Лекция №7 (1065515)
Текст из файла
Вакуумные системысверхвысокого вакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №7Системы сверхвысокого вакуума(до 10-10 Па)В данных системах используется нескольконасосов разных типов (форвакуумные,(высоковакуумные) и сверхвысоковакуумные). Осаждение тонких плёнок в вакууме:термическое, лазерное, электронно-лучевоеиспарение (до 10-6 Па) Лазерная эпитаксия (10-5…10-6 Па) Молекулярно-лучевая эпитаксия (10-6…10-8 Па) Физические исследования: ВИМС, ОЖЭ, АСМ, РЭМи т.д. (до 10-10 Па)Получение сверхвысокого вакуума:до 10-6 ПаПути повышения степени вакуума Уплотнения Прогрев Обработка поверхности Шлюзовая загрузкаУплотнения для НВ, СВ и ВВ Kwik-Flange (KF) – соединение хомутом ирезиновым уплотнениемФланцы стандарта KFХомутДополнительноевнешнее кольцоЦентрирующее кольцоУплотнительное кольцоУплотнения для НВ, СВ и ВВ ISO-F – фланцевое соединение на болтах срезиновым уплотнениемФланецISO-KУплотнительноекольцоЦентрирующеекольцоВнешнеекольцоФланецISO-FУплотнительноекольцоПоворотныйфланецЦентрирующеекольцоПружинное кольцоФланец ISO-FВнешнеекольцоФланецISO-FУплотнения для НВ, СВ и ВВ Фланцевое соединение на струбцинах срезиновым уплотнениемФланец ISOУплотнительноекольцоДвойнаяструбцинаУплотнительноекольцоПолуструбцинаЦентрирующеекольцоЦентрирующеекольцоВнешнеекольцоФланец ISOФланец ISOВнешнеекольцоКорпусУплотнения для СВВ ConFlat (CF) – уплотнение с меднымипрокладкамиБолтыФланцыМедная прокладкаЩель для щупа течеискателяПрогрев Камера Высоковакуумные насосы Клапаны и затворы Элементы трубопроводовПрогрев: ленточные нагревателиПрогрев: ленточные нагревателиПрогрев: кожухиПрогрев: рубашкиПолучение сверхвысокого вакуума:до 10-6 ПаПолучение сверхвысокого вакуума:магниторазрядный насос (до 10-10 Па)Магниторазрядные насосыПолучение сверхвысокого вакуума:трёхступенчатая система (до 10-10 Па)Датчики высокого вакуумаСверхвысоковакуумные установкиСверхвысоковакуумные установкиСверхвысоковакуумные установкиСверхвысоковакуумные установкиСверхвысоковакуумные установкиСверхвысоковакуумные установкиСверхвысоковакуумные установки.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.