Н.С. Зефиров - Химическая энциклопедия, том 5 (1110092), страница 111
Текст из файла (страница 111)
взрывная 0втя получения рисунка на пленках металла) и инверсионная (для получения профюгя изображения с отрицат, наклоном стенок). В первом случае рисунок получается путем напылениа слоя металла на пластину с проявленным фоторезистом, а при снятии фоторезиста удаляют часгь мегаллнч. слоя, осевшего на маску во втором — на позитивном фоторезисте получают негативный рисунок. Осн. требованиа к Фх высокая рюрешаиипая способность, минимально привносимаа дефектность и большая производительность, к-рые определаются обычно св-вами фоторюнстов, параметрами фотолнтографнч. оборудования и чистотой технол.
помещений. Вместе с др. андами микропнтографии — злектроно-, рентгена- и ионолнтографией (соотв. экспонирование потоком электронов, ренпеновсхими лучами и ионами легких элементов) — Ф. юиыется одним нз методов инаиарной технологии к применяется для изготовления интегральных микросхем, печатных плат, запоминающих устройств, высокочастотных приборов и др. Линос М о р о К, Минроипотрн)ин, иер, с оатн., М., 1990. Сн. тонио ннт. ири ст. Гхеанарнаю иееноеоеое.
ГК. Сенненесо. ФОТОМКТРй1ЧЕСКИЙ АНАЛИЗ (ФА), совокупность меттщов мол.-абсорбционного спектрального анализа, основанных на нзбират. поглощении алектромагн. излучения в видимой, ИК и УФ областях молекулами определяемого хомпонента или его соед. с подходящим реагентом. Концентрацию определяемого компонента устанавливают по зжону Бугера— Ламберта — Бера (см.
Абсорбциоюиги теюлрасхопил). ФА включает визуальную фотометрию (см. Каларииеюринесхий анализ), слнюкроеропюлееюрюа и фотоколорнметрню, Последняя отличается от спектрофотометрии тем, что поглощение света измерают гл. обр. в видимой области спектра, ре:ке — в ближних УФ и ИК областях (т.
е. в интервале ддин волн от -315 до -980 нм), а также тем, что для вьщтлення нужного учжтка спектра (шириной 10-100 нм) используют не монохроматоры, а узкополосные светофильтры. Приборами лля фотоколорнметрии служат фотозлектроколориметры (ФЭК), характеризующиеся простотой оптич. и злекгрич. схем. Болыпинсгво ФЭК имеет набор из 10 — 15 светофильтров и предсгаютяет собой двухлучевые приборы, в х-рых пучок света от источника изп)чекки (лампа нахалнванив, редко ртутная лампа) проходит через светофильтр н делитель светового потоха (обычно призму), х-рый делит пучок на два, направляемые через юоветы с исследуемым р-роы и с р-ром сравнениа. После кювет параллельные световые пучки проходят через калиброванные ослабнттли (диафрагмы), предназначенные для уравнивания интенсивностей световых потоков, и попадают на два приемника излучения (фотоэлементы), подключенные по дифференциальной схеме к нуль-индикатору (гальванометр, индикаторная лампа).
Недостаток приборов — отсутствие монохроматора, что приводит к потере селектнвности измерений; досгоинсгва— простота конструкции и высокая чувствительность благодаря большой светосиле. Измеряемый диапазон оптич, плотности 334 17г фОтОМжп'ия составляет приблизительно 0,05-3,0, что позволяет определять мн. элементы и их саед. в широком интервале содержаний — от -10 б до 50% по мессе. Для дополнит. повышения чувствительности и сглективносун определений существенное значение имеют подбор реагентов, образующих интенсивно охрашенные комплексные саед, с опрщслиемыми в-ввми, выбор состава р-ров и условий измерений.
Погрешности определения составляют ох. 5%. При т. низ. дифференциильном ФА онгич. плотность анализируемого р-ра измеряют относительно опгич. плотности (к-Рэя не должна быть меньше 0,43) р-ра сравнения. Последнии содержит опредсляемый компонент в хонцензркшсн, близкой к концентрации этого компонента в анализируемом р-ре. Это позволяет определять сравнительно большие концентрации в-в с погрешностью 0,2-1% (в случае спектрофотометрии).
