Отзыв на автореферат Афанасьев (1091300)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Отзыв на автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, выполненной Миловановым Романом Александровичем по специальности 05.27.06— Технологии и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» на тему: «Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди» Диссертация Милованова Романа Александровича посвящена решению очень важной задачи, связанной с технологией производства интегральных схем (ИС) с системой межсоединений на основе меди. Актуальность работы не вызывает сомнения, в связи с тем, что в настоящее время медь является одним из основных материалов применяемых в производстве ИС с высокой степенью интеграции, В России на сегодняшний день данная технология только начинает активно внедряться и является в стадии разработки.

Качество межсоединений сильно влияет на выход годных ИС и поэтому системный анализ на этапе отработки технологии производства, несомненно, необходим и актуален. Работа состоит из 4-х глав, в которых последовательно рассматриваются современные методы исследования материалов применяемых в производстве ИС. В первой главе проводится анализ литературных источников посвященных данной проблеме. Показано, что в настоящее время используются комбинации методов вакуумноплазменного травления (ВПТ), жидкостного травления (ЖТ) и микрошлифования.

Рассмотрены особенности системы межсоединений на основе меди, влияющие на методологию послойного препарирования кристалла. Вторая глава посвящена экспериментальным исследованиям по селективному удалению медных проводников системы межсоединений ИС методом ЖТ. Отработана процедура подготовки образцов к исследованиям, включающая обеспечение доступа к кристаллу (извлечение кристалла из корпуса) и обеспечение доступа к медным проводникам (удаление верхних топологических слоев).

Показано. что наиболее подходящими методами жидкостного травления медных проводников ИС являются традиционные методы на основе использования аммиачного комплекса двухвалентной меди н смеси соляной кислоты с перекисью водорода. В третьей главе приведено описание экспериментальных исследований по селективному удалению медных проводников системы межсоединений ИС методом ВПТ. Описаны экспериментальные исследования по двум основным направлениям: высокотемпературные методы (основанные на термодесорбции галогенидов меди) и низкотемпературные (основанные на фотодесорбции галогенидов меди, усилении физической компоненты ВПТ и циклических процессах), Бьши подобраны параметры оптимального селективного ВПТ медных проводников.

В четвертой главе обсуждаются результаты синтеза метода послойного препарирования кристаллов современных ИС с системой межсоедннений на основе меди, .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации