EXT75_DX-RUS (1032058), страница 2

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 2)

1.1 Об этом руководстве

Данное руководство содержит инструкции по установке и техническому обслуживанию, а также описание работы DX гибридных турбомолекулярных насосов производства BOC Edwards. Необходимо использовать насосы так, как описано в настоящем руководстве, иначе безопасность работы насоса не будет гарантирована.

Прочтите данное руководство, прежде чем Вы приступите к установке и работе с оборудованием. Важная для безопасности информация помечена знаками ВНИМАНИЕ и МЕРЫ ПРЕДОСТОРОЖНОСТИ – необходимо строго следовать этим указаниям. Ниже описано, в каких случаях используются эти знаки.

Единицы измерения, используемые в данной инструкции, соответствуют международной системе единиц измерения (системе СИ). Также в руководстве для определения потока используется аббревиатура «ст.см³/мин», что означает «стандартный см³/мин»: поток 1 см³/мин при температуре окружающей среды 0°С и при давлении 1,01310⁵ Па (1013 мбар).

В соответствии со стандартом EN61010 на насос нанесены следующие символы

Меры предосторожности (прочтите сопутствующую документацию)

Меры предосторожности – горячая поверхность

Единицы измерения в данном руководстве соответствуют требованиям системы SI

1. Общее описание

Насос DX состоит из гибридного турбомолекулярного насоса с встроенного блока управления, содержащего электронные компоненты управления.

Встроенный блок управления управляет электропитанием насоса. Он не имеет ручного управления, и может управляться только через логический интерфейс. Для работы с насосом DX Вы должны подключить его в Вашему управляющему оборудованию и источнику питания или к контроллеру турбонасосов и измерительных приборов TIC производства ВОС Edwards.

Встроенный блок управления управляет безщеточным двигателем прямого тока в насосе. Насос оборудован тремя датчиками Холла, которые работают как датчики положения ротора и гарантируют, что движущий ток корректно подключен к фазам двигателя.

Вакуумный насос содержит турбомолекулярные лопатки и механизмов скольжения Холвека, установленные на одном валу. Механизм Холвека позволяет работать при более высоких давлениях, чем простые турбомолекулярные насосы.

При поставке насоса DX на входной фланец устанавливается входной экран. Насос ЕХТ75iDX и ЕХТ255iDX также имеет фильтр входного отверстия, установленный на промежуточном порту NW25. Экран входного отверстия и фильтр защищают насос от повреждения, которые могут произойти при попадании загрязнений в насос. Экран также защищает пользователя от острых лопаток внутри насоса.

Замечание: насос EXT75iDX с промежуточным портом NW16 не оборудован входным экраном.

Насос DX имеет порт напуска, который Вы можете использовать для напуска воздуха в насос и вакуумную систему до атмосферного давления. На насосе установлен клапан напуска с ручным управлением. Вы можете заменить клапан напуска с ручным управлением на клапан напуска с электромагнитным управлением TAV5 или TAV6 (поставляется отдельно, см. раздел 7).

Насос DX содержит порт продувки. Вы можете подавать инертный газ продувки для защиты двигателя и подшипников от коррозии. Через этот порт Вы можете подавать инертный газ, чтобы защитить смазку подшипников от воздействия высокой концентрации кислорода. Вы можете установить дополнительный адаптер порта напуска и дроссель продувки для управления потоком газа продувки и фильтрации подаваемого газа (см. раздел 7).

Насос DX может принудительно охлаждаться при использовании дополнительного вентилятора или c помощью системы водяного охлаждения (см. раздел 7).

1. Система электронного управления

Встроенный блок управления содержит электронику, которая управляет работой насоса и принадлежностей, таких как клапан напуска TAV или вентилятора. На верху блока расположены разъемы для подключения клапана напуска TAV или вентилятора (см. раздел 2.9).

Встроенный блок управления снабжен двумя светодиодными индикаторами, сигнализирующими состояние работающего насоса, и могут так же использоваться для поиска неисправностей в случае обнаружения неисправностей (см. раздел 2.10).

Система электронного управления имеет ряд характеристик для обеспечения безопасности, которые защищают насос DX в случае повышения давления или температуры:

• Система электроники постоянно наблюдает за температурой внутри самого модуля и двигателя внутри насоса. Если какая-нибудь из частей перегревается, электроника понижает подаваемую двигателю насоса мощность, и скорость насоса начнет снижаться. Если скорость вращения упадет ниже 50% от полной скорости вращения, электроника может перевести насос в состояние неисправности в зависимости от того, как Вы настроили систему управления насосом (см. раздел 1.4.3).

• Если входное давление насоса DX, потребляемая мощность будет возрастать для нейтрализации газовой нагрузки. Однако, при возрастании мощности до максимального установленного предела, скорость насоса начнет снижаться. Если скорость вращения упадет ниже 50% от полной скорости вращения, электроника может перевести насос в состояние неисправности в зависимости от того, как Вы настроили систему управления насосом (см. раздел 1.4.3).

• В случае неисправностей в подаче питания система управляющей электроники будет использовать двигатель насоса как генератор. Это означает, что насос DX имеет свой собственный источник питания и не требует отдельного аварийного источника питания. Регенерируемая энергия используется для поддержания работы разъемов на встроенном блоке управления в то время как скорость вращения насоса ниже 50% от полной скорости вращения: это будет гарантировать, что клапан напуска будет закрыт при скорости насоса ниже 50% от полной скорости и предотвратит напуск воздуха в насос при его работе на полной скорости, обеспечивая, что на питание насоса 24 В постоянного тока не будет большой нагрузки.

1. Функциональные достоинства

В дополнении к основным командам включения и выключения, насос DX обладает рядом характеристик, улучшающих его функциональность. Эти возможности позволяют Вам настроить работу насоса под Ваш технологический процесс. В табл. 13 приводятся установленные изначально (заводские) значения характеристик, обсуждаемых в следующих разделах.

1. Установки ограничения мощности

Вы можете установить значение максимальной мощности, которую может потреблять насос (раздел 4.1.1). Большая мощность, которую Вы можете подать на насос, ускорит разгон насос до достижения полной скорости насоса. Поэтому, если для Вашего технологического процесса требуется быстрый цикл, то Вам следует установить наибольшее предельное значение мощности. Если время разгона для Вашего технологического процесса не существенно, Вы можете установить минимальное предельное значение мощности (см. табл. 1).

Таблица 1. Ограничения мощности

Вы должны быть уверены, что используемый источник питания имеет возможность изменения подаваемого питания. Выбрав минимальное предельное значение мощности, Вы можете использовать источник питания меньшей мощности. Дополнительная информация приведена в разделе 2.7.

1. Скорость холостого хода

В режиме холостого хода скорость вращения насоса ниже полной скорости вращения.

Если для Вашего технологического процесса не требуется работа насоса на максимальной скорости в течении всего времени, то вместо выключения насоса Вы можете использовать возможности режима холостого хода. Это поможет Вам сэкономить время, Вам не придется останавливать насос или напускать в него воздух, ждать разгона до максимальной скорости.

Значение скорости холостого хода устанавливается пользователем. В разделе 4.1. 4 описана установка скорости холостого хода.

1. Таймер

При запуске насоса автоматически включается внутренний таймер, сходящий в систему электронного управления. Если насос не достигает 50% от полной скорости за предустановленный на таймере промежуток времени, то встроенный блок управления выдаст сигнал сбоя Fail и начнется торможение насоса. Эта функция обеспечивает безопасность и предотвращает управление насосом через встроенный блок управления на максимальной мощности в течение длительного времени, т.к. это может привести к разрушению насоса. Насос не сможет разогнать до 50% от полной скорости при высокой газовой нагрузке (например, при наличии течей в системе), если форвакуумный насос неисправен или если насос перегрелся.

Значение периода задержки (время таймера) устанавливается пользователем. Так, если для Вашего технологического процесса требуется медленный разгон, Вы можете увеличить время задержки. В разделе 4.1.6 описана установка времени задержки. Таймер постоянно включен для времени задержки.

Таймер снабжен дополнительной возможностью: если скорость насоса снизится ниже 50% от полной скорости вращения по каким-либо причинам, Вы можете дать насосу время на восстановление, прежде чем перейти в состояние неисправности Fail. Таймер запустится, как толь скорость насоса упадет до 50% от полной скорости. Если в течение времени задержки скорость насоса возрастет выше 50% от полной, таймер будет восстановлен. Если скорость вращения насоса не возрастет к концу времени задержки, то модуль Podule перейдет в состояние неисправности и насос будет остановлен. При получении насоса таймер будет включен, однако при желании Вы можете отключить эту функцию. При отключенном Таймере насос будет переведен в состояние неисправности Fail как только скорость его вращения упадет ниже 50% от полной.

1. Аналоговый выходной сигнал

Встроенный блок управления имеет один аналоговый выходной сигнал, который позволит Вам наблюдать за одним из четырех параметров:

• измерение скорости вращения насоса

• измерение мощности двигателя насоса

• измерение температуры двигателя насоса

• измерение температуры контроллера (модуля)

Аналоговый выходной сигнал лежит в диапазоне 0…10 В и прямо пропорционален параметрам системы (раздел 2.8).

Характеристики

Список файлов учебной работы