Заключение диссертационного Совета (1091297)
Текст из файла
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.131.02 НА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО БЮДЖЕТНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «МОСКОВСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (МИРЭА) МИНОБРНАУКИ РОССИИ ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУК
аттестационное дело № __________________
решение диссертационного совета от 17.03.2016 № 53
О присуждении Милованову Роману Александровичу ученой степени кандидата технических наук.
Диссертация «Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди» в виде рукописи
по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники выполнена в УНО «Электроника» МТУ (МИРЭА)
принята к защите «12» января 2016 года, протокол № 50 диссертационным советом Д 212.131.02 на базе федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «Московский технологический университет» (МИРЭА), Минобрнауки РФ, Москва, 119454, проспект Вернадского, 78. Состав диссертационного совета утвержден в количестве 29 человек 11.04.2012(№105/нк) с учетом внесенных изменений (приказ от 22.08.2012 №579/нк и приказ от 10.07.2015 № 770/нк). Соискатель Милованов Роман Александрович, 1980 года рождения, гражданин Российской Федерации, работающий в должности заместителя директора в УНО «Электроника» МТУ (МИРЭА).
В 2002 году соискатель окончил «Военный авиационный технический университет».
Диссертация выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего образования «Московский технологический университет» (МИРЭА).
Научный руководитель – Лукичев Владимир Федорович, член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук, профессор кафедры наноэлектроники, «Московский технологический университет» (МИРЭА).
Официальные оппоненты:
-
Вяткин Анатолий Федорович, гражданин РФ, доктор физико-математических наук, профессор, заместитель директора по научной работе Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.
-
Гасников Алексей Олегович, гражданин РФ, кандидат технических наук, научный сотрудник Научно-образовательного центра «Нанотехнологии» Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова.
дали положительные отзывы на диссертацию.
Ведущая организация Научно-производственное предприятие «Пульсар», Москва в своем положительном заключении, подписанным Каевицер Екатериной Владиленовной, кандидатом физико-математических наук, ученым секретарем ОАО «НПП «Пульсар» указала, что диссертация является научно-квалификационной работой и полностью соответствует требованиям ВАК Минобрнауки РФ, а ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук.
В обсуждении диссертационной работы приняли участие: профессора д.т.н. Воротилов К.А, д.ф.-м.н. Мишина Е.Д., д.т.н. Щука А.А., д.х.н. Евдокимов А.А., д.ф.-м.н. Покатилов В.С., д.ф.-м.н. Сигов А.С.
Соискатель имеет 12 опубликованных работ, из них по теме диссертации опубликовано 12 научных работ, в том числе 8 статей в научных журналах и изданиях, которые включены в перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для опубликования основных научных результатов диссертаций.
Соискателем опубликованы 5 работ в материалах всероссийских и международных конференций.
Наиболее значимые научные работы по теме диссертации:
1. Милованов Р.А., Буробин В.А., Щука А.А. Роль послойного препарирования кристаллов в анализе отказов современных интегральных схем // Наукоемкие технологии. 2013. Т. 14. № 11. С. 45-49.
2. Милованов Р.А., Кельм Е.А., Косичкин О.А, Ляпунов Н.А. Селективное травление меди в технологии анализа отказов ИМС с проводниками на основе меди // Нано- и микросистемная техника. 2013. №11(160). С. 30-32..
3. Милованов Р.А., Абдуллаев Д.А., Зайцев А.А., Кельм Е.А. Ионно-лучевое травление как промежуточная стадия при удалении пассивирующих слоев микросхем в рамках технологии анализа отказов // Нано- и микросистемная техника. 2013. №11(160). С. 35-39.
4. Милованов Р.А., Зубов Д.Н., Кельм Е.А., Молодцова Г.В. Электрохимическое восстановление поврежденных контактных площадок кристаллов при анализе отказов современных интегральных схем // Нано- и микросистемная техника. 2014. №5(166). С. 38-40.
5. Милованов Р.А., Молодцова Г.В., Зубов Д.Н., Кельм Е.А. Подходы к разделению кристаллов стековых сборок при анализе отказов многокристальных интегральных схем // Нано- и микросистемная техника. 2014. №7(168). С. 22-24.
6. Милованов Р.А., Ганзий Д.А., Зубов Д.Н., Кельм Е.А., Ляпунов Н.А., Молодцова Г.В., Янул М.Л. Определение состояния ячеек энергонезависимой памяти с плавающим затвором при помощи сканирующей зондовой микроскопии // Интеграл. 2012. №3(65). С. 4-7.
7. Милованов Р.А., Кельм Е.А.. Структура ячеек энергонезависимой памяти типа EEPROM и FLASH // Нано- и микросистемная техника, новые технологии, 2015. №4. С. 45-59.
8. Милованов Р.А., Ерофеева Е.В.. Современные и перспективные ионные источники для систем с фокусированным ионным пучком // Нано- и микросистемная техника, 2015. №11. С. 20-39.
На диссертацию и автореферат поступило 6 отзывов
1 От Шешина Е.П., заместителя заведующего кафедрой вакуумной электроники МФТИ, профессора, доктора физико-математических наук, — отзыв положительный, замечаний нет.
2 От Путря М.Г., декана факультета электроники и компьютерных технологий НИУ "МИЭТ", профессора, доктора технических наук — отзыв положительный, имеется вопрос, касающийся возможности использования разработанных методик для послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди, выполненных по отличным от кристалла ПЛИС Virtex-4 фирмы Xilinx технологическим нормам.
3 От Бумагина Н.А., доктора химических наук, профессора, ведущего научного сотрудника Химического факультета МГУ им. М.В. Ломоносова — отзыв положительный, имеются следующие замечания:
1. Не совсем понятно на каком основании автор экстраполирует применимость разработанных на примере кристаллов с топологическими нормами 90 и 65 нм методик травления меди на кристаллы выполненные с меньшими топологическими нормами, вплоть до 22 нм.
