0750-2-freview (Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности)
Описание файла
Файл "0750-2-freview" внутри архива находится в папке "Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности". PDF-файл из архива "Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
отзыв на автореферат диссертации Осипова Артема Арменаковича «Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук (специальность 05.27.0б — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники), Диссертационная работа А.А. Осипова посвящена разработке основ технологий глубокого направленного высокоскоростного травления подложек из монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малых уровнях поглощаемой мощности (менее 1000 Вт). В ходе выполнения диссертационного исследования впервые получены данные о влиянии термостимуляции на процессы плазмохимического травления %02, 1.1ХЬОз, $1С.
Работа вносит существенный теоретический вклад в развитие модельных представлений об особенностях образования дефектов на поверхности карбида кремния и ниобата лития, что, в свою очередь, позволило предложить методы их устранения. Необходимо отметить высокий уровень отражения результатов диссертационного исследования в рецензируемых научных журналах в количестве пяти статей, индексируемых базой "ЯСОР13Б", в большинстве которых соискатель выступает первым автором. Серьезным преимуществом работы является ее апробация на одном из ведущих предприятий отрасли - АО «Светлана-Электронприбор», что свидетельствует о востребованности результатов диссертационного исследования в реальном секторе экономики.
Сильный практический уклон работы, в том числе в части изучения физико-химических закономерностей процессов плазмохимического травления, по всей видимости, обусловлен значимостью работы для целей импортозамещении, в связи с чем общее положительное впечатление от исследования не может быть снижено. Существенных замечаний к работе не имеется. Диссертационное исследование А,А. Осипова представляет собой полноценный научный труд, результаты которого поспособствуют модернизации и технологическому развитию российской экономики и повышению ее конкурентоспособности. Работа отвечает требованиям, предъявляемым Высшей аттестационной комиссией при Министерстве науки и высшего образования Российской Федерации, а ее автор, А.А. Осипов, заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.
Ординарный доцент, кандидат химических наук ,:7 ~.-~--у' — ' — —- Курушкин Михаил Вячеславович Университет ИТМО 197101, г. Санкт-Петербург, Кронверкский проспект, д.49. Тел.: +7 931 2789 700 е-таП: Кигик1й~пОьоап~~-~~~пудр 23.04.2019 .