Решение диссертационного Совета (Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди)
Описание файла
Файл "Решение диссертационного Совета" внутри архива находится в следующих папках: Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди, Документы. PDF-файл из архива "Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве РТУ МИРЭА. Не смотря на прямую связь этого архива с РТУ МИРЭА, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Протокол № 53заседания диссертационного совета Д 212.131.02от 17.03.2016Состав диссертационного совета утвержден в количестве 29 человек. Присутствовали назаседании 22 человека.Председатель: д. физ.-мат.наук, профессор Сигов Александр СергеевичПрисутствовали: д. физ.-мат.наук, профессор Сигов Александр Сергеевич,д.
физ.-мат.наук, профессор Задерновский Анатолий Андреевич, д. техн.наук, профессорБитюков Владимир Ксенофонтович, д. техн.наук, профессор Воротилов КонстантинАнатольевич, д. техн.наук, профессор Мальцев Петр Павлович, д. физ.-мат.наук,профессор, Капустин Владимир Иванович, д. техн.наук, доцент Буш АлександрАндреевич, д. техн.наук, профессор Евдокимов Анатолий Аркадьевич, д. физ.-мат.наук,профессор Мишина Елена Дмитриевна, д. физ.-мат.наук, профессор Морозов ВладимирГеоргиевич, д.
физ.-мат. наук, профессор Якубович Сергей Дмитрович, д. техн.наук,профессор Петров Вадим Александрович, д. техн. наук, профессор Щука АлександрАлександрович, д. физ.-мат.наук, профессор Покатилов Вячеслав Серафимович, д. физ.мат.наук, профессор Фетисов Юрий Константинович, д. техн.наук, профессор ГаньшинаЕлена Александровна, д. физ.-мат.наук, профессор Давыдов Василий Андреевич, д.техн.наук, профессор Зверев Михаил Митрофанович, д. техн.наук Белкин МихаилЕвсеевич, д.
техн.наук, доцент Китаева Галина Хасановна, д. техн.наук, профессорКондратенко Владимир Степанович, к. физ.-мат.наук, доцент Юрасов АлексейНиколаевич.Научный руководительЛукичев Владимир Федорович, доктор физико-математических наук, чл. корр. РАН,профессор МИРЭА.Официальные оппоненты:1.Вяткин Анатолий Федорович, гражданин РФ, доктор физико-математических наук,профессор, заместитель директора по научной работе Института проблем технологиимикроэлектроники и особочистых материалов РАН.2. Гасников Алексей Олегович, гражданин РФ, кандидат технических наук,научный сотрудник Научно-образовательного центра «Нанотехнологии» СанктПетербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ»имени В.
И. Ульянова.Ведущая организация:Научно-производственное предприятие «Пульсар»Слушали:Диссертационную работу Милованова Романа Александровича на соискание ученойстепени кандидата технических наук на тему «Технологические основы и методикипослойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений напо специальности 05.27.06 — Технология и оборудование дляоснове меди»производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.Постановили:На заседании 17.03.2016 диссертационный совет принял решение присудитьМилованову Роману Александровичу ученую степень кандидата технических наук.При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 22человек, из них 5 докторов наук по специальности диссертации, участвовавших взаседании,из29человек,входящихвсоставсовета,проголосовали: за присуждение учёной степени - 22, против присуждения учёной степенинет, недействительных бюллетеней нет.Председательдиссертационного советаА.С.
СиговУченый секретарьдиссертационного советаА.Н. Юрасов.
