EXT75_DX-RUS (1032058), страница 6

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 6)

Для того, чтобы снять экран у насосов с фланцами ISO и CF, аккуратно подденьте его тонким крючком.

Для того чтобы установить новый экран расположите его максимально точно над входным фланцем ISO или CF, а затем с помощью пальцев протолкните его точно вниз. если экран не занял свою позицию, то с помощью подходящего инструмента чтобы не поранить пальцы об острые края экрана расположите его внутри паза.

1. входной фланец ЕХТ

2. входной экран

Рисунок 6. Правильная установка входного экрана (EXT75DX)

1. входной фланец ЕХТ

2. входной экран

Рисунок 7. Правильная установка входного экрана (EXT255DX)

1. Механическое крепление

Существуют два способа надежного крепления насоса DX. Насос можно закрепить на вакуумной системе, используя его входной фланец (см. раздел 3.3.3). если это не возможно в силу конструкции вакуумной системы, то основание насоса фиксируется на раме (раздел 3.3.4).

1. Входной фланец и расположение

Насос может быть закреплен на Вашей вакуумной системе с помощью входного фланца. Насос может быть установлен на любой высоте с отклонением от вертикали не более 2°. Если насос установлен горизонтально, направьте выходной фланец вертикально вниз (20) для уменьшения загрязнения насоса форвакуумным маслом.

Убедитесь, что вход насоса и все компоненты, установленные на входе чистые и не пыльные. Наличие загрязнений на входе насоса может увеличить время откачки.

Насос ЕХТ75DX выпускается с тремя видами фланцев: CF, NW и ISO:

• для насоса с фланцем CF используйте медную прокладку, поставляемую вместе с насосом, и полный комплект болтов для присоединения входного фланца к вакуумной системе.

• для насоса с фланцем ISO используйте зафиксированное круглое уплотняющее кольцо, поставляемое вместе с насосом и как минимум 4 зажима. В противном случае используйте поворотный фланец с зафиксированным круглым уплотняющим кольцом, поставляемым вместе с насосом и полным комплектом болтов для присоединения входного фланца к вакуумной системе.

• для насоса с фланцем NW используйте уплотнение типа Co-Seal и соответствующий хомут (рекомендуется использовать металлический хомут) для присоединения входного фланца к вакуумной системе.

Убедитесь, что со стороны вакуумной системы и трубопровода на насос не действуют внешние силовые воздействия. При необходимости используйте входной сильфонный изолятор. В этом случае вам необходимо закрепить днище насоса на специальном основании, как описано в разделе 3.3.4.

1. Монтаж основания

Основание насоса DX можно зафиксировать на прочном основании с использованием установочных отверстий (рис. 1 и 2).

Замечание: только для насосов EXT75DX 4 резиновые опоры нужно снять перед установкой через отверстия на основание.

Для корректного закрепления насоса и предотвращения его заклинивания рекомендуется соблюдать следующие требования:

Опора должна выдерживать разрушающий момент 333 Нм (EXT75DX) и 620 Нм (EXT255DX).

Фиксирующие винты: по ISO898-1, класс напряжения 12.9(номинальное напряжение 1200 МПа)

Длина винтов 6 мм минимум.

Момент фиксации 6 Нм/0.61 кгс.м (EXT75DX) и 12 Нм/1.22 кгс.м (EXT255DX).

1. Форвакуумный фланец

Используйте подходящие вакуумные трубопроводы и разъемы для присоединения NW фланца выходного порта к Вашему форвакуумному насосу. При необходимости используйте гибкий трубопровод или сильфон для снижения передачи вибрации с форвакуумного насоса на насос DX.

Мы рекомендуем вам использовать форвакуумные насосы серий ЕМ,RV или спиральные XDS производства ВОС Edwards. Минимальные характеристики требуемых форвакуумных насосов приведены в таблице 3. Вам, возможно, придется установить более мощный форвакуумный насос, если Вы будете запускать насос при высоком входном давлении, или если Вам требуется высокая производительность, или если Вы продуваете насос газом, поток которого превышает 25 ст.см³/мин (42 Па л/с).

Насос DX подходит для использования с форвакуумными диафрагменными насосами, хотя эффект высокого выпускного давления на характеристиках насоса и охлаждения не отмечен. См. табл. 3 в разделе 2.1.

1. Промежуточный порт (только для насоса ЕХТ75iDX)

Используйте подходящие вакуумные трубопроводы и разъемы для присоединения промежуточного порта к вакуумной системе или выходному фланце другого турбомолекулярного насоса (если Вы используете ЕХТ75iDX для предварительной откачки другого турбомолекулярного насоса). Оставьте фильтр входного отверстия в промежуточном порту до тех пор, пока Вы не убедитесь, что загрязнения не могут попасть через промежуточный порт.

Замечание: насос EXT75iDX c промежуточным портом NW16 не оборудован входным фильтром

1. Соединение для продувки газа

1. Разъем для продувки

Для подачи газа продувки в насос, снимите заглушку с порта продувки, установите адаптер порта напуска (см. раздел 7.4) на порт продувки и подсоедините устройство подачи газа продувки к адаптеру порта напуска. Используемый Вами для продувки газ должен соответствовать требованиям, указанным в разделе 2.4.

1. Рекомендуемый поток газа

Рекомендуемый поток газа продувки для типовых применений составляет
25 ст.см³/мин (42 Па*л/с). Этот поток достаточен для того, чтобы защитить насос, когда концентрация кислорода в объеме превышает 20%.

Поток газа продувки должен быть ограничен, чтобы соответствовать характеристикам в разделе 2.4. Чтобы ограничить поток газа используйте контроллер потока или регулятор давления или калиброванный дроссель. Для этих целей подходит принадлежность Дроссель продувки РRX10 (см. раздел 7.4). Настройте PRX10 согласно описанию руководства по эксплуатации этой принадлежности.

1. Электрические соединения

1. Введение

Электрические соединения должны выполняться специально квалифицированным персоналом. Подключение насоса к электрическому питанию всегда следует производить после установки насоса в вакуумную систему.

Подключение заземления должно выполняться согласно описанию в разделе 3.5.2.

Если Вы используете контроллер TIC производства ВОСЕ для управления насосом DX, кабель логического интерфейса подключается прямо к контроллеру TIC – см. раздел 3.5.3. Если Вы хотите использовать Ваше управляющее оборудование, то см. раздел 3.5.4. Когда Вы осуществляете подключение электрических соединений насоса DX, см. раздел 3.5.5.

1. Подключение заземления

Мы рекомендуем Вам устанавливать отдельный разъем заземления для заземления насоса EXT75DX. Используйте неизолированный шнур или желто-зеленый изолированный проводник, винты М5х10 и гайку (установлены на отверстии заземления на насосе) для закрепления провода заземления. Импеданс (полное сопротивление) между насосом и разъемом заземления должно быть <0.1 Ом.

1. Подключение логического интерфейса к контроллеру TIC

Вы можете использовать контроллер TIC производства ВОСЕ для управления насосом DX (см. руководство по эксплуатации контроллера TIC). Кабель логического интерфейса насоса подключается напрямую к контроллеру TIC.

1. Подключение логического интерфейса к Вашему управляющему
   оборудованию

Вы можете использовать Ваше управляющее оборудование для управления наосом DX, используя подходящий разъем (не входит в комплект поставки) для кабеля логического интерфейса (см. табл. 7). Описание электрических соединений насоса DX описано ниже. В табл. 8 дано описание контактов разъема логического интерфейса.

Вы можете управлять насосом, используя интерфейс параллельного управления оборудованием или с помощью команд, посылаемых через интерфейс последовательного подключения.

Если Вы хотите использовать интерфейс параллельного управления оборудованием см. раздел 3.6. Если Вы хотите управлять насосом с помощью команд, посылаемых через интерфейс последовательного подключения, см. раздел 3.7. Логический интерфейс обеспечивает возможность работы в обоих режимах; однако Вы не можете посылать команды в обоих режимах одновременно (см. раздел 3.7.6).

1. Подключение электропитания

См. рис. 8, где приводится схема соединений логического интерфейса.

Электропитание насоса DX должно соответствовать требованиям BS EN 61010-1 / C22.2 1010-1. проверьте, что опасное напряжение, как определено в EN61010 не может присутствовать в электрических соединениях насоса.

Линию 0В насоса EXT75DX можно не подключать к заземлению. Проверьте, что электропитание обеспечивает связь (<=22 кОм) между 0В и заземлением.

Характеристики

Список файлов учебной работы