Список публикаций оппонента Вяткина А.Ф. (1091315)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Список избранных публикаций Вяткина А.Ф., имеющих отношение ктеме рецензируемой диссертации Милованова Романа Александровичана тему «Технологические основы и методики послойного травлениякристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основемеди».1. Вяткин А.Ф., Зиненко В.И.

Диагностика отказов интегральных микросхемс использованием физического ионного распыления // ПТЭ, 2011, №2,132.2. Вяткин А.Ф., Зиненко В.И., Ильин А.И., Трофимов О.В. Планаризацияпространственно неоднородных структур с использованием физическогоионного распыления // Поверхность, 2011, №12, 1.3. Vyatkin A.F., Zinenko V.I. Physical ion sputtering at glancing angles as anovel IC de-processing technique // AIP Conference Proceedings 1321, p.

329332..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации