Лекция №9 Газовые системы и компоненты (1065519)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Системы подачи газа и ихкомпонентыВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №9Системы подачи газаНабор компонентов для дозированного ввода газа(или смеси газов):В рабочую камеру для обеспечениятехнологического процессаВ форвакуумные или турбомолекулярные насосыдля продувкиВ криогенные насосы для ускорения процессарегенерацииДля разгерметизации камер и других элементовКомпоненты систем подачи газа.Газовые баллоныГазовый баллон – сосуддля хранения газа. Наиболеераспространённыеобъёмы: 1, 5, 10, 40,50 л Стандартноедавление: 150 атм.Компоненты систем подачи газа.Генераторы газовГенераторы газовпредназначены дляполучения ряда газовиз воздуха Кислород Водород АзотКомпоненты систем подачи газа.Редукторы баллонныеБаллонный редуктор – устройство дляпонижения (редуцирования) давления.Компоненты систем подачи газа.Редукторы баллонныеКомпоненты систем подачи газа.Регулятор давленияРегулятор давления –устройство дляустановления истабилизациидавленияКомпоненты систем подачи газа.ФильтрыФильтр – устройстводля повышениячистоты и газа. Механические КаталитическиеКомпоненты систем подачи газа.НатекателиНатекатель –устройство длядозированнойподачи газа (какправило в формфакторе клапана). Игольчатые КлапаныпропорциональногонапускаКомпоненты систем подачи газа.Регулятор расхода газа (РРГ)РРГ – устройство длядозированнойподачи заданногопотока газа (собратной связью) Тепловые КориолисовыеКомпоненты систем подачи газа.СкрубберыСкруббер – устройство(система) длянейтрализацииопасных газовГазовые панелиГазовые шкафы (кабинеты)Типы газов Технические газы 99,5% Чистые газы 99,999% Особочистые газы 99,9999%Типы соединений Неопределённого типа С резиновыми уплотнениями С металлическими уплотнениямиПример газовой системы установкиМВТУ-11-1.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов лекций