При фотометрич, тнтровэнии пслучвют зависимость оптич. плотности тнтруемого р-ра от объема прибэвляемого тнтриитв (хривую титровэния). По излому на этой кривой определяют хонечную точку тйтрования и, следовательно, концентрацию исследуемого компонента в р-ре (см. Титрипетрия). Ийогдв ФА понимэют более широко, кж совокупность методов качеств, и количеств. анализа по интенсивности ИК, видимого и УФ излучения, ввпсчэюшую атомно-эбсорбционный анализ, фотометрию племени, турбидиметризо, нефелометрию, люминесцентный анализ, спектроскопию отражения и мол.-эбсорбционный спехтрильный анапе.
Лоаз Моросило 3., 61олспшрюппос опусдсаиис юспсипи, пср. о польск, М., 1971; БузстозМИ., КзлиикипНН, Праспшсскосруюзодогзо по фоьокслорпысфюппзю п спскгробзпоысзрвзсшип позлим юслюз, 4 юд., Л., 1976; Психоза ВМ., ГроыоззМЯ.,Мспмызбсорбдисииой спскзр пкопки з пшзиписской лзпюк М., 1976. З.Д Гсысрск ФОТОМЕТРЙЯ ПЛАМЕНИ ЭМИССИОННАЯ (пламенная фотометрия), оппсч.
метод количеств. элементного внилиэа по атомным спектрам испусхдния. Для получения спектров анализируемое в-во переводят в атомный пэр в пламени. Об абсорбционной Ф. п. (по атомным спектрам поглощении) см. Атомна-абсарбцианный анализ; о флуоресцентной — Атанио-флуаресценнтый анализ. Термичесви Ф.п; разновидность итомнОГО эмиссионного слеюпральнала анализа.
В этом методе эиализируемый р-р в виде аэрозоля вводвт в папи горючеи смеси волзУха ипи ~10 с Углеволсролэыи (пропиноы бУга" ном, ацетиленом), При этом р-р«тель и соли спрешзшемых мс галлов испэрюотся и диссоциируют на сноб. атоыы, Атоыы металлов н обрпэовжшисся в ряде случаев молекулы их Оксидов и пырохснпов воэбулшиются и изпучвют сжтовую энерпяо. Из всего спектра испусхвния выдшиюг хвржтерную дпя спредваемого элеыенга аналит. линюо (с помощью светофильтра нпи монохро.
матора) и фогозлектрнчески измеряют ее ингыюишкхть, к-рю служит мерой концентрации данною элеменга Метсц применяют для определения щелочных, щел;эем., а также нек-рых др. Метвллов, напр. Ов, 1п, Т1, РЬ, Мп. Пределы обнаружения щелочных металлов состаюиют 0,1-0,001 ыхгумл, остальных — 0,1 — 5 мхгlмл; относит. стандартное отклонение 0,02-0,04. Помехи в методе Ф. п. связаны гл. обр, с нцрушением поступления элемента в пласт вследствие образования труднолетучих соед. (напр., интенсивность излучения Си снижается в присуг. Н,РО4 и солей А1) и смещением равновесия ионизации металлов в пламени (напр., нсзученне К усиливзется в присуг. РЬ и Сз).
Помехи устраняют выбором подходящих р-ров сравнения, буферных р-ров, добавлением спец. Режтивов, препятствующих обризовинию труднолетучих соединений и др. Лпк: ПолуоктозНО.,Мспшыюзлззапофопюсзрпипаююп,2пш., М., 1967; Пс тор с Д., Х ой с с Дп., Х пфтьс Г., Хюишсскос рсззсшюы и юпсрсипс, пор.
с сиш., лп. 1-2, М., 1978. Ос. Токио зит. при от. Оюслрспооб озсаа. ФОТОННО.НЕЙТРОННЫЙ АНАЛИЗ, основан на измерении интенсивности нейтронного излучения, шиниквющего в результате ядерной р-пии при юиимод. 7-излучения внеш. источники с ядрами атомов внял изируемых элементов. Ни лпрэх Ве и 1) такая р-ция осуществи ется при энерпшх )ьвинтов соотв. 1,7 и 2,2 МэВ, гго позволяет использовать рдпионуклидные источники (напр., '24ЗЬ, мЫа); дуы др. элементов требуются потоки 7-квэнгов с энерпыми более б — 7 МэВ, получаемые 335 с помощью ускорителей заряженных частиц (бетатроны н др,).
Содержание элемегпа в пробе находит сравнением с содержвнием его в эталонном образце. Посредством Ф.-н. а. определяют лоха только Ве и Вц предел обйаружения их в пробах массой 100-150 г соствышет аютв. 10 ' и 1О 2% при жтивности источника (70 — 190) 10 Бк и длительности измерений 2 — 10 мин. Лыз.: Якубозиолл., Зсйцсздзь, Пркилзгозскийцм., Яд ри с(зпю ки .д юп рпцз и род,з д.,м., швх ФОТООКИСЛЕНИЕ, окислительно-восстановит. фаталпмипесаэл реакция. Суть Ф. составляет перенос электрона ст возбужденной молекулы донора О к невозбужденной молекуле лкцептора А. Ф. состоит из песк. стадий и начинается с по. пющения донором квантов света йо (Ь вЂ” постояннвя Плинке, т — частота), к-рос приводит к переходу электрона с высшей эвнятой мол, орбитапи (ВЗМО) на низшую свободную мол. орбнтэль (НСМО) и обршооанию возбу:кденных частиц П'. В присут.
невозбужденных молекул А электрон переходит с НСМО донора П' нв НСМО жцептора А. В результате происходит окисление донора П, энергетически невозможное дпв обычного термич. (темпового) переноса электрона с ВЗМО донора ни ЙСМО жцептора. При переносе электрона между 1)' и А образуются рэдикапьные продукты Оы (1У) в том случае, если в качестве донора выступает нейтрвпьния молекула Ту или аннан П:, либо продукты нердпикэльной природы П(0'), если донором электрона пишется инион-радикал 0' или нейтральный рдднхил ~. Соотв. Рэдикильные или нерадихипьные прсдухты образуются из жцепторв (подробнее см.
Фаталеренас здеюирана). Изменение энерпси Гиббса АО при Ф. выражается соотношением АСш)р — Ес-АЕ или АбшЮЙ-йш — АЕ, где 1— потенциал ионйэации )3; Е, — сродство к электрону А; АЙ— энерпзи кванта света йо; Ь',а и Д$ — потенциалы полуводны соотв. полярографич. окисления О и шкствновления А.
Условие протекания Ф; выполнение нерыюнсгва ДО<0. Скорость Ф. зависит от рида параметров, опредеипощих в первую очередь АО р-ции (Еш партнеров, энерпи возб59хдсния О, собств. потенц. бврьер Р.ции, заряды и рдпиусы О и А и др.). Константа скорости й г близка к значению константы скорости диффузии в диффузионной области протекания (см. Реакции и растеарах). Промежут. стадии можно обьелинить след. схемой (для жидких р-ров): 1 2 3 По+ А и — [)зс'' 'А1 ь — [П .. 'А 1~~ Пы+ А П + А ~о [П ...
А~ весь 1 означает комплехс, образуемый в результате встреч О" и А; 2 — ион-радикальную пару — продукт переноса электрона в комплексе 1; 3 — ион-рзднкапы, вышедшие в обьем р-ра из клетки, образуемой молекулэмн р-рителями для раднквльной пары. Если Ф. протекает с участием орг. Молекул донора, то Р вступает в р-цию в возбужденном синглегном или тришгетном состоянии.
Дга достижения мике. выхода продуктов р-ции между Пы и А', протекающей через триплетное состояние 13', требуемая концентраци А обычно на неся. порядков менъше, чем в случае р-ции, протекиощей через синглетное возбужденное состояние, что яюиегся следствием сущесшенного различия (на песк. порядков) во временил жизни триплетных и синглетных возбужденных ссстояний. С диссоциацией пиры конкурирует геминэльюи рекомбинации с образованием пары исходных (не возбужденных) реагентов )З...А, вероятность этого процесса зависит, в частности, от мультиплетности состояний 1) ...А' и О...А.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
