Отзыв оппонента Гасников (1091307)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

отзыв официального оппонента на диссертационную работу Милованова Романа Александровича по теме: «Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди», представленную на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» Актуальность работы Современные интегральные схемы (ИС) представляют собой сложные многослойные гетерогенные наноразмерные системы, в которых межслойная коммутация во многом определяет важнейший параметр — быстродействие. В настоящее время в производстве ИС неуклонно растет доля кристаллов с системой межсоединенний на основе меди.

В связи с этим возникает необходимость разработки методов их препарирования применительно к решению задач постановки на производство новых изделий, анализа отказов и реинжиниринга ИС зарубежного производства. Все это определяет несомненную актуальность темы диссертации, тем более что в отечественной литературе данные о таких комплексных фактически исследованиях, применительно к медной металл изации, отсутствуют, Наиболее значимые научные результаты диссертационной работы Исходя из поставленной цели — разработка методик послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди— в качестве наиболее значимых научных результатов можно выделить: 1.

Научно обоснованное эффективное технологическое решение по использованию аммиачного комплекса двухвалентной меди в качестве активного компонента жидкостного травителя, обеспечивающего минимизацию участия сильных окислителей в составе травящего агента. 2. Разработку методик жидкостного и сухого препарирования, обеспечивающих селективность травления медной коммутации по отношению к диффузионно-барьерному слою тантала. 3. Разработку методического подхода, обеспечивающего селективное препарирование медных межсоединений при комнатной температуре за счет циклического процесса, сочетающего жидкостное и сухое травление.

К наиболее значимым практическим результатам следует отнести; 1. Комплекс экспериментально обоснованных технологических методик жидкостного и сухого травления систем медной коммутации в условиях анализа ИС с достаточно высокой степенью интеграции. 2. Построение н реализацию алгоритма послойного препарирования сложных ИС программируемой логики фирмы «Х11шх» с системой комбинированной коммутации. 3.

Формирование технологической линейки с системой методического обеспечения, позволяющей целенаправленно реализовывать процессы препарирования ИС с медной токоразводкой. Достоверность результатов диссертационной работы, подтверждается следующими положениями: 1. Исследования носят комплексный характер. Они выполнены с использованием современной технологической и аналитической базы и направлены на разработку современных методов препарирования. Результаты научно обоснованы. 2. Экспериментальные исследования выполнены на реальных объектах, уровень исполнения которых соответствует уровню современной электронной компонентной базы. 3. Работа апробирована на российских и международных конференциях.

Замечания по материалам диссертационной работы: 1. Многообразие разрабатываемых методик жидкостного и сухого (плазменного) травления не позволяют автору детализировать и достаточно полно обосновать определенные технологические шаги, направленные на достижение конечного результата ~в первую очередь это касается механизмов плазменного травления). 2. При изложении основной экспериментальной части работы не всегда ясно, что является оригинальным в реализуемых методиках, тем более что в диссертации отсутствует информация о патентах или положительных решениях на объекты интеллектуальной собственности.

3. Требует разъяснений факт получения всех экспериментальных результатов по препарированию медной токоразводки, полученных на образцах ПЛИС лишь одной фирмы «Х111пх», что ограничивает возможность непосредственного использования созданного методического обеспечения, исходя из известных особенностей конструкторско-технологической реализации функционально идентичных изделий различными фирмами. 4, Остается не ясным, почему при изложении текста диссертации не использованы все ссылки на работы с участием диссертанта, которые представлены в реферате.

Эти замечания не снижают общего положительного впечатления от диссертации, которая может быть охарактеризована как первое в отечественной практике целостное научное исследование, вносящее существенный вклад в развитие технологий препарирования ИС с системой коммутации на основе меди. Работа выполнена на высоком научно - техническом уровне с использованием современной аналитико-технологической базы и имеет ярко выраженное прикладное значение, связанное с решением задач разработки нового поколения ИС, анализа их надежности и отказов, а также исследования зарубежных схем аналогов. Общие выводы Научный сотрудник 1-1ОЦ «Нанотехнологии» Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» им. В.

И,Ульянова (Ленина), канд. техн. наук. 197376, Санкт-Петербург, ул. Проф, Попова 5, тел.: 8-931-291-92-94 е-пта11: стЫ®11з1хп Гасников А.О. На основании вышеизложенного считаю, что диссертационная работа Милованова Р. А. соответствует требованиям пункта 9 Постановления Правительства РФ от 24 сентября 2013 г. М 842 «О порядке присуждения ученых степеней», а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук.

.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации