ы О С) Х СС Х О О, Ф ы О Х О о Х х м х х р, СС и ~х Ф ХЕх,о х 4' х х ы Х ы о О 4) О О ы о О СС с с с ) о а с с ? ) О ? ы ? с ъ с ы с с О ? О й й с ? ? ? с С> о ы Я ? И ф м о о о Х О О Х О с о С> О Х Р х х ы о х х ы о Ц х" а4 о ~ Ф Ф Х )О о х х х х ы ц О.
„ '- И О О 4' )4 Х Х О Ы ах? ~ ~Е ". х Й Ю~ О, о ы М с о о О - О ЙЦо ХОФ о СЭ Х Х хс" о х, м о о х о о х мО О ос х ыхх Х >О ?ос ы х ГО О о, о~ хыо хххмс ыхм О Ф '~сй оо х „, ххс о Д ы н х Д С) м О С) О СЭ Ы О Д >Э Х о о ыт мы ы Иы~хх о~>оо хо~" х Х хс? с> ф ИХИхх СЭ» И И О О, Х )О м о О С) Ф )Х о о х х Рх х х х И ) х ы О о Ь д ыа о 6 Ц Ь О о о х И Х 4 .Я х Д Х О 1? О О о х х И ф, х х о х ц х а >о о х х о .я х Х ы Х О, о х )х о О О Х' О О х о с о Ф о х ы о 4' с >Х ао СС ы ° со сэ о >х о ы О, а о ы )х х о о х Ы 4 .Х м> Д О х ххы)х а~ Х о .
х о м о" 3 Ф ~ х О ~.~ Х с?с йх Ц~~"; ыа?Бтхи ы ы О О О, с м сс Е с х с х ы тмо о „'о Фох х х ото о Х Н м К„.х О д, Х О о ао о О $,-й!Р ыо охх »о х ы х х Фмхо хм ?ОХ?О О х х о~, д5%$ еххй о х х ы о х О, »х )О ы о 4 Я м СЭ С> О М с й о М М о с х х ы с о ы ы . ф с)х Я ы о О х о х х х >4 х х х С 4' ы И м охоах со ы ХХХ ЫО С О - С Х М "О м о х х ах? сх о х Фх х Я Ф Х?ы>отсы охмххох ы йОХХыхф ОХХФ ы )4 Х а о с х ы~~ о „Х О Х Х С)> )О О ОО )х- х ОХОЫХ)ОО аы 4> р Х м ХО» О С\ Х о с О,х О ~~)Х О ах И с ы О „„Х о)хсх~ахоых ыс?ХО?ыхх ОХОСС СС СЭ О о о 4' Ы Р Ы х Х 'ФО Х СОХ?О 4 и а 3. $ й з ы о 1 с х х „."' ~и осо 5 2 О Зх„ х х ,4 ~ С) с мохи схсэ »о- СЭ х О с Х .~, Ф хх" СС ы х )О О О, С> ы С ХО м х х О х х 3 х х ы о О о о Ф 4 и" ~~ о ад ы х ы х ы ? 4 х „ ы х х 4' с О О Ф ° мх с О, ы х ° О о х ы с ы о ы х о „-Р СЭ х СС Ф Х Х т ?4 Ф о хх О, Х СЭ м О, ы х Я 7- О„О о о о Сс Ф СЭ О О О, 2ы х х Х О, х )х И а о о х м о ы )Х О м~ х ы с х Ды Ь д х О, ы х о о х )х о х х )х х о ы ф х О Д .Х» ) О, о 4 а).
х х ыы ХО О, х" а ы х х о "о СЭ О о СЭ х » Ф х о О Ф ы о ий о 1 х 4 х - О М) ы О о ?БХ оых О Ы М х О, ы)Х ф о Ф Ф ы )х д, с О О ы з х ы сэ с ? О эс с СО Ь а а о ? х Ф й -и о М х ы О ф о СЭ х Х „х о ыт О. с х х О о х ых ы ~ о и о о М )х р Х О й„" х ЦхЦ Й1 ~ )4 С~', О С) ы М ы ы х о О О.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
