Н.С. Зефиров - Химическая энциклопедия, том 5 (1110092), страница 113
Текст из файла (страница 113)
для получении оптически однородных ищелий (орг, стекло и др.) и иек-рых стерсорегуляриых полимеров. Получают рвспростраиеиие Ф. в топких пленках для отверждсиия покрытий, изготовления печатных форм, микросхем и т.п. В лаб. пржтихе Ф. используют лтя определения элсмеитариых коистапг скорости радикальных р-ций. ФОТОРЕЗЙСТЫе свегочувствит.
ыатерюшы, применяемые в фотолитографии яля формировании рельефного покрытив заданной конфигурации и защиты нижележащей пов-сти от воздействия травителей. Ф. обычно представляют собой композиции из светочувствит. орг. в-в, шгеикообразователей (феиоло-формапьдепщиые и др, смолы), орг. р-ритслей и спец. добавок.
Характеризуют Ф. светочувствительиостью, хоитрастиостью, разрешиошей способиосгью и теплостожосгью (см. Ргпрографил, Фопюграфические материалы). Область спсктрапьиои чувствительиосги Ф. апреле!жется наличием в свегочувствит. орг. в-вах хромофориых групп, способных х фотохим, превращениям, и областью пропусквиия ппеикообразователа. По спектральной чувствительиосги различают Ф.
для видимой области спектра, блоскиего (Л 320-450 им) и дальнего (Л 180 — 320 им) УФ излучение, по харжтеру взаимод. с излучеиием делат иа позитивиые и иешгивиые. Ф. могут быль жидкими, сухими и плеиочиыыи. Жидкие Ф. содержат 60-90% по массе орг. р-рителв, пленочные — менее 20%, Г ие обычио состоят только из светочувсгвит.
в-ва, Жгщкие . иаиссят иа подложку (см. Пламарнав технология) цеитрифугироваиием, напылением или ижаткой валиком, сухие— польщением и возгонкой, плеиочиые — накаткой. Последние имеют вид пленки, зашишеииой с двух сторои тонким слоем свегопроиицаемого полимера, напр. полиэтилена. В зависимости от метода ивиесеиия формируют слои толщиной 0,1 — 10 им; лаиб.
тонкие слои (0,3 — 3,0 мкм) формируют иг жидких Ф. методом цеитрифугироваиия или из сухих Ф. методом возгонки. При эхспоиироваиии в слое Ф. образуется скрыегое иэображение. При эгоы светочувствит. компонент претерпевает ряц фотохим. превращений, напр. подвергается фогополимеризации или сгрухтурироваиию либо рюлагается с вьщелеиием шзообразиых продуктов, в зависимости от этого светочувствит, в-во закрепляется (сшивются) иа экспоииров. учжтках и ие уда|иепж при дальнейшем проявлывш (визуализации) псц дейспшем орг.
или всдио-Шепочиых р-рителей или плазмы (иегвпюные Ф.) либо перехоцит в растворимое состсииие и легко удвлвется с экспсииров. участков при проявлении (позитивиые Ф.). Из позитивных Ф. лаиб. распространены композиции, содержащие в качестве светочувствит. компонента сульфоэфиры а.иафтохииоцциазица (5-40% по массе) а в качестве плеикообразователя — иоволачиые смолы (до 56еУе).
При жспоиировапии сульфоэфир переходит в сульфопроизводиое иидеикарбоиовой к-ты (ф-ла 1) и при проявлении под действием водно-щелочного р-рителя удаляется с экспоииров. учаспсов пов-сти вместе со смолой: ф ЯОзй 340 1 ! ! -(с — с — с — с)г г~/ 1 ! ! ! 2-(с — с=с — с)р. ы -гн, осн 1 О Л сн сн сн -(С вЂ” с — с — с)р сн РЗ Среди н е г а т и в н ы х Ф. наиб. распространены композициин на основе пнклоолефиновых ка)егунов с дназцпами в качестве сшивающих агентов, а также санснбнлнзнрованные полнвнннловый спирт, полнвнннлциннамат и др. Схема превращения негативного Ф. на основе каучука н дназнда представлена р-нийй; Сшнгый полимер закреппяетсв на подложхе, а рельефное изображение (маска) образуется в результате вымывания Ф. с невкспоннров. участков. Дла дальнего УФ излучения прнмеюпст позитивные Ф.
