Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501), страница 27
Текст из файла (страница 27)
ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 442-444.70.Корпачев М. Ю. Патент РФ на полезную модель №97864. Устройство дляформирования нанообъектов на подложке / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П.
С., Степанчиков С. В. – № 2010119551/07. Заявл. 17.05.2010;опубл. 20.09.2010, Бюл. № 26.71.Корпачев М. Ю. Патент РФ на полезную модель №104508. Устройство дляформирования нанодорожек на подложке / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,189Костомаров П. С., Степанчиков С. В., Якункин М. М. – № 2010146414/07. Заявл.15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.72.Нанотехнологиявближайшемдесятилетии.Прогнознаправленияисследований. / Под ред. М. К.
Роко, Р. С. Уильямса и П. Аливисатоса. Пер. сангл. – М.: Мир, 2002. – 292 с., ил.73.Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии // В кн.:INTERMATIC–конференции2010.МатериалыМеждународнойнаучно-техническойпроблемырадиоэлектронного«Фундаментальныеприборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва / Под общ. ред.: А. С. Сигов;науч.
ред.: А. С. Сигов. Ч. 1. М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306-307.74.Корпачев М. Ю., Патент РФ на полезную модель №106969. Устройствоформирования изображения на подложке / Ивашов Е. Н.,. Костомаров П. С.,Кузнецов П. С., Лучников П. А. – № 2010146413/28. Заявл. 15.11.2010; опубл.27.07.2011 Бюл. № 21.75.Ивашов Е.
Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.Устройство формирования топологической структуры микрочипа для снабженияорганизма лекарственными препаратами // В кн.: Фундаментальные проблемырадиоэлектронногоприборостроения.МатериалыМеждународнойнаучно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва /Отв. ред.: А. С.
Сигов. Ч. 4., 2012. С. 164-165.76.Корпачев М. Ю. Патент РФ на полезную модель №104509. Устройство дляформирования нанодорожек / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.,Кузнецов П. С., Лучников П. А. – № 2010146415/07. Заявл. 15.11.2010; опубл.20.05.2011, Бюл. № 1477.Теория прогнозирования и принятия решений / Под ред.
С.А. Саркисяна. –М.: Высшая школа, 1977. – 351 с.78.ЧерновЛ.Б.Основыметодологиипроектированиямашин.–М.:Машиностроение, 1978. – 148 с.19079.Бусленко Н.П. и др. Лекции по теории сложных систем. М.: Сов. Радио,1973. – 440 с.80.Вишнеков А.В. Методы принятия проектных решений в CAD/CAN/CAEсистемах электронной техники (в двух частях). – М.: МИЭМ, 2000.81.Резников Б.А. Методы и алгоритмы оптимизации на дискретных моделяхсложных систем. – Л.: ВИКИ им.
А.Ф. Можайского, 1983. – 215 с.82.Каипов В.Х., Селюгин А.А., Дубровский С.А. Методы обработки данных всистемах с нечеткой информацией. – Фрунзе: Илим, 1988. – 187 с.83.Борисов А.Н., Алексеев А.В., Меркурьева Г.В. и др. Обработка нечеткойинформации в системах принятия решений. – М.: Радио и связь, 1989. – 304 с.84.Орловский С.А. Проблемы принятия решений при нечеткой исходнойинформации. – М.: Наука. 1981. – 208 с.85.Садыхов В. Э.
Элементы асимптотических методов – Баку: АЗПИ им. Ч.Ильдрыма, 1985 г., 141 с.86.Жилинискас А., Шалтянис В. Поиск оптимума: компьютер расширяетвозможности. - М.: Наука, 1989, с. 76, ISBN 5-02-006737-7.87.Зельдович Б. Я. Обращение волнового фронта – М.: Наука, 1985 г.,247 с.88.Дмитриев В.
Г. Нелинейная оптика и обращение волнового фронта фронта –М.: ФИЗМАТЛИТ, 2001 г., 256 с.89.Визильтер Ю.В. Обобщенная проективная морфология / Компьютернаяоптика. – Том 32, № 4 ÷ 2008 С. 384 – 399.90.Визильтер Ю.В., Желтов С.Ю. Сравнение и локализация фрагментовизображенийсиспользованиемпроективныхморфологий.//Вестниккомпьютерных и информационных технологий, – №2, – 2008, С. 14 – 22.91.Болнокин В. Е. Адаптивное управление на базе нечетких регуляторов инейросетевой технологии: Монография / В.