2. Не проведена численная оценка селективности к ДБС разработанных методик травления проводников кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди.
4 От Рахимова А.Т., доктора физико-математических наук, профессора НИИЯФ МГУ им. М.В. Ломоносова — отзыв положительный.
5 От Афанасьева М.С., кандидата технических наук, доцента, старшего научного сотрудника ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН — отзыв положительный, имеются следующие замечания:
-
Отсутствие в автореферате статистического анализа исследованных образцов кристаллов.
-
Отсутствие в атореферате результатов по предоставлению разброса полученных данных.
6 От Павлова А.Ю., кандидата технических наук, заведующего лабораторией ИСВЧПЭ РАН — отзыв положительный, -в автореферате не приведены данные о селективности травления меди к внутрислойному или межслойному диэлектрику, а также не указан состав диэлектриков.
Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обосновывается тем, что они являются одними из ведущих специалистов в данной области.
Диссертационный совет отмечает, что в результате выполненных соискателем исследований:
1. Показано, что при жидкостном травлении меди, применение аммиачного комплекса двухвалентной меди (II), выступающего одновременно окислителем и комплексообразователем одновалентной меди (I), позволяет селективно к ДБС из тантала удалять медные проводники системы межсоединений кристаллов ИС.
2. Установлено, что при жидкостном травлении меди в смеси соляной кислоты и перекиси водорода увеличение концентрации H2O2 до 1% приводит к протеканию процесса травления через две стадии: образования нерастворимой пленки монохлорида меди на поверхности и последующим доокислением CuCl до растворимого CuCl2, что позволяет равномерно и селективно к ДБС удалять медные проводники системы межсоединений кристаллов ИС.
3. Продемонстрирована возможность селективного к low-k диэлектрику типа SiOCH ВПТ медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС при температуре образца 280°С за счет термодесорбции галогенидов меди при понижении давления в реакторе до ~0,25 Па и применении плазмообразующего газа HBr.
4. Продемонстрирована возможность селективного к ДБС ВПТ медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС при температуре образца 280°С за счет термодесорбции галогенидов меди при понижении давления в реакторе до ~0,25 Па и применении плазмообразующего газа BCl3.
5. Показана возможность снижения температуры селективного к ДБС ВПТ медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС в смеси BCl3/Ar до 100°С за счет увеличения физической компоненты процесса в результате добавки к плазмообразующему газу аргона.
6. Показана потенциальная возможность понижения температуры селективного к ДБС удаления медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС до ~20°С за счет использования циклического процесса, включающего этапы ВПТ и ЖТ.
Теоретическая значимость исследования:
Экспериментальные данные, полученные в работе, объяснены с использованием известных теоретических методов и положений.
Значение полученных соискателем результатов исследования для практики подтверждается тем, что:
-
разработанные в ходе работы методики жидкостного и вакуумно-плазменного травления меди обеспечивают выполнение послойного травления кристаллов с системой межсоединений на основе меди, выполненных с топологическими нормами до 22 нм, с целью повышения процента выхода годных и при разработке новых ИС;
-
разработанная методика циклического травления меди (комбинация ВПТ и ЖТ) обеспечивает выполнение послойного травления кристаллов с системой межсоединений на основе меди при комнатной температуре, что снижает требования к используемому оборудованию;
-
полученные в ходе работы материалы используются в учебном процессе МИРЭА в трех программах и учебных курсах, о чём имеется подтверждающий акт.
-
созданный в ходе работы комплекс методик ЖТ и ВПТ меди успешно внедрен на государственном заводе "Пульсар", о чём имеется подтверждающий акт.
Другие научные достижения, свидетельствующие о научной новизне и значимости полученных результатов:
Полученные в диссертационной работе результаты могут использоваться для повышения процента выхода годных при производстве кристаллов и при разработке новых кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди.
Оценка достоверности результатов исследования выявила:
что полученные результаты характеризуются хорошей воспроизводимостью, они не противоречат современным теоретическим представлениям, соответствуют известным литературным данным;
что результаты диссертации неоднократно апробированы на конференциях;
что результаты, полученные в диссертационной работе, подтверждаются более поздними экспериментальными исследованиями;
Все вышеперечисленное в совокупности свидетельствует о достоверности полученных результатов и сделанных на их основании выводов.
Автором лично были выполнены все теоретические и экспериментальные исследования: анализ методов послойного травления кристаллов с системой межсоединений на основе алюминия; анализ подходов и методов травления меди; экспериментальные исследования по ЖТ и ВПТ медных проводников, включающие подготовку образцов к исследованиям, травление, РЭМ и ЛРСА анализ образцов, выполнение вертикальных сечений; апробация разработанных методик. Постановка задач и анализ полученных результатов проведены совместно с руководителем. Автор участвовал в подготовке материалов к публикации и лично представлял результаты исследований на конференциях.
Диссертация охватывает основные вопросы поставленной научной задачи и соответствует критерию внутреннего единства, что подтверждается наличием последовательного плана исследования и непротиворечивой методологической платформы, концептуальностью и взаимосвязью выводов.
На заседании 17.03.2016 диссертационный совет принял решение присудить Милованову Роману Александровичу ученую степень кандидата технических наук.
При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 22 человек, из них 5 докторов наук по специальности диссертации, участвовавших в заседании, из 29 человек, входящих в состав совета,
проголосовали: за присуждение учёной степени - 22, против присуждения учёной степени нет, недействительных бюллетеней нет.
Председатель
диссертационного совета А.С. Сигов
Ученый секретарь
диссертационного совета А.Н. Юрасов
17.03.2016
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
