Седаков А.Ю., Смолин В.К. - Тонкопленочные элементы в микроэлектронике (1051268), страница 2
Текст из файла (страница 2)
а со о он х о 33 Х х р 4 х д о Сс х „ х о .4" х Ц о о О хо, Сс Х х х ! И! а х х х о И о о х о а о а а о о 4 О о а О оо, . о д о си И О М5 о о М м х й х р о .34 о 33 х х х о о д со о сс х ~ 4 О д а о о а о 33 а х о о х 33 О а о Д х Й о -. х о х И а М сс Сс М х х х 4 Я 1 а о х о х о д и а 44 ии о о 6 й О И о. с х х о 'с о о о, с о и; со о о Ц" х х й Ы Ю о О 30 о со о 'с х 4 Ф о я Е о" ' Ф » Э Е о х 343 'Ф 4 И а х а х х о х о о о "' а о а Л К м х $. о о х ИО д 40' Я Ии = ~ х ~ о О,х х о 1х а~ Ц О ххх О х" оо 6,.
„ Х О о о х Ца х а х мох о „о а бах ~О хх о х И Ж Сс о Х сс о о м р а 34 ад ос3 о о о а н О„ о о ах д д О Ы а о Нсс ~м Д д ххах хаоо х ао охо о „о а" О Хса хЦхо а О о сх м о ах а о х о х о д о о Д он сс а Н 43 со О аоо м 43 х х х ЯЯо , й." х о ф О о ан о о х 33 й )р о хо Х сс а х о о а о О 33 о о 0 ао а х х" о са Х О о а хх д.о х о х р, о а он а о са о д ха о хао о х а„ 33 33 о х ах а оох ххо х~" о и. о х о м аа х н ох о аа а о х о х сс а „х о Д аж о» а о а о о а х о „х о 2' х о х со х а а~ 33 о о Д 4 н ах о й х а о х о а о х х О, х о аа о а Я о Х "4 о о, х х й 1а и О, о х й 4 х о х » в" е' х Ь о а сх" х о о 34 о х а а х Д 6Д ..х х х о о хо, х д а оао о О, о 'х 34 2 о х о о н о х х" о ф й о са о д х х х а 3 х о о а ха х о о о о й х а ,3, а о х а х х 3 5~ М о о М о о х х а" 4 о о О о о о Я Я о о » х о О М х 3 о х о О о о х Хо х 4' М а х х х х и„ о »х о о.
М Я И 43 а о а" а о о О х о дн х л б1 »ж а о с Й 5 й М О 3 и д х о о О х х ы Х О, О О В х а Я о о х ~ о ~Д д х ы ~ а о о о Х ф Х о х х х Х О х о х м о И "' Х д х )Х о ы о Х ы о о ах й х Х о О Х х х Б х Х ы Х х х х д Х ы д х О И х й о а х х р, И д х х о й О о х х о Я )х д о н О Х О а, 3~ Х ы о О, ~~ х о ХХХ х х о охн х д ОХ х 323 х х Х О ах О и о ОО х 1~ж йх х О . О О, Я О о О, Х о х х о о о о о о х ХХО, о ф х 3-, '' й х )Х о х о о » х О х 3 3 о О, д х х о о М х д д н о х х И о О о о х Й Х д Х й х р й о ! и о а о о О Х х х О о О б\ ~О )Х и д О х о х х о 1 О ЮЧ 'О е о ооо х 0 х О ы О Х ххж о о д о оио ах х Х О.
О 5,,б ф ,Я,х Х х охх о О, х О х ~„о о Ц Х х х х ы ОХОХ о х ххн" о О Х О О Х Х ыхх х И Х Ох »хнах аыхНа х а х х ах охнд К$Ф У1р о1~ х ~ х хн о ХОЕВ в ооох ° Яйо ХЫ Х ОХ Р х х Х а хйх ~ ~"Е о Оо ОХО о х х м ОНХОХ ОХ И О " о х хх х', и х а он О ы О х о Д ы Х НОыаоОХа О д Оныхдо О онХОХ о~Хххы~ о о ы о5хох~фх Х ОХ Х~ О Х ХО~О Хы хххх2Х х О, Х О О х до ао х а К О Хх ао Х ы 'йхх' о О х" х ХОхыа Х О Ы о О Ы 1л3 хх хо Х д О о О Х Ынх н ох О о 'ы" о д х х х х о о Х О О о ы" х о д ы н х о о ах И р х О О д Х О О, ы 2 ОМО Х ы )х х о „о х ~!й И О ах О а4 ,Я х х о О .х о о Й~ Йй О ХО х ах ы о а х »ах ~ ххы Е о ~~ » ХО о 2 И И О'Х О- х ы о х й ии о Р х ы но Х О ы х о х Ц х ы» а О х О х о о Х х мох о о л ~х О Р3 о х о и о о о Х Ю о Х о о » х а о М х н О О о х о х о х Оа н х о о,х о О, М О х Х а~ ы .о" х х х х ы х х ы х н а о а н о О о Х о И ~х и: д И х х Б" х х х о Х х х х О.
х ОХ Х ы ы'Х х Х о О н ф Х Х О,о М Н ОЫ >Х й' Х Н О Х О Ы Н Ы о доыыхХххнаоо Ц О О ф Х~ Х О О О О ЫХ О ы о о о о х о о ~Ххххох, ыонх ой ы х Оо Х о О О х,х х х х ды хд мх о~ахы ЫХООХЫОХНО ц' а ~ „и х х о ~ -'х 6 х х х о ох о о Ы Х Ы о Д-.'.": -"".-— хххх Х~ОХФХХХХЕ Д х х о » О О, о х )Х а о о о х х о х о о о Х о о О, Х О д д Х о х о )х Х Х О о .О $' 3 ",Р х х О о х о д о а о Х Й О, о И х х О Х" х ' х ы х оо И»х охй Х О,ОН н „о ~~ о х о ~х . "Р,' И О, о ° -Ф О Х О, сЧ х Я д О о х Х Р Х 'О о о ~)о П и О И х Хй а аа х о х х О ~~С'3 О Х О О Х о ~х~х х хххх а ХО хф7~~ о н х х а~ О о ы х х хо х 'оххо Фо х х о х ~~ х ф 3 х х о о х о д В о о х Ф о х х 'х Я ф х х :Р ~о х го о.
щ о Х' О о Сй х х о О о х х О Ф' а о О, О И о О х й О % с Г О с О. М й О. Ю х й О в с Ю .й й О, О О Ф 0 й Ю й к й х а Б 0Д еч Сбб б й х О сб х Ц Ко' ,б Ф о а х о О Ь й х о д О СФ б\ "х М х х О х ~ а о о х о с О О о Ф' 'О ~х о !у х С:С, О о х й Р х О м х ь с'0 О ЬО о "х О д х або сб О О о ай о 'б о О М д о а О О х а О О .а О, х СФ 0\ д й х й О х й х й х о О 00 о Об о ам 00 о й д О О о х О ° б х х О х О Ь х С'б х о а й О 'х' О О О О Й Сб х й о х а„ й о х х О о О О Х О Й сб Ю х а Д й а х а О О х х д О р ха И й Л х йЯ ОО х ~ Сй ~й ; х О И а х о с ь Ь 00 Об й о х х О О ,Ф О Ц ах о а о О О Ц х в е' й й Б О О о а И О О о Д О Ф ~~ О й х й о а Сй О а о О „о Б О О с х И о а а о х аа а о О Х СО ф а а х О, О Я х о О И хФ 'х а о х ий х о О х ~ о х Х О й О, о а х о %Ф х а О а х о Х СС О, д О х ~ Ь О О СО х х О а о х й Д х х О, о Сй о О Ф 6- О М ах ь х О х о о а й Со СФ фР о ~Ж О О х х х а й О О И Д'х ххх ххх ай $" х до о х хх До о аа" О Х о х Ф х а ьо Й О,й й~ о О О О а а О О х 0 О й О О О Д~ й И Иь Х ОСЧ хах о йь а бб Х СХ О и'д О, х о О О ййо И й х О О охх адой о сб 00 Х О о ~со ха о О х-о О И й М О О ь $ 3 Х о о Фс о а о О а х Я ах а о о м О, х а х х О д о 3 О х О й аь 'О х х" СО О б' о о О Оа О О а х х ,0,4 о х 8 о со х а х х 00 а О оо О ь Об н 2 о ° о о х Я Й о х ОМ о х х о Ц о Я н „" .
о х о я' а й Б д ~ Я О. й ОЬ о х с о О й х х х й ь ь Сй й о Йй О,а ьд О х о о о а о О о Д, О Ф' х О О Я $ О х а бх О о ьба О О О Уой ххх СО Й О о д ОХХ х х о х ц х". 5 о- И к сб Щ й4 х ь о а аа О х а о О й й О а И » о О 0 д СО х х о СО а И О К=. х ь 0 О а $3 » 2 ~ о М О а О О о О О ь ь ха .Ф аа +Ой охо, М 00 о о ха О й 00 р ь а м Я ох О ,д х О, О 00 О С Д о О О х о Х О, а О сб О,С Д ХОС а хОО Ф" с х о о, ЬС0 О сбйа й д мах о О х О Я 4 а Сб О О Я О О С'0 о о о йх а Сй а о с О О Сй о Сб Г~ О о 00 Ь Об О ~~ Сб О О х а х О й О о О О х а О а О О. О О а $.
й" сО 'а ий а Д О а О О Ю о и а 0,0 О О а О о' х Фб х й а х О О Ю О х О х О 0 О х а О О О йх О О 2 й Р х О Сб О О а О 2 аа а О О ий О 8 Сб О О х О О О а О О О а ж С О О и О О О О о ФФ ф~",- !3* О Зяб . МО$~, 4 О '» а О а а Д, $ Я О О ,а а ~ ФО~ О О ййЙО ООД ~,Ф, а ,~Й О ахар, О О О Ц ма О 5 Й О у О 2 О ф О О О а О, а О О и Д 00 а я 6 ~ФИ О О а д О а М О * О О Ю ив~ О О 0 Им Н О ОХ х % с 00 а сд й с а О С Фб а й СФ а Ф а а а х а а Щ 00. а х ч Й с Ю Э Ф".
~,:'~~ х 00 ай О а а й Ф' Ю аб ~ 0 Х а й' й О е 0 Х с о о о о О. О о со х И х о о нф ф о о х о О, Б Я х ь О. П О. с ф 'й Й 3. н 1 3 офф о Б о о Х 4, о о ох о х'х ф хом одах х х о 2хй „2, о х хо он 2 о3~ с х О ф о м офф о ,4 Х х о Р,о о о о ф о а22. ,4 о о х о 4) х )х 2 о о а а о с4 ~Д х '4 х о о х х х о ф ф х х о м О о д о о )х х 9 О „с, х о х о х.
ох н х х о ф 2 \х )х о о м о х Д ° о и о х .я, о а х о х о о о о о о х о о о х Х 4 о а о о с» а 4 о. х М х о с, х о 2 )х о о о о о с 1 43 х „ м х д И х ,'4 И х х о» 3 2 ° ф х о р 3 х д о х Хсо Х о х Я о. « с ф Я й о )с е о с а О~ о 3 е с с с ф 6'3 43 и ф Я м 34 о 4 о )х ~,2 м нх р'- о о о ф 43 х Я 43 о ф м О )х х с) о д х ф ф 4 х н ПО о о о о х а х х о х )х О О х ф х ф х о о О о о о х ф х х о сх Ф о )х о Х Р о о О о 2 о ~~2 н о х х о о 4 о 34 м й'~' !Р о ф хх ~,у х ф" 33 ф х о охф о о хо ф о о х о об о О„Р И о о х ф фх х ф" х о о о м ,4 х х о ф О О О а о о о а о х х ф~, 2р о х о х х О,Я Р о ф х х о х х 4 о о д М х о х о Д х о о 2.
о . '„Р о ф х о х 2' о И о о СО О О 4» )О 22 ф Д ах Я 4х 2й )х х о о 4 х Р 4 о о х И О 4 х о о х х Р 4» о х Я х О о в 4 33 ф 4 с') 4 3»» н б б П ь х 2 О О 3» ф о Л Я Пй о 2х о с х о х хо 4 «Х х О фа ххх о о ох х ххх й ф ф йаИ о 2 о х д о х о ххБ Р,С ХО хаф о о ао й фИМ 4,о а охх йхо ха ф фо о ХМ О, х о о о ххх о 1~2 а 3 СО х о о о о а2 ф о хо нхн ф х оЯ х' 4» О О о о о )х )О О со )х Р.
о о о х И х О о Д ь х .ф, Р м х д о р, О х Х О, о о х 2 ф о Ь п 8 й о о Я М о х х,ф, 8 о о 2 о сх2 3' со 'х" ОП 4) фф 4» 0 Рф 2 х Р О, х х х о о х о н х х О а о Ы а х о о х 4' и" о о х х о ф о о )х 6 О О х х х о х Ц х Р, ф сх 'х о х х х 6 ь ф х с х Ф о о х О ф Е х 2 ъ х О 4) 4 х ъ о И «П М о б й и х о О х о а р Й о о о о х~ Е хх '4 хИ о ф о х со а о о О р, Л х ох Х -В«О 43 )Х .
"Д 2 ах с,, Ос о б П Н х и о а б б о М б х х $ й х Я о И О о 3 Д .я ф о Л )О о о о с» о о м аа Я ф о о 4» 22 .4 Х Ц о 4 х о й о х ф о О~ -ПИ П со ф ,„х ф ф а о И нх ф о ф о о о х о ф- Й нх о х х 3» О м О„ . о «Э х ИЬ О, Х О, Д 43 Р )х ах х Ц 2 х х о о О, о Р, о о у о х 2 2 о Р о о ф о ао о ~о Р р,о х 34 о х п2 Й и о х х о 2 о а х и Р х 2 $ 4' о Р, Я Х.
4 х с х о ~ < он о о х сд х б 4 Д 64 о Р, РС Ю Ю Ю с с Ю о О. о ЧЭ О О Ю с Е Ю М о х ы РС с х у о Ф 64 с о х о с ° с с Ю Ю О Ю. с О о Ю. о д с Ф Ф Ф О. х х х хсх д х о, ы о хо ы С6 СО О Х о оы Х Х ФХ О аХ О О хх~Рх о Р,Х~ Ю асс х ы х ыюс сХХО ю й,х ФААД ~ ы Ц ох .Ю х д ах о о ФФ И "х" о д д н я х ы 6С ОЬ О Д ын Д Ф Ф Ны о оооо со. Яхд ~ аа ао с ы н о х х ы Й О сх 5 о" о ай х о о ,4 Е о о ы ;, ~Ф о х И о да о х й х 4 х Й о, о ы ы И о о со ;4 И х СР" Ю "Ь й" х х ы х "ы й х х а ы Ю И с'с а Ю" ы х о д Ф х о ,4 а Е х ы д Ц о ы х о о н а о о х РР 2 ы ф,д х х ы Ф о. б с.с о ы н '" р, 6С ы х'" х х Ц о Х сс с6 Ф О о а а д о фР' РР 4 и ЪД й х а а' с 6 4 Ф Р 4 сдо Ф с Яд й о Р Х ы.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
