Отзыв научного руководителя (Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди)

ОТЗЫВ Научного руководителя на диссертацию Милованова Романа Александровича на тему: Технологические основы и метр ики послойного авления к исталлов инте альных схем с системой межсое инений на основе ме и по специальности 05.27.06- Технология и обо у рвание ля п оизво ства пол и ово ников мате наловил ибо овэлект риной техники на соискание ученой степени кандидата технических наук. Научный руководитель: ВРИО директора Физико-технологического инсцФт5та РАЙ .'.

'ф д.ф.-м.н.„член-корр. РАН а Подпись Лукичева В.Ф. удостоверяю уу Ученый секретарь ФТИАН Р~Н ';,: к.т.н. Лукичев Владимир Федорович е-та11: 1пЫсЬеч й1ап.ги тел. (499) 129-5492 В.Ф. Лукичев В.А. Кальнов Милованов Р.А. начал работу в «Учебно-научном объединении «Электроника» МИРЭА (научный руководитель академик Сигов А.С.) в 2011 году. За прошедшее время им были освоены все методы исследований, связанные с выполнением темы диссертации. В частности„послойное препарирование с последующим исследованием поверхности топологических слоев интегральных микросхем (ИМС) с использованием различного типа микроскопов (оптический, растровый электронный, сканирующий зондовый и др.).

За время работы над диссертацией Милованов Р.А. зарекомендовал себя как сложившийся физик-экспериментатор, специалист высокой квалификации в области как методов диагностики наноструктур, так и в области технологий микроэлектронного производства, Он владеет методами жидкостного и плазмохимич еского травления структур из различных материалов, применения фокусированного ионного пучка (ФИП) для приготовления поперечных разрезов ИМС и др.

Его можно с полным правом характеризовать как инициативного, творческого, самостоятельного и трудолюбивого ученого, ответственно выполняющего все текущие работы, причем с высокой тщательностью и большой аккуратностью. Милованов Роман Александрович пользуется большим уважением среди коллег вследствие своих человеческих качеств и авторитетом как первоклассный экспериментатор. Считаю, что Милованов Р.А. безусловно заслуживает присуждения ему ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.0б. .