Отзыв научного руководителя (1091305)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ОТЗЫВ Научного руководителя на диссертацию Милованова Романа Александровича на тему: Технологические основы и метр ики послойного авления к исталлов инте альных схем с системой межсое инений на основе ме и по специальности 05.27.06- Технология и обо у рвание ля п оизво ства пол и ово ников мате наловил ибо овэлект риной техники на соискание ученой степени кандидата технических наук. Научный руководитель: ВРИО директора Физико-технологического инсцФт5та РАЙ .'.

'ф д.ф.-м.н.„член-корр. РАН а Подпись Лукичева В.Ф. удостоверяю уу Ученый секретарь ФТИАН Р~Н ';,: к.т.н. Лукичев Владимир Федорович е-та11: 1пЫсЬеч й1ап.ги тел. (499) 129-5492 В.Ф. Лукичев В.А. Кальнов Милованов Р.А. начал работу в «Учебно-научном объединении «Электроника» МИРЭА (научный руководитель академик Сигов А.С.) в 2011 году. За прошедшее время им были освоены все методы исследований, связанные с выполнением темы диссертации. В частности„послойное препарирование с последующим исследованием поверхности топологических слоев интегральных микросхем (ИМС) с использованием различного типа микроскопов (оптический, растровый электронный, сканирующий зондовый и др.).

За время работы над диссертацией Милованов Р.А. зарекомендовал себя как сложившийся физик-экспериментатор, специалист высокой квалификации в области как методов диагностики наноструктур, так и в области технологий микроэлектронного производства, Он владеет методами жидкостного и плазмохимич еского травления структур из различных материалов, применения фокусированного ионного пучка (ФИП) для приготовления поперечных разрезов ИМС и др.

Его можно с полным правом характеризовать как инициативного, творческого, самостоятельного и трудолюбивого ученого, ответственно выполняющего все текущие работы, причем с высокой тщательностью и большой аккуратностью. Милованов Роман Александрович пользуется большим уважением среди коллег вследствие своих человеческих качеств и авторитетом как первоклассный экспериментатор. Считаю, что Милованов Р.А. безусловно заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б. .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации