Лекция №11 Потоки и расходы (1065523)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Потоки и расходыВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №11Поток p = nkT N = (pV)/(kT) kT = const во время всего процесса NkT = pV Q = d(pV)/dt, [Па∙м3/с] = [Ватт] Поток определяет количество тепловойэнергии газа, которая переносится даннымколичеством молекул в секунду.Единицы измерения 1 sccm = 1,69∙10-3 Па∙м3/с? 1 slm = 1,69 Па∙м3/с?Нормальные и стандартные условия НУ P = 101325 Па = 760 Торр T = 273,15 K = 0⁰C СУ P = 1 Бар = 105 Па = 750,06 Торр T = 298,152 K = 25⁰CМассовый и молекулярный расходы Температура не постоянна! Следовательно, величина pV также непостоянна и легко изменяется во времени ипространстве. Остаётся постоянной масса (но не количествомолекул). Следовательно, можно измерять массу газа,проходящую через определённое сечение –массовый расход (mass flow, [кг/с]), иликоличество молекул – молекулярный расход(molecular flow, [молекул/с)Массовый и молекулярный расходы Массовый расходN’ = MQ/(NАkT) [кг/с] Определяется как «стандартный» объём газа вединицу времени. Молекулярный расходN* = Q/kT [молекул/с]Поток и расходПотокQст = Sэф∙Pраб/Pатм [x 6∙104 sccm] Sэф – эффективная скорость откачки, л/с P раб – рабочее давление (Па, мбар, Торр) Pатм – стандартное атмосферное давление(101325 Па, 1013,25 мбар, 760 Торр)Так определяется поток на РРГТурбомолекулярный насос и РРГ ПроверкаSэф [л/с]= Qст [sccm]x 6∙10-4 Pатм/PрабТурбомолекулярный насос и РРГСогласование насосов.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов лекций