Отзыв на автореферат Рахимов (1091303)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв на автореферат диссертационной работы Р.А. Милованова на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» по теме: «Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди» Диссертационная работа Р.А. Милованова посвящена исследованию технологических основ и разработке методик послойного травления кристаллов интегральных схем (ИС) с системой межсоединений на основе меди для повышения процента выхода годных в производстве ИС и при разработке новых ИС.

Актуальность работы заключается в необходимости выполнения послойного препарирования кристаллов ИС на этапе их анализа отказов, в то время как для кристаллов с системой межсоединений на основе меди серьезные исследования отсутствуют. Для достижения поставленной в работе цели были решены следующие основные задачи: -обобщены структурные особенности топологических слоев кристаллов с системой межсоединений на основе меди; - проанализированы существующие методы послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединеннй на основе алюминия; - исследованы процессы селективного к диффузионно-барьерному слою (ДБС) жидкостного травления (ЖТ) медных проводников системы межсоединений кристаллов, проанализированы их особенности и разработаны соответствующие методики; - исследованы процессы селективного к ДБС вакуумно-плазменного травления (ВПТ) медных проводников системы межсоединений кристаллов, проанализированы их особенности и разработаны соответствующие методики; - усовершенствована технология послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди за счет включения в состав методик селективного к ДБС травления медных проводников; -проведена апробация разработанных методик послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди.

В работе получен ряд новых научных результатов: - впервые показано, что при жидкостном травлении меди, применение аммиачного комплекса двухвалентной меди (П), выступающего одновременно окислителем и комплексообразователем одновалентной меди (1), позволяет селективно к ДБС из тантала удалять медные проводники системы межсоединений кристаллов ИС; - установлено„что при жидкостном травлении меди в смеси соляной кислоты и перекиси водорода увеличение концентрации Н О до 1;4 приводит к протеканию процесса травления через две стадии: образования нерастворимой пленки монохлорида меди на поверхности и последующим доокислением СиС! до растворимого СиС1~, что позволяет равномерно и селективно к ДБС удалять медные проводники системы межсоединений кристаллов ИС; - впервые продемонстрирована возможность селективного к 1оь-1 диэлектрику типа ЯОСН ВПТ медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС при температуре образца 280'С за счет термодесорбцин галогенидов меди при понижении давления в реакторе до -0,25 Па и применении плазмообразующего газа НВг; - впервые продемонстрирована возможность селективного к ДБС ВПТ медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС при температуре образца 280'С за счет термодесорбции галогенидов меди при понижении давления в реакторе до -0,25 Па и применении плазмообразующего газа ВС1з, - впервые показана возможность снижения температуры селективного к ДБС ВПТ медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС в смеси ВС1з/Аг до 100'С за счет увеличения физической компоненты процесса в результате добавки к плазмообразующему газу аргона; - показана потенциальная возможность понижения температуры селективного к ДБС удаления медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС до -20'С за счет использования циклического процесса, включающего этапы ВПТ и ЖТ.

Результаты исследований могут быть использованы для анализа отказов кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди с целью повышения процента выхода годных, а также при исследовании зарубежных ИС. Результаты работы опубликованы в научных журналах, включенных в список ВАК, и прошли апробацию на международных научных конференциях. На основании автореферата и опубликованных работ диссертанта, а также по актуальности и новизне полученных результатов, их прикладной значимости и объему проведенных исследований можно заключить, что работа удовлетворяет требованиям, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а ее автор Р.А. Милованов заслуживает присвоения ученой степени кандидата технических наук по специальности «Технология и оборудование, для производства полупроводников, материалов и приборов электро~ной техники».

/ l' Доктор физ.-мат. наук, профессор,;,, ' ~,' А. 1'.Рахимов / Подпись А.Т.Рахимова заверяю.,',' ~;:;.,";:..::,.; -;,~ у .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации