Главная » Просмотр файлов » Отзыв на автореферат Путря

Отзыв на автореферат Путря (1091302)

Файл №1091302 Отзыв на автореферат Путря (Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди)Отзыв на автореферат Путря (1091302)2018-01-18СтудИзба
Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Отзыв на автореферат диссертации Р.А. Милованова «Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Указанная работа выполнена в области разработки методов препарирования интегральных схем (ИС). Современные ИС представляют собой многослойные структуры, производство которых включает множество разнообразных технологических этапов. Анализ отказов кристаллов ИС является одним из приоритетных направлений деятельности современных заводов-изготовителей, увеличивающих процент выхода годных изделий.

Для анализа отказов ИС с системой межсоединений на осно~~ меди в настоящий момент отсутствуют фундаментальные исследования по такому важному этапу, как послойное препарирование ИС. При послойном препарировании ИС одной из ключевых характеристик используемых процессов является селективность удаления топологических слоев. В отличие от ИС с системой межсоединений на основе алюминия, в ИС с системой межсоединений на основе меди проводники различных уровней разделены только тонким (- 10-30 нм) диффузионо-барьерным слоем (ДБС), что значительно усложняет процессы селективного травления проводников системы межсоединений кристаллов.

В своей работе, автор изучил возможности различных типов травления (жидкостное, вакуумно-плазменное и ионно-лучевое) данных слоев, выявил значительные недостатки имеющихся на данный момент методик, разработал новые методики селективного к ДБС жидкостного и вакуумно-плазменного травления медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС, а также провел оптимизацию параметров существующих методик, Огромный объем экспериментальных данных, собранный в рамках данной работы, лишний раз подтверждает актуальность и новизну данной тематики. По автореферату имеется вопрос: Возможно ли использование разработанных методик для послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди, выполненных по отличным от кристалла ПЛИС У1г~ех-4 фирмы Хйпх технологическим нормам'1 Упомянутый выше вопрос не умоляет значимость и завершенность проделанной аттестационной работы.

По самой форме и содержанию автореферата замечаний нет. Работа удовлетворяет требованиям ВАК, предъявляемым к диссертациям, н автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27,06 - технология и оборудование для производства полупроводников„материалов и приборов электронной техники. Пухрл Михаил Георгиевич Х' ф/,.-" Декан факультета Электроники и компьютерных технологий Национального исследовательского университета «МИЭТ», д.т,н, профессор. 124498, г.Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1 Тел, 8-499-710-22-53 е-гпай: рт8Фпнее,ги Подпись Путри М.Г. удостоверяю Ученый секретарь Совета ЬуЪа Ларионов Н.М .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации

Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди
Документы
Свежие статьи
Популярно сейчас
Зачем заказывать выполнение своего задания, если оно уже было выполнено много много раз? Его можно просто купить или даже скачать бесплатно на СтудИзбе. Найдите нужный учебный материал у нас!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
6384
Авторов
на СтудИзбе
308
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее