Лекция №6 (1065513)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Вакуумные системы высокоговакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №5Системы высокого вакуума (до 10-4 Па)В данных системах используется нескольконасосов разных типов (форвакуумные ивысоковакуумные). Осаждение тонких плёнок в вакууме (10…10-5 Па) Ионная очистка и травление (10-1…10-3 Па) Эпитаксия (10-2…10-4 Па) Ионная имплантация (10-3…10-4 Па) Электронная, ионная и рентгеновскаялитография (10-3…10-4 Па) Диффузионная сварка (10-2…10-4 Па) Электронно-лучевая сварка (10-3…10-4 Па) Лазерное легирование (10-3…10-4 Па)Получение высокого вакуума:общая схема Камера вакуумная CV1 Насос форвакуумный NI1 Насос высоковакуумный N2 Диффузионный Турбомолекулярный КриогенныйПолучение высокого вакуума:диффузионный насосМасляный вакуумПолучение высокого вакуума:диффузионный насосУсловно безмасляный вакуумДиффузионные насосыПолучение высокого вакуума:криогенный насос(Условно)безмасляный вакуумКриогенные насосыКриогенные насосыПолучение высокого вакуума:турбомолекулярный насос(Условно)безмасляный вакуумТурбомолекулярные насосы сподшипниковыми опорамиТурбомолекулярные насосы смагнитным подвесом ротораПолучение высокого вакуума:турбомолекулярный насосБезбайпасная система откачкиПолучение высокого вакуума:турбомолекулярный насосВакуумные откачные постыВысоковакуумные откачные постыПолучение высокого вакуума:гибридные молекулярные насосыБезбайпасная система откачкиГибридные молекулярные насосыИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос форвакуумный NI1 Насос высоковакуумный N2 Датчик вакуума PT1, PT2 Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный Пьезорезистивный Датчик вакуума PM1, PM2 Емкостной Ионизационный Магниторазрядный(инверсно-магентронный) ШирокодиапазонныйДатчики высокого вакуумаКонтроллеры датчиковСистемы с диффузионными насосамиСистемы с диффузионными насосамиСистемы с криогенными насосамиСистемы с турбомолекулярныминасосамиСистемы с турбомолекулярныминасосами: безбайпасная откачка.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов лекций