на основе сенснбнпизиров. попнметжрнлатов н арнлсульфоэфиров с фенопьными смолами, а также негативные Ф. на основе композиций галогеннровзнных полнстиролов н дназцпов с феноло-формашгдепсунымн ядр. смопамн. Перспективны Фо работающие на принципе хнм. усиленна скрьггого изображения; такие Ф. в хачестзе светочувствит. Компонента содержат онневые сали (напр., Р818'Х н Р)111'Х, ще Х = Азрс, ЗЬРс, Ррь СР1ЗОз), катализирующие темновые р-цин др, компонентов Ф. (напр., эфиров нафтолов, резольных смол). Позитивные Ф.
чувствительны к эхспозицин 10-250МДжгсмг, имеют разрешающую способность 0,1— 2,0 мкм, контрастность 1,5-5, теппостожосгь 120-140 !С; негагнвные Ф., хж правило, более чувствительны, но имеют худшую разрешающую способность. Для получения защитных покрытий заданной конфигурации помимо Ф. используют материалы, чувствительные х воздействию пучка влехтронов с энерпгей 5 — 50 кэВ (элехтронорезнсты), рентгеновского излучения с ), 0,2 — 0,5 нм (еоентгенорезнсты) нлн ионов легких элементов (напр., Н', Не, О', Аг') с энергией более 50 кэВ (нонорезнсты).
В качестве нанб. важных позитивных элехтроно-, рентгено- и нонорезистов применяют композиции на основе производных полиметжрнлатов (напро галоген-, цнано- и амидозамещенных), полиалкнлешгетонов н полнолефинсульфонов, в хачестзе негативных — гомо- н сополнмеры производных метакрнпата, буга- диена,нзопрена, стирала,кремннйорг, соед.н др. Ливгг В своев К А., Раков А А., Пвгзвеесквс освоен субмвкроввоа ватогрвувв в ювроевсюроввкс, М., 19ЗЕ; Гьстоеувсгввгсеевыс вогвверввс юЧ, покров.
А.В. В в, Л.,уря!. ГК Селиванов. ФОТОСВНСНБНЛНЗИРУ$ОЩИЕ СРЙДСТВА (от греч, р(гоз, род. п, рйщов — свет, лат, зепз!Ь(йз — чувствительный), лек. в-ва, повьппюощне чувствительность тканей к облучению УФ нлн оптнч. излучением, Наиб. широко Ф. с. используют для лечения кожных заболеваний: псориаза„нейродермнта, витнлнго, грибовидного лишая н др. Такими св-вами обладают прнр.
фурокумарнны, выделенные нз разл. растений. К ним относятся след. препараты: 1) бероксан, содержащий смесь двух фурохумарннов — ксантотоксина н барзан!вена, вьщеленных нз плодов пасгернжа посевного (Рвв!1васа зайса) семейства зонтнчных (ИпЪе11!герке); 2) пувапен, содержащий хсантотохснн; 3) аммифурнн, содержащий смесь нзопнмпннеллина (ф-па 1), бериптена н ксантотокснна, выделенных нз 341 ФОТОСИНТЕЗ 175 семян аммн большой (Апаш пга)пз) семейства зонтнчных; первый нз ннх представляет собой светло-желтые кристаллы, пржтическн не рвота, в воде, плохо раста.
