Информационная система поддержки принятия решений при проектировании процесса ультрафиолетовой литографии (1090501), страница 26
Текст из файла (страница 26)
– М. :Машиностроение, 1986. – 216 с.16.Сольницев Р.И. Автоматизация проектирования систем автоматическогоуправления. – М.: Высш. шк., 1991. – 335 с.17.НоренковИ.П.Введениевавтоматизированноепроектированиетехнических устройств и систем. – М.: Высшая школа, 1986. – 304 с.,18.Алексеев О.В., Головков А.А., Пивоваров И.Ю. и др. Автоматизацияпроектирования радиоэлектронных средств. – М.: Высшая школа, 2000. – 479 с.19.ГОСТ 34.601-90 «Информационная технология. Комплекс стандартов наавтоматизированные системы. Стадии создания».20.Швецов А.
Н., Яковлев С. А. Распределенные интеллектуальныеинформационные системы. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ, «ЛЕТИ», 2003.21.Sen A. Collective Choice and Social Welfare. San Francisco: Holden Day; 1970.225 gp.22.Вилкас Э. Й. Оптимальность в играх и решениях. М.: ФИЗМАТЛИТ, 1990.С. 225-227.23.Катулев А. Н. Математические методы в системах поддержки принятиярешений / А. Н. Катулев, Н. А. Северцев. – М.: Высш. шк., 2005.
– 311 с.: ил.24.Саати Т. Принятие решений. Метод анализа иерархий. – М.: Радиосвязь,1993 г. – 320 с., илл.25.Глушко A.A., Родионов И.А., Макарчук B.B. Моделирование технологииизготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD //184Технологияиконструированиевэлектроннойаппаратуре.2007. №4. С.32-34.26.Sawicki J.D.
DFM: What is it and what will it do? // Mentor Graphics. 2004.April. 6 p.27.Born M., Wolf. E. Principles of Optics: 6th ed. / Pergamon Press. Oxford, UnitedKingdom. 1993.986 р.28.Львов Б. Г. Основы теории технических систем. – М.: МИЭМ,1991.– 136 с.29.Арменский Е.
В., Львов Б. Г., Митрофанов С. А. Стратегия построенияконцептуальной модели технического объекта. / Межвузовский сборник «Методымоделирования и оптимизации в САПР конструкторско-технологических работ».– М.: МИЭМ, 1989. – с. 3 – 6.30.Корячко В.П. и др. Теоретические основы САПР / В.П. Корячко, В.М.Курейчик, И.П. Норенков. – М.: Энергоатомиздат, 1987. – 400 с.31.Солодовников В. В. Теория автоматического регулирования. В 3-х кн. М.:Машиностроение. Кн. 1, 1967. 768 с.32.Банди Б. Методы оптимизации. Вводный курс: Пер.
с англ. – М.: Радио исвязь, 1988. – 128 с.: ил. ISBN 5-256-00052-7.33.Бутковский А.Г., Пустыльников Л.М. Теория подвижного управлениясистемами с распределенными параметрами. – М.: Наука, 1980.34.Чубаров Е.П. Управление системами с подвижными источникамивоздействия. – М.: Энергоатомиздат, 1985.35. Современное состояние теории исследования операций / Под ред. Н.Н.Моисеева. – М.: Наука, 1979.36.Семенкин Е.С., Семенкина О.Э., Терсков В.А. Методы оптимизации вуправлении сложными системами: Учебное пособие. – Красноярск: Сибирскийюридический институт МВД России, 2000. – 254 с.37.Катулев А.Н., Северцев Н.А. Математические методы в системахподдержки принятия решений. – М.: Высшая школа, 2005.
– С. 30-31.18538.Борн М., Вольф Э. Основы оптики. – М. Наука, 1970. -856с.39.Гудмен Дж. Статистическая оптика. – М. Мир, 1988. С 267-306.40.Атлас цветов / Г.П. Вишняк, В.А. Жуков, Э.Г. Певзнер [и др.] – М.:Экспериментальная типография ВНИИ полиграфии, 1986.41.Мясников Е. B. Анализ методов снижения размерности в задачепредставления коллекции цифровых изображений // Компьютерная оптика - Том32, №3. – 2008.
- С. 296-301.42.Мясников, Е.В. Навигация по коллекции цифровых изображений на основеметода автоматической классификации / Е.В. Мясников // Интернет-Математика2007: сборник работ. – Екатеринбург: Изд-во Урал. Ун-та, 2007. – С. 144-152.43.Родионов И.А. Исследование влияния параметров технологическогопроцессалитографииполучаемыхнанаминимальныекремниевойпластинекритические//размерыНаукоёмкиеэлементов,технологиииинтеллектуальные системы 2007: Сборник трудов 9-ой Всероссийской научнотехнической конференции. М. 2007. С.
219-224.44.Родионов И.А., Макарчук В.В. Коррекция оптических эффектов близостипри проектировании микросхем // Технология и конструирование в электроннойаппаратуре. 2007. №3. С. 30-32.45.Родионов И.А. Методы коррекции оптических эффектов близости //Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007: Сборник трудов9-ой Всероссийской научно-технической конференции. М. 2007. С. 174-178.46.Слободин М.Ю., Царев Р.Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивныхметодов выбора и принятия решения при проектировании корпоративныхинформационно-управляющих систем. – СПб.: Инфо-да, 2004. – 223 с.47.Корпачев М.
Ю. Техническое обслуживание автоматизированных системуправления [Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.:Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий:Материалы международной научно-практической конференции (2013) / Отв. ред.:И. А. Иванов; под общ. ред.: С.
У. Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМНИУ ВШЭ, 2013. С. 439-441.18648.Корпачев М. Ю. Многокритериальная задача принятия решения припроектировании УФ-литографического модульного оборудования [Текст] / ВасинВ. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Степанчиков С. В. //Автоматизация и современные технологии. 2013. № 4. С. 19-24.49.Корпачев М. Ю. Задача морфологической коррекции в литографическойтехнологии для опто- и наноэлектроники [Текст] / Ивашов Е.
Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С. // В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы имикросистемы: Труды XV международной конференции. Ульяновск : УлГУ, 2012.С. 54-55.50.Батищев Д.И. Методы оптимального проектирования. – М.: Радио и связь,1982. – 169 с.51.Боровков А.А. Математическая статистика. Оценка параметров, проверкагипотез. – М.: Наука, 1984. – 472 с.52.Гвишиани Д.М., Емельянов С.В. Многокритериальные задачи принятиярешений // М.: Машиностроение, 1978. – 192 с.53.ПодиновскийВ.В.,НогинВ.Д.Парето-оптимальныерешениямногокритериальных задач. – М.: Наука, 1982. – 256 с.54.Озерной В.М., Гафт М.Г.
Методология решения многокритериальных задач// Многокритериальные задачи принятия решений. – М.: Машиностроение, 1978. –С. 14-17.55.Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Корпачев М. Ю.Проектирование технологического оборудования в случае малых выборок наоснове опорных точек // Успехи современного естествознания. 2014. № 5. С.
132136.56.Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФлитографического модульного оборудования // Автоматизация и современныетехнологии. 2013. № 4. С. 19-24.57.Parzen E.
On the estimation of a probability density function and mode // Ann.Math. Statist. – 1962. – P. 1065.18758.Искусственный интеллект: В 3-х кн. Системы общения и экспертныесистемы / Под ред. Э.В. Попова. – М.: Радио и связь, 1990.59.Кофман А. Введение в теорию нечетких множеств. – М.: Радио и связь,1983. – 432 с.60.КорпачевМ.Ю.Алгоритмвыборатехнологическогорешениявультрафиолетовой литографии [Текст] / Ивашов Е.
Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С. // В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронногоприборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции«INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва / Отв. ред.: А. С. Сигов. Ч. 7:Проблемы надежности и качества. М.
: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 8287.61.Корпачев М. Ю. Коррекция эффектов оптической близости в литографии[Текст] / Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. // В кн.:Инновационныеинформационныетехнологии: Материалымеждународнойнаучно-практической конференции / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов. Т. 3. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 436-440.62.Корпачев М. Ю. Построение управляющей системы для современноголитографического оборудования [Текст] / Ивашов Е.
Н., Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И. А. Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 447-448.63.Норенков И. П.Введениевавтоматизированноепроектированиетехнических устройств и систем.
М.: Высшая школа, 1980. 384 с.64.Корпачев М. Ю. Критерий качества в автоматизированном проектированииэлементов формирования топологии в ультрафиолетовой литографии [Текст] /Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С. В. //Электротехнические и информационные комплексы и системы. 2012. № 3. С. 4651.18865.Корпачев М. Ю.
Обработка информации о предпочтениях при поискерешений отражательных фотошаблонов для ультрафиолетовой литографии[Текст] / Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С.В. // Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3. С.77-85.66.Бельков В.Н., Ланшаков В. Л. Автоматизированное проектированиетехническихсистем:Учебноепособие//Издательство «АкадемияЕстествознания», 2009 год. ISBN 978-5-91327-056-6.67.Характеристики качества функционирования нанолитографических системв автоматизированном проектировании [Текст] / Балан Н.
Н., Васин В. А., ИвашовЕ. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С. В. // Вестник компьютерных иинформационных технологий. 2012. № 12. С. 8-15.68.Корпачев М. Ю. Анализ вариантов литографических систем при выборепроектных решений для микроэлектронного производства [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв. ред.: И.
А. Иванов; под общ. ред.: С. У.Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 442-444.69.Корпачев М. Ю. Анализ вариантов литографических систем при выборепроектных решений для микроэлектронного производства [Текст] / Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю. // В кн.: Инновации на основе информационных икоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународнойнаучно-практической конференции (2013) / Отв.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
