Диссертация (1149550), страница 16
Текст из файла (страница 16)
В области решений QCX-GaN длядиэлектрических проницаемостей в слое GaN, а так же в области решенийQCX-AlN для диэлектрических проницаемостей в слое AlN выполняютсясоотношения:TO :LO : sign n , zz 1 sign n , xx 1 sign n , zz 1 sign n , xx 1где n=1,2(6.26)Они позволяют преобразовать уравнение (6.25а) в ТО и LO диапазонахследующим образом:ТО :LО :sign 1, zz 1, xx s1 2, xx s2 1, xx s1 2, xx s2 0sign 1, zz 1, xx s1 2, xx s2 1, xx s1 2, xx s2 1, xx s1 2, xx s2 0Теперь преобразуем (6.25б) в ТО и LO диапазонах следующим образом:TO :LO :1, xx s1 sign( 2, zz ) 2, xx s2 1, xx s1 1 2, xx s2 1, xx s1 2, xx s2 01, xx s1 sign( 2, zz ) 2, xx s2 1, xx s1 1 2, xx s2 1, xx s1 2, xx s2 0Проведенные преобразования показывают, что в предельном случае тонкихслоев вековые уравнения для мод QCX-GaN и QCX-AlN по форме совпадаютс вековым уравнением для IFX моды в ТО и LO диапазонах.Для случая QCZ-мод перепишем вековые уравнения (6.18в) и (6.20в)следующим образом:105 zz ,1 zz ,2 s1 1 s1 0 2 s1 1 0 s1s 0 s2s 1 tanh 2 2 2 2 s2 2 0 2 tan s1 1 s1 0 tanh2 1zzs12 s1 1 0 2s 0 zzs2s 1 tan 2 2 2 2 s2 2 0 (6.27а)(6.27б)Из формул (6.27а,б) следует, что в переделе тонких слоев вековые уравнениядля QCZ-мод по форме совпадают с вековым уравнением (6.24) для IFZмоды.Таким образом, было продемонстрировано, что в важном с практическойточки зрения пределе тонких слоев исчезает разница между интерфейсным иквазиконфайнментным характером полярных оптических фононов в рамкахМДК в длинноволновом приближении.6.4 Применение модели диэлектрического континуума к тонкослойнымвюрцитным сверхрешеткам GaN/AlNКак отмечалось ранее, в короткопериодных СР (s1<<1 и s2<<1) учетанизотропии не приводит к изменению вида уравнений для IF и QC-фононов.Действительно, в таком приближении уравнения (6.15в) (6.16в) (6.17в)(6.18в) (6.19в) (6.20в) принимают вид эквивалентный уравнениям (5.16) и(5.17), которые справедливы для короткопериодных СР из изотропныхматериалов.
Анизотропия слоев отражается лишь в том, что значения и вуравнениях для мод, поляризованных по x и по z, полагаются различными иравными соответствующей компоненте диэлектрической функции (см. (6.23)и (6.24)).К каким изменениям в значениях частот это приводит? Рассмотримэтот вопрос на примере СР из вюрцитных материалов GaN и AlN сфононными свойствами представленными в таблице 6.1. Для этих106материалов характерны соотношения (6.28а,б) для частот фононов в ТО иLO диапазонах:ωA1(TO),GaN< ωE1(TO),GaN< ωA1(TO),AlN< ωE1(TO),AlN(6.28а)ωA1(LO),GaN< ωE1(LO),GaN< ωA1(LO),AlN< ωE1(LO),AlN(6.28б)Это приводит к тому, что знаки диэлектрических проницаемостей вплоскости интерфейса (εхх) и вдоль направления роста (εzz) в зависимости отчастоты распределены как представлено на рисунке 6.1Как отмечалось ранее в СР возможны 2 типа решений в рамках МДК:поляризованные в плоскости xy и поляризованные в плоскости z.
В своюочередьводнооснойанизотропнойСРмогутсуществоватьквазиконфайнментные и интерфейсные полярные оптические фононы. ВрассматриваемомслучаеСРGaN/AlNврамкахМДКдлянихпредсказывается два диапазона: ТО ([ωA1(TO),GaN, ωE1(TO),AlN]) и LO [ωA1(LO),GaN,ωE1(LO),AlN]. В них присутствует 6 типов решений IFX, IFZ, QCX-GaN, QCZGaN, QCX-AlN, QCZ-AlN. Как было показано в предыдущем разделе впрактически важном случае тонкослойных структур моды IFX, QCX-GaN,QCX-AlN имеют одинаковые вековые уравнения. Тем не менее, их решениянаходятся в разных диапазонах. Из векового уравнения (6.17в), записанного вформе (6.29) следует1, xxs 2 0 2, xxs1(6.29)что в длинноволновом приближении моды, поляризованные по х в соседнихслоях должны иметь разные знаки диэлектрических проницаемостей вплоскостиинтерфейса(т.е.sign(εхх,1εхх,2)=-1).Частотныйдиапазон,соответствующий этому диапазону, лежит в пределах от ωE1(TO),GaN доωE1(TO),AlN в ТО области и от ωE1(LO),GaN до ωE1(LO),AlN в LO области.
Для модыQCX-GaN в приближении тонкослойной структуры точным решением (6.17в)явялется лишь ωE1(LO),AlN при s1=0. Тем не менее, в общем случае решениевекового уравнения для QCX-GaN моды при малых s=s1+s2=0.1 (см. рисунок6.4) в широком диапазоне соотношений f=s2/s близко к объѐмным частотам107ωE1(TO),GaN и ωE1(LO),AlN в ТО и LO диапазонах соответственно. Таким образом,в длинноволновом приближении ТО и LO диапазоны решений формируютсяза счет только решений вековых уравнений для разных соотношений f дляIFX и QCX-AlN фононных мод.E1(TO), AlN640620A1(TO), AlN600580E1(TO), GaN560540A1(TO), GaN0,000,020,040,060,08Частота фонона, см-1Частота фонона, см-16600,10Толщина слоя AlN в единицах s2=qd29209008808608408208007807607400,00E1(LO), AlNA1(LO), AlNE1(LO), GaN0,020,040,060,08A1(LO), GaN0,10Толщина слоя AlN в единицах s2=qd2Рисунок 6.4 Зависимость частоты полярного оптического фонона ототносительной толщины слоя AlN, для значения параметра s=0.1(линиями) ив длинноволновом приближении (символами) (справа ТО-диапазон, слеваLO-диапазон) Синим цветом обозначены делокализованные моды, вдлинноволновом пределе переходящие в моды симметрии А(ТО): IFZ и QCZGaN; красным показаны моды, в длинноволновом пределе переходящие вмоды симметрии Е(LО): IFX и QCX-AlN; зеленым цветом показаныквазиконфаментные моды QCX-1 и QCX-2.Сравнивая рис 6.4 и 5.8б(б), можно видеть, что формы зависимостей (f)для анизотропных и изотропных короткопериодных СР эквивалентны.Отличие между ними состоит в том, что сдвигаются лишь частотныеинтервалы значений фононных частот.Экспериментальное наблюдение интерфейсных полярных оптическихфононов в спектрах КРС демонстрируется на рисунке 6.5.108A1(TO)(SL)840564E(LO)(SL)610_x(zz)xE1(TO)854825AlN(SL)638E1(TO)AlN(buf)_*x(yz)xE2(high)A1(TO)GaN(SL)(SL)E2(high)AlN(SL)625E2(high)_*x(yy)xAlN(buf)648E2(high)GaN(SL)586E2(high)*E2(high)AlN(buf)z(xx)z800_x(zz)x860x2.5_x(yz)xx6751739AlN(SL)_Интенсивность, отн.
ед.584777754x3E1(TO)GaN(SL)Интенсивность, отн. ед.-_x(yy)x767791816 844869*E2(high)GaN(SL)E2(high)A1(LO)AlN(buf)AlN(SL)_z(xx)z*_z(yx)z300400500600E2(high)AlN(buf)700-1Волновое число, см_z(yx)z700 750 800 850 900 950-1Волновое число, см(а)(б)Рисунок 6.5 - Поляризованные спектр КРС вюрцитной СР GaN/AlN 1.9/1.9нм.Наиболее интенсивным пиком в ТО диапазоне является пиксположением 564 см-1. В рамках МДК предсказывается наличие мод IFZ иQCZ-GaN с положением около 560 см-1.
В длинноволновом пределе онипереходят в моду симметрии А(ТО)+ и наблюдается в спектре x(zz)-x. Для СРс равными толщинами еще одной модой, предсказываемой в рамках МДК109была IFZ мода, соответствующая в длинноволновом пределе E(LО)-.Вследствие антифазного движения в соседних слоях[67] данная мода недолжна обладать высокой интенсивностью в спектре и согласно правиламотбора проявляться в поляризованном спектре с геометрией экспериментаx(yz)-x с положением примерно 600 см-1.
Еѐ сдвиг по сравнению с значением,представленным на рисунке 6.4, связан с возникающими деформациями,которые более подробно будут рассмотрены в следующей главе. Кроме того,в спектрах наблюдается линия, являющаяся смешением двух сдвинутых из-задеформаций мод E2(GaN) и E(LO)- и проявляющейся в спектрах пиком около588 см-1. В рамках МДК в LO диапазоне предсказывается мода IFX и IFZ,соответствующие в длинноволновом пределе модам E(LO)+ и A(TO)- счастотами 843 и 820 см-1 соответственно. Мода симметрии Е(LO)+ в спектрахКРС должна наблюдаться в геометрии 90 градусного рассеяния и бытьзапрещеннойвспектрахвгеометрииобратногорассеяния.Предположительно из-за смешения с конфайнментными модами симметрииА(LO), которые простираются в диапазоне от A1(LO)-AlN (890 см-1) до B1-AlN(744 см-1), мода E(LO)+, близкая по частоте к одной из конфайнментных мод,становится наблюдаемой в геометрии рассеяния назад, в частности x(zz)-x.Еѐ частота (840 см-1) довольно близка к теоретически предсказываемому врамках МДК.
Мода же A(TO)- будучи слабоинтенсивной на спектрахсливается с конфайнметными модами, проявляясь в области около 825 см-1.6.5. О возможности определения периода сверхрешеток GaN/AlN порасщеплению делокализованных мод.Выше мы отмечали, что в приближении s<<1 не происходитсмешивания фононов поляризованных по x и по z. Выход за границы этогоприближения неминуемо приводит к смешиванию таких состояний. В главе2отмечалось,чтовотличиеотделокализованныхфононов,распространяющихся в плоскости интерфейса, фононы с волновым векторомвдоль оси z (типа A(LO) и E(TO)) имеют характер стоячих волн,110локализованных в отдельных слоях планарной гетероструктуры.
Именнотакие фононы, смешиваясь с делокализованными A(ТO) и E(LO) модами,порождают квазиконфайметные состояния в анизотропных СР. Если решитьуравнения (6.15в)-(6.20в) для СР GaN/AlN при произвольных значениях s1 иs2 построить зависимости (f) для разных значений s=s1+s2, то мы получимкартину, показанную на рисунке 6.6.E1(LO) AlN900A1(LO) AlNЧастота фонона, см-1850800E1(LO) GaN750A1(LO) GaN700s = 0.1s = 10E1(TO) AlNs=1650A1(TO) AlN600E1(TO) GaN550A1(TO) GaN0,00,51,00,00,50,01,00,51,0Параметр f , отн. ед.Рисунок 6.6 - Зависимость частоты полярных оптических фононов –интерфейсных фононов и головной линии квазиконфайнментных ототносительной толщины слоя AlN, выраженной через параметр f, длянескольких значений параметра s.В левой части рисунка 6.6 приведены зависимости, соответствующиеслучаюкороткопериоднойСР(s=0.1).Видно,чтополнаякартина111складывается из IFZ и QCZ мод симметрии А(ТО), IFX и QCX симметрииЕ(LО) (все они тождественны с модами на рис.
4.3) и локализованных вотдельных слоях модах А(LО) и E(TO). Частоты последних не зависят оттолщин слоев, которые предполагаются значительно превышающимипостоянные ячейки кристаллической структуры.Вцентральнойчастирисунке6.6приведенызависимости,соответствующие случаю СР, в которой толщины слоев сравнимы с длиннойволны фонона (s=1). Видно, что наблюдается смешивание мод разнойсимметрии, особенно заметное в точках пересечения кривых A(TO) – E1(TO)в GaN и пересечение кривых E(LO) – A1(LO) в AlN.