в этанопе, хорошо — в хлороформе; 4) псорзпен, содержащий даа нзомерных фурохумарнна — псорапен (П) н нзопсорэлен (Ш), нюгодащиеся в плодж и корнях псорален косшнковой (Рзога1еа г)гп- раева) семейства бобовых (1.еунп)возке); препарат представляет собой бесцв. кристаллы со слабым ароматным запахом, плохо раста. в воде н этаноле, хорошо — в хлороформе; 5) псоберан — смесь псорапена н бергаптена, полученная нз листьев смоховннцы обыкновенной, нпн ннжнра (Р(спв саггса), семейства тутовых (Могасеае) — бесцв, кристаллы с харжтерным запахом, не раста. в воде, плохо раста. в этаноле, Этн в-ва стимулируют образование пигмента меланнна мепаноцитами, вызывая впоследствии гнперпигментацню кожи.
Лечебное действие фурокумарннов обгсгснюог их взанмод. с тнмнновымн основаниями ДНК прн УФ облучении, в результате чего ослабляется процесс реплнкацин ДНК н снижается частота мнтозов в клетках эпндермнса. Существуют Ф.со напр. фталоцнаннны, дпя фотодиыноспыи н фототерапин ржовых опухолей. Леве! Негьсг1..С., В!еэсгеркх., Рьвоеевввгвуаьвавее. Реыцрнео! а!аыее!е юд веоввюь РЬЗ., 19З1. км. г ФОТОСЙНТКЗ, образование зелеными растеннямн и нек-рымн бжтернямн орг. в-в с использованном энергии солнечного света.
Происходит прн участии пигментов (у растений «лорофиквов), В основе Ф. лежат охнслиг;восстановит. й цнн, в х-рых электроны переносятся от донора (напр., НгО, 18) к акцептору (СОг) с образованием восстановленных со. гд. (углеводов) и выделением О, (если донор электронов НгО), 3 (если донор электронов, напр., Н18) и др, Ф.— один из самых распространенных процессов на Земле, обусловливает круговорот в природе углерода,' О, н др.
элементов. Он сосгавляет материальную н энергетич. основу всего живого на планете. Бжегодно в результате Ф. в вгще оггг. в-ва связывается ок. 8 10'о т углерода, обрюуется до 10' т целлюлозы. Благодаря Ф, растения суши образуют ок. 1,8 10п т сухой биомассм в год; примерно тжое же кол-во биомассы растений образуется ежегодно в Мировом ок.ане. Тропнч. лес вносит до 29% в общую пропукцию Ф. суши, а вклад лесов всех типов составляет 68%. Ф. высших растений н водорослей — единственный источник атм.
О,. Возникновение на Земле ок. 2,8 млрд. лет назад механизма окисления воды с образованием Ог предстж!веет собой важнейшее событие в бнол. эволюции, сделавшее свет Солнца главным источником своб. энерпен биосферы, а воду — пржтически неограниченным источником водорода для синтеза в-в в живых оринюмах. В результате образовалась атмосфера совр, состава, Ог стал доступным для окисления пищи (см.
Дм«ание), а это обусловило возникновение высохоорганизов. гетеротрофных органюмов (применяют в качестве источника углерода эюогенные орг. в-ва). Ок. 7% орг. продуктов Ф, человек использует в пишу, в качестве корма дпя животных, а также в вцде топлива и строит. материала Ископаемое топливо — тоже продукт Ф. Его потребление в хон. 20 в. примерно равно приросту биомассы. 342 176 ФОТОСИНТЕЗ Общее запасание знерпчн солнечного излучения в виде продуктов Ф. составиет ох. 1,б 10э' кДж в год, что примерно в 10 раз превышает совр, внергегич.
потребление человечества Примерно половина энергии солнечного излучения Ь п иходится на видимую область спектра (длина волны Х от до 700 нм), к-рая попользуется ди Ф. (физиологически жтивнап радиация, или ФАР). ЙК излучение не пригодно ви Ф. кислородвыделяющих организмов (высших растений и водорослей), но используется нек-рыми фотосинтезирующими бжтериями. В связи с теы, что )тлеводы составляют осн.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
