Лекция №10 Газовая среда в камере (1065521)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Газовая среда в рабочей камереВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №10Регулирование газовой средыУправление газовой средой необходимо дляобеспечения: Заданного давления Заданного потока (расхода) Заданного состава газовой смесиРегулирование газовой средыУправление газовой средой необходимо дляобеспечения требований, предъявляемыхтехнологическими процессами илиоборудованием Осаждение тонких плёнок ионно-плазменными,ионно-лучевыми и CVD методами Ионно-плазменное, ионно-лучевое иплазмохимическое травление и очистка Молекулярно-лучевая эпитаксия Отжиг, пайка, сваркаРегулирование газовой средыВыходные параметры регулирования и контроля: Рабочее давление Поток (расход) Состав газовой смеси Комбинация давления, расхода и составагазовой смесиРегулирование и контроль рабочегодавленияКонтроль рабочего давления осуществляетсядатчиками вакуума (совместно со вторичнымиприборами - контроллерами) Показания большинства датчиков зависят отрода газа Для точного контроля рабочего давления смесигазов необходимо использоватьгазонезависимые типы датчиков – емкостные,мембранныеРегулирование и контроль рабочегодавленияРегулирование давления: Изменением потока газа Ручными натекателями РРГ Изменением эффективной скорости откачки Изменением быстроты действия насоса (редко) Изменением проводимости линии откачкиРегулирование состава газовой среды Поток смеси газовустанавливается Скорость откачкипостояннаАвтоматическийрежимРегулирование состава газовой средыРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе) Поток газаизменяется Скорость откачкипостояннаРучной режимРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе) Поток газаизменяется Скорость откачкипостояннаАвтоматическийрежим ПИД законРегулирование рабочего давленияизменением потока газа (на входе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе) Изменяетсяпроводимость линииоткачкиАвтоматическийрежимРегулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе) Поток газапостоянный Скорость изменяетсяАвтоматическийрежимРегулирование рабочего давления изменениемэффективной скорости откачки (на выходе)Регулирование состава газовой среды Поток смеси газовустанавливается Скорость откачкипостояннаРучной режимВакуумная установка нанесениятонких плёнок JVD методомВакуумная установка ВУПВакуумная установка УВН-1М.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов лекций