Е. Болнокин, Хо Д. Лок. – Воронеж:Издательство «Научная книга», 2012. – 280 с.92.КорпачевМ.Ю.Задачасниженияразмерностидляопто-инаноэлектроники в литографической технологии [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев191М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы имикросистемы: Труды XV международной конференции.
Ульяновск : УлГУ, 2012.С. 52-53.93.Корпачев М. Ю. Критерий качества в УФ – литографии [Текст] / Балан Н.Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Степанчиков С.В. // В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения.Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC –2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв. ред.: А. С.
Сигов. Ч. 7: Проблемынадежности и качества. М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 75-78.94.Корпачев М. Ю. Литографическая нанотехнология для создания устройствснабжения организма лекарственными препаратами [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника,наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 51-51.95.Корпачев М.
Ю. Методы снижения характеристического размера приавтоматизированном проектировании элементов СБИС [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационных технологий: материалы международной научно-техническойконференции (2012) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У. Увайсов. М. :МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 284-287.96.КорпачевМ.Ю.Надёжностьфункционированиятехнологическогооборудования нанолитографии [Текст] / Балан Н. Н., Васин В.
А., Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю., Ланцев А. Н., Степанчиков С. В. // В кн.: Фундаментальныепроблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международнойнаучно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г.,Москва / Отв. ред.: А. С. Сигов. Ч. 3: Материалы и технологии. М. : МГТУМИРЭА-ИРЭ РАН, 2012.
С. 83-87192ПРИЛОЖЕНИЕПрограмма для ЭВМ «Расчёт основных характеристик ультрафиолетовойлитографической системы»Настоящая программа позволяет выполнять расчет основных характеристикультрафиолетовой литографической системы: минимальный разрешаемый размерэлемента, формируемой топологии, глубину сфокусированного изображенияфотошаблона, а также время экспонирования заданного количества пластин ипроизводительность литографической системы, а также соотнести их спроектными нормами, под которые подходит данный технологический процесс.Блок-схема программы расчета основных характеристик ультрафиолетовойлитографическойсистемыпредставленанарис. 6.1.Основноеокнопользовательского интерфейса, которое появляется после открытия даннойпрограммы, представлено на рисунках.
6.2. и 6.3.Пользователь может посмотреть справочную информацию, нажав кнопку«О программе» (где перечислены: краткая аннотация, версия программногопродукта, имена разработчиков и их контактные данные), или перейти к выборуданных, открыв вкладку «Расчет минимального разрешаемого размера и глубиныфокуса» или «Расчет расчёт времени экспонирования». В первом случаепрограмма предлагает ввести параметры системы формирования изображенияультрафиолетовой литографической установки (рис. 6.2):1) длину волны излучения источника;2) числовую апертуру объектива;3) технологический параметр разрешающей способности;4) параметр допуска расфокусировки.Вовторомслучаенеобходимоввеститехнологические параметрылитографического процесса (рис.
6.3):1)дозу облучения резиста;2) интенсивность излучения на выходе осветителя;1933) коэффициент пропускания объектива;4) коэффициент пропускания фотошаблона;5) диаметр пластины;6) длину кадра;7) ширину кадра;8) количество пластин.После внесения в программу всех необходимых параметров пользователюнеобходимо нажать кнопку «Расчет».Параметры минимального разрешаемого размера и глубины фокуса,рассчитанные, с помощью данной программы, представлены на рисунке 6.4.,характеристики времени экспонирования на рисунке 6.5.Тип ЭВМ: IBM PC-совместимые ПК.Язык программирования: FoxPro.Операционная система: Windows XP/2003/Vista/2008/Seven/8/8.1/10.Объем программы: 13369 Kb.194Рис.6.1.Блок-схемапрограммырасчетаосновныххарактеристикультрафиолетовой литографической системы.195Рис.
6.2. Расчет минимального разрешаемого размера и глубины фокуса,ввод параметров.Рис. 6.3. Расчет расчёт времени экспонирования, ввод параметров.196Рис. 6.4. Результаты расчета параметров минимального разрешаемогоразмера и глубины фокусаРис. 6.5. Результаты расчета характеристик времени экспонирования197Код программыПримечание: все надписи в программе «Расчет параметров иммерсионнойсистемыультрафиолетовойлитографическойустановки»выполненысиспользованием кодировки UTF-8.Логика программы:***************************************************-- Class Library: d:\tp\class\basic.vcx*****************************************************************************************************-- Class:about (d:\tp\class\basic.vcx)*-- ParentClass: form*-- BaseClass:form*-- Time Stamp:09/11/12 11:55:13 PM*DEFINE CLASS about AS formBorderStyle = 2Height = 369Width = 375ShowWindow = 2DoCreate = .T.AutoCenter = .T.Caption = "О программе "MaxButton = .F.MinButton = .F.WindowType = 1Name = "ABOUT"ADD OBJECT cmdok AS commandbutton WITH ;Top = 324, ;Left = 288, ;Height = 27, ;Width = 60, ;Caption = "OK", ;Name = "cmdOK"ADD OBJECT label1 AS label WITH ;FontItalic = .T., ;FontName = "Arial", ;FontSize = 9, ;WordWrap = .T., ;BorderStyle = 0, ;Caption = " Данная программа используется для расчёта основных характеристикультрафиолетовой литографической системы.
С её помощью можно расчитать минимальный разрешаемый размерэлемента, формируемой топологии и глубину сфокусированного изображения фотошаблона.", ;Height = 96, ;Left = 24, ;Top = 30, ;Width = 336, ;Name = "Label1"ADD OBJECT label2 AS label WITH ;FontItalic = .T., ;FontName = "Arial", ;FontSize = 9, ;WordWrap = .T., ;BorderStyle = 0, ;Caption = " Также программа расчитывает время экспонирования заданного количествапластин и производительность литографической системы.", ;Height = 53, ;Left = 24, ;Top = 128, ;198ADD OBJECT shape1 AS shape WITH ;Top = 192, ;Left = 31, ;Height = 2, ;Width = 313, ;SpecialEffect = 0, ;Name = "Shape1"ADD OBJECT label9 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;FontBold = .F., ;FontItalic = .F., ;FontSize = 8, ;Caption = "2012 год", ;Height = 16, ;Left = 150, ;Top = 200, ;Width = 45, ;Name = "Label9"PROCEDURE cmdok.Clickthisform.ReleaseENDPROCENDDEFINE**-- EndDefine: about*****************************************************************************************************-- Class:basicform (d:\tp\class\basic.vcx)*-- ParentClass: form*-- BaseClass:form*-- Time Stamp:09/10/12 10:11:00 PM*DEFINE CLASS basicform AS formShowWindow = 2DoCreate = .T.Caption = "Form"WindowType = 1Name = "basicform"ENDDEFINE**-- EndDefine: basicform*****************************************************************************************************-- Class:mainform (d:\tp\class\basic.vcx)*-- ParentClass: basicform (d:\tp\class\basic.vcx)*-- BaseClass:form*-- Time Stamp:09/11/12 11:54:12 PM*DEFINE CLASS mainform AS basicformDataSession = 1BorderStyle = 2Top = 26Left = 16Height = 426Width = 608DoCreate = .T.Caption = "Расчёт основных характеристик ультрофиалетовой литографическойMaxButton = .F.MinButton = .F.Name = "MainForm"системы"199ADD OBJECT pageframe1 AS pageframe WITH ;ErasePage = .T., ;PageCount = 2, ;Top = 10, ;Left = 0, ;Width = 600, ;Height = 365, ;Name = "Pageframe1", ;Page1.Caption = "Расчёт минимального разрешаемого размера и глубины фокуса", ;Page1.Name = "Page1", ;Page2.Caption = "Расчёт времени экспонирования ", ;Page2.Name = "Page2"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.label1 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите длинну волны излучения, нм", ;Height = 17, ;Left = 94, ;Top = 101, ;Width = 215, ;TabIndex = 5, ;Name = "Label1"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.label2 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите числовую аппертуру объектва", ;Height = 17, ;Left = 94, ;Top = 137, ;Width = 221, ;TabIndex = 6, ;Name = "Label2"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.label3 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите параметр разрешающей способности", ;Height = 17, ;Left = 94, ;Top = 177, ;Width = 268, ;TabIndex = 7, ;Name = "Label3"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.label4 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите параметр допуска расфокусировки", ;Height = 17, ;Left = 94, ;Top = 219, ;Width = 252, ;TabIndex = 8, ;Name = "Label4"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.txtlen AS textbox WITH ;Alignment = 3, ;Value = 0, ;Format = "K", ;Height = 23, ;InputMask = "999", ;Left = 441, ;TabIndex = 1, ;Top = 98, ;Width = 60, ;Name = "txtLen"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.txtrazr AS textbox WITH ;Alignment = 3, ;Value = 0, ;Format = "K", ;200Height = 23, ;InputMask = "9.99", ;Left = 441, ;TabIndex = 3, ;Top = 174, ;Width = 60, ;Name = "txtRazr"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.txtapp AS textbox WITH ;Alignment = 3, ;Value = 0, ;Format = "K", ;Height = 23, ;InputMask = "9.99", ;Left = 441, ;TabIndex = 2, ;Top = 134, ;Width = 60, ;Name = "txtApp"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page1.txtrasf AS textbox WITH ;Alignment = 3, ;Value = 0, ;Format = "K", ;Height = 23, ;InputMask = "9.99", ;Left = 441, ;TabIndex = 4, ;Top = 214, ;Width = 60, ;Name = "txtRasf"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page2.label1 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите дозу облучения резиста, мДж/см.кв", ;Height = 17, ;Left = 45, ;Top = 24, ;Width = 253, ;TabIndex = 9, ;Name = "Label1"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page2.label2 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите интенсивность излучения на выходе осветителя, мВт/см.кв", ;Height = 17, ;Left = 45, ;Top = 60, ;Width = 387, ;TabIndex = 10, ;Name = "Label2"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page2.label3 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите коэффициент пропускания объектива", ;Height = 17, ;Left = 45, ;Top = 100, ;Width = 268, ;TabIndex = 11, ;Name = "Label3"ADD OBJECT mainform.pageframe1.page2.label4 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Введите коэффициент пропускания фотошаблона", ;Height = 17, ;Left = 45, ;Top = 142, ;Top = 386, ;201Left = 477, ;Height = 27, ;Width = 84, ;Caption = "Расчёт", ;Name = "cmdRun"ADD OBJECT cmdabout AS commandbutton WITH ;AutoSize = .T., ;Top = 386, ;Left = 48, ;Height = 27, ;Width = 94, ;Caption = "О программе", ;Name = "cmdAbout"PROCEDURE UnloadCLEAR EVENTSENDPROCPROCEDURE cmdrun.ClickIF this.Parent.pageframe1.ActivePage = 1DO FORM r1 WITH ;this.Parent.pageframe1.Page1.txtLen.Value,;this.Parent.pageframe1.Page1.txtApp.Value,;this.Parent.pageframe1.Page1.txtRazr.Value,;this.Parent.pageframe1.Page1.txtRasf.ValueELSEDO FORM r2 WITH ;this.Parent.pageframe1.Page2.txtDoza.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtInten.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtPropO.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtPropF.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtDiam.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtLen.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtWid.Value,;this.Parent.pageframe1.Page2.txtCount.ValueENDIFENDPROCPROCEDURE cmdabout.ClickIF !WEXIST([about])DO FORM aboutENDIFENDPROCENDDEFINE**-- EndDefine: mainform*****************************************************************************************************-- Class:r1 (d:\tp\class\basic.vcx)*-- ParentClass: form*-- BaseClass:form*-- Time Stamp:09/11/12 11:55:02 PM*DEFINE CLASS r1 AS formBorderStyle = 2Height = 277Width = 373ShowWindow = 2DoCreate = .T.AutoCenter = .T.Caption = "Минимальный разрешаемый размер и глубина фокуса"MaxButton = .F.MinButton = .F.WindowType = 1Name = "r1"ADD OBJECT shape2 AS shape WITH ;202Top = 20, ;Left = 18, ;Height = 162, ;Width = 