Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501), страница 17

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 17)

Принадлежность состояния(∈)свидетельствуетотом,чтомножеству состоянийтехнологическийпроцессультрафиолетовой литографии отвечает критериям качества. Если значение,параметров>,…,, …,,больше допустимых>тотехнологический,…,процесс>, т.е.,ультрафиолетовойлитографии не соответствует заданным критериям качества. Если некоторые иззначений параметров,,…,будут больше допустимых, а другие меньше, тотехнологический процесс ультрафиолетовой литографии, частично удовлетворяеткритериям качества.

Для условия полного удовлетворения, параметры качестватехнологического,…,≤процессаультрафиолетовой⁄, качество по наклону стенки профиля резиста== ∆Φ⁄Здесь, качество⁄, качество разрешающей, качество по степени коррекции⁄=оптического эффекта близости=⁄=способности оптической системысдвига⁄=, качество по чувствительности⁄ , качество по глубине фокуса=. При этом⁄ , качество по апертурному углу оптической системы=резиста⁄=≤⁄ , отклонению толщины резиста=по дозе экспонирования резста,⁄ .

Качество по=будет определяться отношениемотклонению ширины линии резиста=⊂, что соответствует тому, что множествозапас по качеству≤литографии, качество по степени фазового⁄∆Φ , качество по эффективности двойного экспонирования, качество по степени внеосевого освещения,,,,,,,,, ∆Φ,=⁄.– допустимыезначения отклонения ширины линии резиста, отклонения толщины резиста,наклона стенки профиля резиста, дозы экспонирования резиста, чувствительности119резиста,апертурногоугла,глубиныфокуса,разрешающейспособностиоптической системы, степени коррекции оптического эффекта близости, степенифазового сдвига, эффективности двойного экспонирования, степени внеосевогоосвещения, ,,,,,,,,, ∆Φ ,– фактические значенияуказанных выше величин.Тогда обобщенный критерий оценки качества принимается в виде (3.4.1):1где,, …,=++ ⋯+,3.4.1– весовые коэффициенты (для определения этих коэффициентовиспользуется метод экспертных оценок)= 1,3.4.2а в общем виде обобщенный критерий оценки качества технологическогопроцесса ультрафиолетовой литографии (3.4.3)=1∑.3.4.3120Выводы по главе 31.Предложена модель и алгоритм поиска оптимальной реализациисистемы управления распределёнными процессами и в ультрафиолетовойлитографическойтехнологииучитывающиеограничения,накладываемыеподвижным характером воздействия и нелинейностью протекающих процессов.2.Синтезирована математическая модель формирования изображения вультрафиолетовойлитографическойсистеме,позволяющаяучитыватьхарактеристики произвольного фазосдвигающего шаблона.3.Предложеннаяметодикасниженияминимальногохарактеристического размера элемента позволяющая повысить техническиепараметрымикроэлектронныхизделий,формируемыхлитографическимспособом.4.Разработан обобщенный критерий качества при автоматизированномпроектировании технологического процесса ультрафиолетовой литографии.Предложенный критерий, позволяет значительно эффективнее существующихметодов (процессного окна и кривых Боссунга) прогнозировать качествотехнологического процесса ультрафиолетовой литографии, в зависимости отгруппыгеометрических,технологических,энергетическихиоптическихпараметров.121ГЛАВА4.ОРГАНИЗАЦИЯТЕХНОЛОГИЧЕСКИХОБЪЕКТОВВРЕШЕНИЙПОИСКАОПТИМАЛЬНЫХПРОЦЕССАФОРМИРОВАНИЯУЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙЛИТОГРАФИЧЕСКОЙТЕХНОЛОГИИ4.1.

Методы принятия оптимальных технологических решений вмногокритериальных задах выбора при проектировании процессаультрафиолетовой литографииПереходя к этапу проектирования, называемому принятием решения,технолог располагает несколькими вариантами реализации технологическогопроцесса ультрафиолетовой литографии. В каждом случае ему нужно вначаледать оценку вариантам, затем эти оценки сравнить и только после этого выбратьвариантснаивысшейоценкой.Руководствуясьосновнымпринципомпроектирования, эта процедура заключается в отображении множества вариантовтехнических решений на множество оценок и выбор оптимального из них:( F : X 0 V )  opt .(4.1.1)Выполнить процедуру принятия решений было бы просто, если бы всеварианты реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии,можно было сравнить по одной шкале.

Однако в действительности каждыйвариант характеризуется многими измерениями, атрибутами или критериями.Кроме того, не всегда можно воспользоваться абсолютной шкалой. Вариантыреализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии на стадиипредварительного рассмотрения представлены пока лишь принципиальной(структурной) схемой, и дать количественную оценку даже таким свойствампроцесса, как процент выхода годных изделий, минимальный характеристическийразмер элемента, производительность, и другие параметры – сложно. Ещесложнее обстоит дело с оценкой надежности, стабильности, эффективности.Попытка уточнить количественные оценки по вариантам технических решенийприведет, по существу, к последующей его разработке, а это связано с трудовыми122и временными расходами.

Поэтому приходится принимать решение в условияхнеопределенности, а сравнивать варианты зачастую необходимо по многим ихпризнакам, т.е. пользоваться несколькими шкалами. Причем по одной шкалелучшими оказываются одни варианты, по другой – иные.И еще одно обстоятельство. Признаки, используемые для сравнения,неравнозначны: одни более важны, другие – менее. Некоторые из нихпротиворечивы.Охарактеризуем теперь общую постановку решаемой задачи.1.Каждый вариант технического решения характеризуется некоторымипараметрами  j , j  1, n .2.Оценку вариантов производят по совокупности критериев:V  {vi } , i  1, m .3.(4.1.2)В качестве критериев выбираются признаки, отвечающие наиболееважным целям проектирования.Втакойпостановке,принятиерешенияпримыкаеткзадачаммногокритериальной оптимизации.

Особенность таких задач состоит в том, чтоодновременноедостижениеоптимумаповсемкритериямпрактическиневозможно. Приходится идти на компромисс. В одних случаях он просто связанс уравниванием критериев, в других – с выбором из них главного.Компромисс упрощает решение задачи, сводя ее в некоторых случаях коднокритериальной.Схемы компромиссов строятся на основе следующих принципов [50]:равномерности,справедливойуступки,выделенияглавногокритерия,последовательной уступки.Принцип равномерности может требовать: 1) равенства всех критериевopt V  opt V  {v1  v2    vk }  Vк ,V VV Vк(4.1.3)где V – отображение области возможных технических решений в пространствеV ; Vк – подмножество критериев, связанных с компромиссом; vi – оптимальное123значение элемента множества критериев; 2) «подтягивания» наихудшего изкритериев optк V  max min v i ; 3) квазиравенства критериев, т.е.

равенства сV Vдопустимойпогрешностью.Возможныинекоторыедругиеусловияравномерности.Принципсправедливойтребуетуступкиилиабсолютной,илиотносительной уступки. Абсолютная уступка считается справедливой, еслисуммарный абсолютный уровень снижения одного или нескольких критериев непревосходит суммарного абсолютного уровня повышения других критериев. Этоусловие обеспечивает максимальную сумму критериев, т.е.kopt V  max  vi .V Vк(4.1.4)i 1Относительная уступка обеспечивает справедливый компромисс, еслисуммарный относительный уровень снижения качества по одному илинескольким критериям не превосходит суммарного относительного уровняповышения качества по остальным критериям. Оптимальное по данной схемекомпромисса решение таково, что переход от него к любому другому приводит котрицательной или равной нулю суммарной относительной уступке: отн  vi  vi 0,vi(4.1.5)где отн – суммарная относительная уступка.В теории принятия решений доказывается, что для оптимального решения,найденного по схеме суммарной относительной уступки, мультипликативнаяkфункция f   vi ; достигает максимума в области возможных компромиссныхi 1решений.

На этом основании принцип относительности имеет следующий вид:kopt V  max  vi .V  Vк(4.1.6)i 1Принцип выделения главного критерия сводит многокритериальную124задачу к однокритериальной. Оптимизация происходит по главному критерию viг ;на все остальные накладываются ограничениягopt V  maxv,iгзvi  viз(4.1.7)vi Vзгде  V – область заданных значений критериев.Принцип последовательной уступки позволяет отыскать оптимальноерешение, отвечающее достижению максимума по всем критериям, размещаемымв ранжированной последовательности по степени их важности.

Отысканиеоптимального решения начинается с учета первого по важности критерия. Затем сучетом практических соображений и точности, с которой заданы исходныеданные, назначается «уступка» по первому критерию v1 . В пределах v1 иv1  v1 ( v1 – максимально возможное значение v1 ) находится решение,отвечающее максимуму по второму критерию. Дальнейшие шаги состоят в«уступке» по второму и последующим критериям. В итоге находитсякомпромиссное решение, у которого все критерии достигают максимума илинаходятся вблизи него, не выходя за пределы, установленные «уступкой» области.Если по условиям задачи нужно минимизировать тот или иной критерий, то ненарушая общности можно изменить его знак.Решение многокритериальной задачи осложняется различием единицизмерения критериев технологического процесса ультрафиолетовой литографии.Исключение составляет принятие решения на основе принципа суммарнойотносительнойуступки,гдеоперируютсотносительнымивеличинами,являющимися безразмерными.

Характеристики

Список файлов диссертации