Отзыв на автореферат Путря (1091302)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Отзыв на автореферат диссертации Р.А. Милованова «Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 - технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Указанная работа выполнена в области разработки методов препарирования интегральных схем (ИС). Современные ИС представляют собой многослойные структуры, производство которых включает множество разнообразных технологических этапов. Анализ отказов кристаллов ИС является одним из приоритетных направлений деятельности современных заводов-изготовителей, увеличивающих процент выхода годных изделий.

Для анализа отказов ИС с системой межсоединений на осно~~ меди в настоящий момент отсутствуют фундаментальные исследования по такому важному этапу, как послойное препарирование ИС. При послойном препарировании ИС одной из ключевых характеристик используемых процессов является селективность удаления топологических слоев. В отличие от ИС с системой межсоединений на основе алюминия, в ИС с системой межсоединений на основе меди проводники различных уровней разделены только тонким (- 10-30 нм) диффузионо-барьерным слоем (ДБС), что значительно усложняет процессы селективного травления проводников системы межсоединений кристаллов.

В своей работе, автор изучил возможности различных типов травления (жидкостное, вакуумно-плазменное и ионно-лучевое) данных слоев, выявил значительные недостатки имеющихся на данный момент методик, разработал новые методики селективного к ДБС жидкостного и вакуумно-плазменного травления медных проводников системы межсоединений кристаллов ИС, а также провел оптимизацию параметров существующих методик, Огромный объем экспериментальных данных, собранный в рамках данной работы, лишний раз подтверждает актуальность и новизну данной тематики. По автореферату имеется вопрос: Возможно ли использование разработанных методик для послойного препарирования кристаллов ИС с системой межсоединений на основе меди, выполненных по отличным от кристалла ПЛИС У1г~ех-4 фирмы Хйпх технологическим нормам'1 Упомянутый выше вопрос не умоляет значимость и завершенность проделанной аттестационной работы.

По самой форме и содержанию автореферата замечаний нет. Работа удовлетворяет требованиям ВАК, предъявляемым к диссертациям, н автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05,27,06 - технология и оборудование для производства полупроводников„материалов и приборов электронной техники. Пухрл Михаил Георгиевич Х' ф/,.-" Декан факультета Электроники и компьютерных технологий Национального исследовательского университета «МИЭТ», д.т,н, профессор. 124498, г.Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1 Тел, 8-499-710-22-53 е-гпай: рт8Фпнее,ги Подпись Путри М.Г. удостоверяю Ученый секретарь Совета ЬуЪа Ларионов Н.М .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации