EXT75_DX-RUS (1032058), страница 3
Текст из файла (страница 3)
Вы можете присоединить аналоговый выходной сигнал к подходящему индикатору или измерительному устройству для отображения соответствующих параметром или подключить Ваше устройство управления (например, чтобы управлять другими компонентами системы откачки в зависимости от предустановленных значений).
При использовании аналогового выходного сигнала Вы можете наблюдать только за одним параметром системы. Однако Вы можете легко настроить встроенный блок управления, чтобы наблюдать за другим параметром (раздел 4.1.7).
-
Функция автоматического напуска
Клапан напуска TAV производства ВОС Edwards можно напрямую подключать к модулю управления Podule DX. Модуль Podule имеет возможность управления различными функциями напуска.
Система электронного управления может управлять диапазоном потока напуска. Использование этой возможности дает возможность напускать воздух в насос контролируемым образом при любой скорости вращения начиная с полной, что не разрушит подшипники насоса. Когда скорость вращения насоса упадет ниже 50% от максимальной скорости, то полное открытие клапана напуска (грубый напуск) будет безопасным.
Так же Вам доступны различные функции напуска:
-
грубый напуск, когда скорость вращения упадет ниже 50% от полной скорости вращения
-
контролируемый напуск при скорости выше 50% от полной и грубый напуск при скорости ниже 50% от полной
-
срочный грубый напуск через подходящий дроссель.
Полный перечень функций напуска приведен в разделе 3.8
В дополнение существует функция напуска, которая позволяет задержать запуск насоса DX. С помощью этой функции Вы можете закрыть клапан напуска перед запуском насоса DX. Это позволит форвакуумному насосу понизить давление в вакуумной системе перед запуском насоса DX.
Если Вы не хотите использовать модуль Podule для управления клапаном напуска TAV, то Вы можете использовать его для работы вентилятора. Вы можете настроить модуль Podule так, что вентилятор будет постоянно включен.
-
Установки рабочей скорости
Значение скорости холостого хода устанавливается пользователем в диапазоне 50…100% от полной скорости вращения насоса. Когда насос достигнет установленной рабочей скорости, по на рабочий контакт на разъеме логического интерфейса будет подан сигнал. Вы можете использовать этот сигнал для управления Вашим технологическим процессом, отображения скорости насоса, и таким образом вакуумных характеристик (достижения минимального уровня).
-
Электронное торможение
Насос снабжен функцией электронного торможения, выбираемой пользователем. При поставке она отключена. С отключенной функцией электронного торможения потребление мощности насосом будет расти при разгоне и работе и снижаться при выключении (торможении).
Функция электронного торможения может быть включена для уменьшения времени торможения (остановки насоса) и для возврата части энергии от насоса. Это достигается путем возврата мощности от насоса обратно к источнику электропитания. Диапазон, в котором электрическая энергия может быть возвращена источнику, регулируется относительно предела напряжения источника питания 24В+10%. Чтобы достичь максимально короткого времени электронного торможения, то для возвращаемой энергии должны выполняться следующие требования:
-
источник питания может принимать возвращаемую энергию
-
другие устройства отделены от шины насоса 24 В
-
нагрузка резистора примерно 10Ом включенная на питание 24 В при остановке насоса.
-
Логический интерфейс
Встроенный блок управления может работать только с помощью логического интерфейса. Существуют 3 типа сигналов логического интерфейса:
-
входной сигнал управления Входной сигнал переключения, который используется для управления работой насоса
-
выходной сигнал Выходной сигнал определяет состояние системы
-
аналоговый выходной сигнал Этот выходной сигнал в диапазоне 0…10 В позволяет выводить сигналы различных параметров насоса.
Логический интерфейс разработан таким образом, что включает оба режима работы последовательной и параллельной для управления и наблюдения при работе через один разъем. Насос может работать, используя метод последовательного или параллельного подключения или их комбинации.
Разъем логического интерфейса можно подключить к различным контроллерам серии TIC или вашей системе управления. Наиболее полезные способы применения описаны ниже в данном разделе.
Подробная информация о логическом интерфейсе приведена в разделе 2.8.
-
Параллельное управление и наблюдение
Простой параллельный интерфейс является быстрым и легким способом управления насосом, этот же самый интерфейс 24 В постоянного тока используется в турбомолекулярных насосах производства ВОС Edwards Доступными функциями управления являются Запуск Start и Холостой Ход Standby. Вы можете наблюдать за состоянием системы, используя следующие выходные сигналы: Рабочий Nominal, Неисправность Fail, аналоговый Analogue.
Замечание: ключ последовательного соединения Serial Enable Switch должен быть разомкнут (не подключен).
Дополнительная информация по использованию параллельного интерфейса приведена в разделе 3.6.
Работа системы при использовании только параллельного интерфейса не имеет возможности настройки установок конфигурации, которые хранятся в модуле (установки ограничения мощности или опции управляемого напуска). Это приведет к затруднениям в работе, т.к. будут использоваться только исходные установки. Однако модуль Podule можно настроить отдельно от насоса DX (см. раздел 1.5.5)
-
Полное последовательное управление
Связь, обеспеченная при подключении через последовательный порт, обеспечивает полное управление и наблюдение путем использования трех линий сигналов. Последовательные данные RX и TX используют одни и те же разъемы, что и параллельные сигналы Холостого Хода и Неисправности.
Последовательный сигнал Serial Enable должен быть соединен с 0 В (нулевой сигнал) для получения доступа к командам в режиме последовательного управления. Является функцией обеспечения безопасности и работает как блокировка. Дополнительно параллельный сигнал запуска должен быть отключен для последовательных команд, чтобы обеспечить доступ к полному режиму последовательного управления.
Встроенный блок управления так же обеспечивает рабочий Normal и аналоговый выходные сигналы на разъеме логического интерфейса даже при работе в режиме полного последовательного управления. Состояние рабочего сигнала можно так же получить при запросе состояния системы через последовательный интерфейс.
Дополнительная информация по использованию последовательного интерфейса приведена в разделе 3.7.
-
Последовательное управление с параллельным наблюдением
С того момента, как Рабочий и аналоговый сигналы станут доступны при использовании режима последовательного управления, то появляется возможность управления насосом через последовательный интерфейс с наблюдением за этими сигналами с использованием параллельных связей.
Так же, последовательные данные RX и TX используют одни и те же разъемы, что и параллельные сигналы Холостого Хода и Неисправности. И таким образом сигналы параллельного управления и наблюдения будут недоступны. Последовательный сигнал Serial Enable должен быть соединен с 0 В (нулевой сигнал), а ключ запуска Start Switch должен быть разомкнут (не подключен).
-
Параллельное управление с периодическим последовательным наблюдением или установками
Этот метод управления является наилучшим для пользователей, которые в основном работают с насосом в параллельном режиме, а периодически настраивают параметры конфигурации, хранимые во встроенном блоке управления, или наблюдают за параметрами состояния насоса.
При работе в параллельном режиме, доступны одинаковые сигналы управления и наблюдения за состоянием и описаны в разделе 1.5.1. Однако необходимо отметить, что последовательные данные RX разделяются на одном и том же разъеме от сигналов холостого хода, так что нельзя управлять скоростью холостого хода насоса, используя эту линию.
Последовательный сигнал Serial Enable должен быть соединен с 0 В (нулевой сигнал), чтобы осуществить подключение через последовательный порт. Предполагается, что Вы используете отдельный кабель для последовательного подключения, который содержит связи между последовательным сигналом и нулем. Таким образом, последовательный сигнал автоматически активируется при подключении кабеля и отключается при отсоединении кабеля.
-
Конфигурация модуля Podule (последовательные установки)
Все установки конфигурации, которые хранятся в модуле Podule, сохраняются и после отключения питания насоса DX. Это дает возможность использовать различные системы для конфигурации модуля Podule перед установкой насоса DX в вашу систему. Это расширяет функциональность использования насоса в технологическом процессе и позволяет работать насосу с системой с простым параллельным интерфейсом.
Чтобы настроить насос DX, используйте свою систему с последовательным интерфейсом или контроллеры серии TIC производства BOC Edwards. Контроллеры TIC позволяют хранить конфигурацию насоса DX. Можно загрузить конфигурация другого насоса DX. Это удобно, если есть несколько насосов DX с одинаковой конфигурацией, которая храниться в системе.
Контроллер TIC снабжен программой на основе WindowsTM, позволяющей настроить насос DX от одного компьютера PC. Программа с простым интерфейсом, который не использует протокол сообщений ASCII (раздел 3.7). программа контроллера TIC PC позволяет сохранять несколько конфигураций насоса DX и загружать их в разные насосы DX.
2 ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
2.1 Общая информация
Таблица 2. Общие характеристики
| Характеристики | См. табл. 3 |
| Габаритные размеры | Cм. рис. 1 и 2 |
| Максимальная температура входного фланца | |
| ISO63/ISO100/NW40 | 70°C с водяным охлаждением |
| DN63CF(EXT75DX)/DN100CF (EXT255DX) | 100°С прогрев с водяным охлаждением |
| Максимальное магнитное поле | |
| EXT255DX EXT75DX | 3.5 мТл горизонтальное, 7мТл вертикальное 5 мТл |
| Класс чистоты | EN61010, категория 2 |
| Тип оборудования | Стационарное оборудование для использования в помещении |
| Класс защиты | |
| EXT255DX & 255iDX EXT75DX & 75iDX/NW25 EXT75iDX/NW16 | IP50 IP50 IP50 |
Таблица 3. Технические характеристики насосов DX
| Параметр | EXT75DX ISO63 | EXT75DX 63CF | EXT75DX NW40 | EXT75DX ISO100 |
| Масса | 3.0 кг | 4.9 кг | 2.9 кг | 3.2 кг |
| Входной фланец | DN63ISO-K | DN63CF | DN40NW | DN100ISO-K |
| Выходной фланец | DN16NW | DN16NW | DN16NW | DN16NW |
| Порт напуска | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP |
| Порт продувки | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP |
| Промежуточный порт (опция) | DN25NW/DN16NW | - | - | - |
| Скорость откачки на входе | ||||
| N2 | 61 л/c | 61 л/c | 42 л/c | 66 л/c |
| He | 57 л/c | 57 л/c | 49 л/c | 59 л/c |
| H2 | 53 л/c | 53 л/c | 48 л/c | 54 л/c |
| Коэфф. Компрессии на входе | ||||
| N2 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 | >1 x 1011 |
| He | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 | 5 x 104 | 5 x 104 | 5 x 104 |
| Быстрота откачки на промежуточном порту насоса DX с N2 (DN16NW) | ||||
| Поток через порт 70 sccm | 10 l s-1 | - | - | - |
| Поток через порт 5 sccm | 3 l s-1 | - | - | - |
| Быстрота откачки на промежуточном порту для | - | |||
| N2 | - | - | - | - |
| He | - | - | - | - |
| Предельное давление : | - | |||
| С вращательным насосом: * | <5 x 10-9 мбар | <5 x 10-10 мбар | <5 x 10-9 мбар | <5 x 10-9 мбар |
| С диафрагменным насосом: ++ | <5 x 10-8 мбар | <5 x 10-9 мбар | <5 x 10-8 мбар | <5 x 10-8 мбар |
Таблица 3. Технические характеристики насосов DX
| Параметр | EXT255DX ISO100 | EXT255iDX ISO100 | EXT255DX 100CF |
| Масса | 6.25 кг | 6.5 кг | 8.5 кг |
| Входной фланец | DN100ISO-K | DN100ISO-K | DN100CF |
| Выходной фланец | DN25NW | DN25NW | DN25NW |
| Порт напуска | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP |
| Порт продувки | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP | 1/8 дюйма BSP |
| Промежуточный порт (опция) | - | DN25NW | - |
| Скорость откачки на входе | |||
| N2 | 220 л/с ‡ | 220 л/с ‡ | 220 л/с ‡ |
| He | 230 л/с ‡ | 230 л/с ‡ | 230 л/с ‡ |
| H2 | 180 л/с ‡ | 180 л/с ‡ | 180 л/с ‡ |
| Коэфф. Компрессии на входе | |||
| N2 | >1 x 108 | >1 x 108 | >1 x 108 |
| He | 4 x 105 | 3 x 105 | 4 x 105 |
| H2 | 1 x 104 | 1 x 104 | 1 x 104 |
| Быстрота откачки на промежуточном порту насоса DX с N2 (DN16NW) | |||
| Поток через порт 70 sccm | - | - | - |
| Поток через порт 5 sccm | - | - | - |
| Быстрота откачки на промежуточном порту | |||
| N2 | - | 10 л/с | - |
| He | - | 8 л/с | - |
| Предельное давление : | |||
| С вращательным насосом: * | <5 x 10-9 мбар входной фланец DN100ISO-K | <5 x10-9 мбар входной фланец DN100ISO-K | <5 x 10-10 мбар входной фланец DN100CF |
| С диафрагменным насосом: ++ | <5 x 10-8 мбар входной фланец DN100ISO-K | <5 x10-8 мбар входной фланец DN100ISO-K | <5 x 10-9 мбар входной фланец DN100CF |
* Давление через 48 часов работы после прогрева с 2х-ступенчатым вращательным форвакуумным насосом.















