Отзыв на автореферат Бумагин (1091301)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ОТЗЫВ на автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук Милованова Рома>и Александровича ><Технологические основы и ме.ьоднки пос>!ойноь.о тр»вс!енин криста;)лов ннгегральнык схем с системой межеоединений 1>а основе меди» Диссертационная работа Ми:н)ванова РЛ. посвя>цена технологическим основам и Мстоднхак! ПОС;Н>йНОГО ПрснарнрОВапня Крне>ссщоа И>ПС!раЛЬНЫХ СХЕМ !ИС1, В КОТОРЫХ В качестве материала межсосдинсний используется мель. Клн)чевым момен!ом работы являе!ся формулирование мс!Опик сесшкзнв>нно по о!!!Ошения к диффузно-барьерным слоям !ДВС ! на основе тантала !равления медных проводников, Представленная работа ЯВЛЯС >СЯ ВажНЫМ.

ИКТсн1ЛЬНЫМ И СВОСВ!РЕМ!Л!НЫМ ИСС!!СДОВЯНИСМ. Для селективного травления мели по огношению к ДЬС в работе впервые предложено использовать метод жидкостного травления 1Ж!') раствором на основе аммиачного комплекса двухвалентной меди. и вакуумно-плазменно!.о травления 1ВГГГ> при различных температурах с вары!роваписм химических и физических характеристик процесса. а >акже сочезанис мс)О,>ои Ж! и ИП.

Па основе данных методик было пред:южено проведение циклических процессов. вклк)чающих т>апы ВПТ и ЖТ. позволяющих проводить удаление медных проводников селективно к ДБС даже при комнатной температуре, 'г>0 сущссзвснно умецьщасз требования к необходимому лля послойного травлсиия крис>а)шов оборулованшо. В 1х1мках нролслан>юй ра>)0 ! ы были выЯ>шены зна'>и!е:>ьные нв достатки стществм>о>цих моголов у,'1а:!спин мсжсо!.дипспий на Основе мсдп, такие неравномерность травления. не!юс>ояпшво скорости процесса травления и адсорбция галшенпдов мели на поверхнос!и крис>ал.юв ИС. Пок!Тзана возможность устранения дшщых недоста>ков за счет и !Ящнси!я сос>ав» травящсго раствора.

оптимизации процессов В1П н увеличения физической сосшвляюп>сй процессов ИГГ. Судя по автореферату. ко:шчес >ну и содержанию публикаций. соискателем ш,щолнсн очень большой объем >ксперимснтальной работы. Важно отмет>г!ь, что в 1!в!Орсфсра>с четко изложень! Ис >олька обпщя цель работы, по и досп!!опю подробно оооснованы все )тапы прове,!снн>,!х )кспсримщпов. Выводы рао01ы с!1>орк!>з>нрованы четко.

лО!'И~ни) и нс в!я'пиван)!' >д)м>щннй. Оиуоликовш!Иьье по т>.мс лисс> рташ!и р>>боты до!."111>оч1ю по:1но Озральа>от !.с сс>,.!Ср)канис. По рабо>е имеется следующие !амсчания: Ведчций научный сотрудник Химического факультета М! «У гя /,." ' 4.-ф~~ „~ 'Г 1!.А. Ьумгнпн им. М33. !!Омоносова. длин,. профессор е-!зза!1: Ь~п)й 1!й1'ОГис11свиз18!,ГИ тел. 8 (495) 939-13-83 1.

Не совсем понятно, почему авгор экстрагГолирует применив!ость разработанных на примере кристаллов с топо!ни ическими нормами 90 и б5 нм методик травления меди на кристгьзг!ь! с меиыпими тоиоло! нческнми нормами, вплоть до 22 нм. Не проведена чис!1енная оценка с!".ЛекГивности к ДБС раз)эаооганных методик травления проводников кристтепов ИС' с системой межсоединений на основе меди.

Указанныс недостатки не влия101 на 015нпмк! Но:!Ожигельнук1 ОНСН1су диссерта!!Ии. Работа по новизне. акту!Кп ности и обьсму соответствует требованиям ВА82 иредьявляемым к кандидатским диссертациям. а ее автор. Милованов Роман Александрович. заслуживает присуждения степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 «'1'ехнология и Оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов злек1.роииой !Схнпки». .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации