0750-9-freview (Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности)
Описание файла
Файл "0750-9-freview" внутри архива находится в папке "Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности". PDF-файл из архива "Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
отзыв На автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Диссертационная работа Осипова А.А., посвященная исследованию процесса плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития, а также разработке научно-обоснованных рекомендаций для профильных промышленных предприятий по использованию полученных результатов, безусловно, является актуальной.
Работа выполнена на высоком экспериментальном и научно-техническом уровне, обладает научной новизной и имеет большое практическое значение. Результаты автора в достаточной степени представлены в опубликованных работах и обсуждены на научных конференциях и семинарах различного уровня. По материалам, представленным в авторе ферате, можно сделать следующее замечание — на рис. 3(а) отсутствует обозначение оси абсцисс, и понять, какая зависимость представлена на этом рисунке можно только из подрисуночной подписи. Кроме того, хотелось бы получить ответы на следующие вопросы: 1.
На рис. 71б) показана зависимость среднеквадратичной шероховатости поверхности ЯС от температуры держателя подложки. Проводились лн аналогичные исследования для %0~ и 11ИЬОз? 2. В таблицах 1, 3 и 5 показаны значения технологических параметров в экспериментах, направленных на их ранжирование по степени их влияния на скорость травления. Из таблиц видно, что три из четырех параметров, а именно, напряжение смещения, мощность и положение столика, присутствуют во всех трех планах, тогда как четвертый параметр меняется в зависимости от Профессор кафедры «Микро- и наноэлектроника» Федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего образования «Санкт-Петероургский государственный электротехнический Корляков Андрей Владимирович университет «ЛЭТИ» нм.
В.И. Ульянова 1Ленина)», д.т.н. 197376, Россия, Санкт-Петербург, ул. Профессора Попова, дом 5 Тел. +7 812 34б-44-87 Е-та11: 1п1оГа~ею.го Подпись Корлякова А.В. заверяю рз~;, ЯК:ГЖ~ . материала: расход кислорода в плане для %0з, температура — для ЯС и давление в реакционной камере в случае ниобата лития. С чем это связано? Автореферат работы оставляет положительное впечатление и позволяет заключить, что диссертация отвечает требованиям «Положения о присуждении ученых степеней» БАК, утвержденного постановлением правительства РФ № 842 от 24 сентября 2013 г., а ее автор, Осипов Артем Арменакович„заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
.