Лекция №4 (1065509)
Текст из файла
Вакуумные системы низкого исреднего вакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №4Системы низкого вакуума (до 10 Па)В данных системах используется один илинесколько насосов одинакового типа –форвакуумные насосы. Пайка (100…1 Па) Плазмохимическое травление (100…10 Па)Создание вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Вакуум-компрессор Водокольцевой Мембранный Спиральный Кулачково-зубчатый Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторныйНасосы (фор)вакуумныеИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Компрессионный Деформационный Мембранный Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный ПьезорезистивныйДатчики низкого вакуумаОтсечение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Проходной или угловой Кран, клапан или затвор Полное или частичноеотсечение Тип привода: Ручной Пневматический Электромагнитный ЭлектромеханическийЗапорная арматураНапуск атмосферы Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Зависит от объёма камерыКлапаны напуска атмосферыПроверка работоспособности насоса Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Должен измерять предельныедавления насосаПовышение качества вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Ловушка вакуумная B1 Механическая Сорбционная Каталитическая Заливная азотнаяЛовушки форвакуумныеПодача рабочего газа Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Ловушка вакуумная B1 Натекатель VF1 Игольчатый Ручной Электромеханический Пропорционального напуска Регулятор расхода газа (РРГ)НатекателиПримеры установокПримеры установокПримеры установокПримеры установок.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.