337, ;SpecialEffect = 0, ;Name = "Shape2"ADD OBJECT shape1 AS shape WITH ;Top = 202, ;Left = 18, ;Height = 63, ;Width = 337, ;SpecialEffect = 0, ;Name = "Shape1"ADD OBJECT label1 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Длинна волны излучения, нм", ;Height = 17, ;Left = 27, ;Top = 30, ;Width = 168, ;TabIndex = 5, ;Name = "Label1"ADD OBJECT label2 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Числовая аппертура объектва", ;Height = 17, ;Left = 27, ;Top = 66, ;Width = 175, ;TabIndex = 6, ;Name = "Label2"ADD OBJECT label3 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Параметр разрешающей способности", ;Height = 17, ;Left = 27, ;Top = 106, ;Width = 220, ;TabIndex = 7, ;Name = "Label3"ADD OBJECT label4 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Параметр допуска расфокусировки", ;Height = 17, ;Left = 27, ;Top = 148, ;Width = 204, ;TabIndex = 8, ;Name = "Label4"ADD OBJECT txtlen AS textbox WITH ;Alignment = 0, ;BackStyle = 1, ;BorderStyle = 0, ;Enabled = .F., ;Height = 23, ;InputMask = "999", ;Left = 277, ;TabIndex = 1, ;Top = 27, ;Width = 60, ;ForeColor = RGB(0,0,0), ;DisabledForeColor = RGB(0,0,0), ;Name = "txtLen"203Enabled = .F., ;Height = 23, ;InputMask = "", ;Left = 277, ;TabIndex = 4, ;Top = 236, ;Width = 60, ;ForeColor = RGB(0,0,0), ;DisabledForeColor = RGB(0,0,0), ;Name = "txtGlub"ADD OBJECT label7 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;FontBold = .T., ;Caption = "[Результаты расчёта]", ;Height = 17, ;Left = 36, ;Top = 194, ;Width = 129, ;ForeColor = RGB(255,0,0), ;Name = "Label7"ADD OBJECT label8 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;FontBold = .T., ;Caption = "[Исходные параметры]", ;Height = 17, ;Left = 33, ;Top = 11, ;Width = 139, ;ForeColor = RGB(0,0,255), ;Name = "Label8"PROCEDURE InitLPARAMETERS tnLen, tnApp, tnRazr, tnRasfthis.txtLen.Value = tnLenthis.txtApp.Value = tnAppthis.txtRazr.Value = tnRazrthis.txtRasf.Value = tnRasfthis.txtRazm.Value = ;this.txtRazr.Value * this.txtLen.Value / this.txtApp.Valuethis.txtGlub.Value =;this.txtRasf.Value * this.txtLen.Value / ( 1000* this.txtApp.Value ^ 2 )ENDPROCName = "R2"ADD OBJECT txtexpall AS textbox WITH ;Alignment = 0, ;BackStyle = 1, ;BorderStyle = 0, ;Value = 0, ;Enabled = .F., ;Format = "K", ;Height = 23, ;InputMask = "", ;Left = 438, ;TabIndex = 7, ;Top = 413, ;Width = 60, ;DisabledForeColor = RGB(0,0,0), ;Name = "txtExpAll"ADD OBJECT txtexp1 AS textbox WITH ;Alignment = 0, ;BackStyle = 1, ;BorderStyle = 0, ;Value = 0, ;Enabled = .F., ;204Format = "K", ;Height = 23, ;InputMask = "", ;Left = 438, ;TabIndex = 6, ;Top = 373, ;Width = 60, ;DisabledForeColor = RGB(0,0,0), ;Name = "txtExp1"ADD OBJECT txtproizv AS textbox WITH ;Alignment = 0, ;BackStyle = 1, ;BorderStyle = 0, ;Value = 0, ;Enabled = .F., ;Format = "K", ;Height = 23, ;InputMask = "", ;Left = 438, ;TabIndex = 8, ;Top = 447, ;Width = 60, ;DisabledForeColor = RGB(0,0,0), ;Name = "txtProizv"ADD OBJECT label13 AS label WITH ;AutoSize = .T., ;BackStyle = 0, ;Caption = "Производительность системы, пластин/час", ;Height = 17, ;Left = 50, ;Top = 447, ;Width = 249, ;TabIndex = 8, ;Name = "Label13"PROCEDURE InitLPARAMETERS tnDoza, tnInten, tnPropO, tnPropF, tnDiam, tnLen, tnWid, tnCountthis.txtDoza.Value = tnDozathis.txtInten.Value = tnIntenthis.txtPropO.Value = tnPropOthis.txtPropF.Value = tnPropFthis.txtDiam.Value = tnDiamthis.txtLen.Value = tnLenthis.txtWid.Value = tnWidthis.txtCount.Value = tnCountthis.txtExp1.Value =;this.txtDoza.Value / ( this.txtInten.Value * this.txtPropO.Value *this.txtPropF.Value )this.txtExpAll.Value=;1.4 * ( this.txtExp1.Value * this.txtCount.Value * PI() * ( 0.375 *this.txtDiam.Value ) ^ 2 /;( 3600* this.txtLen.Value * this.txtWid.Value ) )this.txtProizv.Value =;this.txtCount.Value / this.txtExpAll.ValueENDPROCENDDEFINE**-- EndDefine: r2**************************************************205.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
