Лекция №5 (1065511)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Вакуумные системы среднего ивысокого вакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №5Системы среднего вакуума (до 10-1 Па)В данных системах используется один илинесколько насосов как одинакового, так и разноготипов. Ионно-плазменная очистка и травление(100…10-1 Па) Отжиг (10…10-2 Па) Осаждение тонких плёнок в вакууме (10…10-4Па) Выращивание кристаллов (1…10-2 Па) Диффузия (1…10-2 Па)Получение вакуумаПолучение среднего вакуума:одна стадия Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторныйНасосы (фор)вакуумныеПолучение среднего вакуума:две стадии (ступени) Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторный Насос вакуумный NZ1 Бустерный механический –двухроторный насос типаРутсаНасосы бустерные механическиеДвухступенчатые системы (спарки)Получение среднего вакуума:три стадии (ступени) Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторный Насос вакуумный NZ1 Бустерный механическийдвухроторный насос типаРутса Насос вакуумный NZ2 Бустерный механическийдвухроторный насос типаРутсаТрёхступенчатые системыПолучение среднего вакуума:комбинированные сухие системы Камера вакуумная CV1 Пост форвакуумный: N1 1-я ступень: Кулачково-зубчатый Винтовой 2-я ступень: Бустерный механический насостипа РутсаСухие форвакуумные постыCombinationPump onlyПолучение среднего вакуума:бустерные паромасляные насосы Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторный Насос вакуумный NH1 Бустерный паромасляныйнасосБустерные паромасляные насосыМногоступенчатая системаИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный ПьезорезистивныйДатчики низкого вакуума.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов лекций