EXT75_DX-RUS (1032058)
Текст из файла
| ЗАО «ИНТЕК - Аналитика» | |
B722-40-880
Выпуск D RUS 1
Руководство по эксплуатации
EXT гибридный турбомолекулярный насос
ЕХТ75DX, ЕХТ75iDX, EXT255DX, EXT255iDX
Описание Номер Изделия
EXT75DX ISO63 B722-41-000
EXT75DX CF63 B722-42-000
EXT75DX NW40 B722-43-000
EXT75DX ISO100 B722-45-000
EXT75DX ISO100 (с форвакуумным портом NW25) B722-46-000
EXT75DX ISO63 (с зарезервированным портом) B722-48-000
EXT75iDX NW40 B722-35-000
EXT75iDX ISO63 (с промежуточным портом NW16) B722-37-000
EXT75iDX ISO63 (с промежуточным портом NW25) B722-38-000
EXT255DX ISO100 B753-11-000
EXT255DX CF100 B753-12-000
EXT255iDX ISO100 (с промежуточным портом) B753-13-000
Декларация Соответствия
Мы, ВОС Edwards,
Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 12LW, UK
заявляем под нашу исключительную ответственность, что указанная продукция
EXT гибридный турбомолекулярный насос
| EXT75iDX NW40 (с промежуточным портом ) | В722-35-000 |
| EXT75iDX lSO63/NW1 6 (с промежуточным портом) | В 722-37 -000 |
| EXT75iDX lSO63/NW25 (с промежуточным портом) | В 722-38-000 |
| EXT75DX I5063 | В 722-41-000 |
| EXT75DX CF63 | В 722-42-000 |
| EXT75DX NW4O | В 722-43-000 |
| EXT75DX ISO100 | В 722-45-000 |
| EXT75DX ISO100 (NW25 B-PT) | В 722-46-000 |
| EXT75DX lSO63 с зарезервированным портом | В 722-48-000 |
к которой относится данное соглашение, соответствует следующим стандартам и нормативным документам
| EN(ISO)121002-2:2003 | Требования безопасности, предъявляемые к технологическому оборудованию: основные положения, общие принципы проектирования, технические принципы. |
| EN1012-2:1997 | Требования безопасности, предъявляемые к вакуумным насосом |
| EN61010-1 (2001) | Требования безопасности, предъявляемые к электрическому оборудованию при проведении измерений, контроле и лабораторном использовании* |
| EN61326 (производственное назначение класс В) | Электрическое оборудование для проведения |
| 98/37/ЕС | Инструкция по работе c технологическим оборудованием |
| 89/336/ЕЕС | Инструкция по электромагнитной совместимости |
| 73/023/ЕС | Инструкция по работе при низком напряжении |
*Насос соответствует требованиям ЕN61010-1:2001, если установлен согласно данному
руководству
Система контроля качества изготовления продукции сертифицирована по ISO9001
Декларация Соответствия
Мы, ВОС Edwards,
Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 12LW, UK
заявляем под нашу исключительную ответственность, что указанная продукция
EXT гибридный турбомолекулярный насос
| EXT255DX ISO100 | B753-11-000 |
| EXr255DX CF100 | В753-12-000 |
| EXTZ55iDX lSOl00(с промежуточным постом ) | В753-13-000 |
к которой относится данное соглашение, соответствует следующим стандартам и нормативным документам
| EN(ISO)121002-2:2003 | Требования безопасности, предъявляемые к технологическому оборудованию: основные положения, общие принципы проектирования, технические принципы. |
| EN1012-2:1997 | Требования безопасности, предъявляемые к вакуумным насосом |
| EN61010-1 (2001) | Требования безопасности, предъявляемые к электрическому оборудованию при проведении измерений, контроле и лабораторном использовании* |
| EN61326 (производственное назначение класс В) | Электрическое оборудование для проведения |
| 98/37/ЕС | Инструкция по работе c технологическим оборудованием |
| 89/336/ЕЕС | Инструкция по электромагнитной совместимости |
| 73/023/ЕС | Инструкция по работе при низком напряжении |
*Насос соответствует требованиям ЕN61010-1:2001, если установлен согласно данному
руководству
Система контроля качества изготовления продукции сертифицирована по ISO9001
СОДЕРЖАНИЕ
| Раздел | Название | |
| 1 | ВВЕДЕНИЕ | |
| 1.1 | Об этом руководстве | |
| 1.2 | Общее описание | |
| 1.3 | Система электронного управления | |
| 1.4 | Функциональные достоинства | |
| 1.4.1 | Установки ограничения мощности | |
| 1.4.2 | Скорость холостого хода | |
| 1.4.3 | Таймер | |
| 1.4.4 | Аналоговый выходной сигнал | |
| 1.4.5 | Функция автоматического напуска | |
| 1.4.6 | Установки рабочей скорости | |
| 1.4.7 | Электронное торможение | |
| 1.5 | Логический интерфейс | |
| 1.5.1 | Параллельное управление и наблюдение | |
| 1.5.2 | Полное последовательное управление | |
| 1.5.3 | Последовательное управление с параллельным наблюдением | |
| 1.5.4 | Параллельное управление с периодическим последовательным наблюдением или установками | |
| 1.5.5 | Последовательные установки (блок конфигурации) | |
| 2 | ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
| 2.1 | Основные характеристики | |
| 2.2 | Откачиваема среда | |
| 2.3 | Напуск газа и данные управления напуском | |
| 2.4 | Характеристики продувки газом | |
| 2.5 | Водяное охлаждение | |
| 2.6 | Материалы, контактирующие с откачиваемыми газами | |
| 2.7 | Электрические данные | |
| 2.8 | Разъем логического интерфейса | |
| 2.9 | Разъем встроенного блока управления | |
| 2.10 | Индикаторы | |
| 2.11 | Условия хранения и эксплуатации | |
| 3 | ПОДГОТОВКА К РАБОТЕ | |
| 3.1 | Распаковка и осмотр | |
| 3.2 | Стандартная установка | |
| 3.3 | Установка в вакуумную систему | |
| 3.3.1 | Входной фильтр /входит в комплект поставки/ | |
| 3.3.2 | Механическое крепление | |
| 3.3.3 | Входной фланец и его расположение | |
| 3.3.4 | Монтаж основания | |
| 3.3.5 | Выходной фланец | |
| 3.3.6 | Соединение промежуточного порта (только iDX) | |
| 3.4 | Соединение для продувки газа | |
| 3.4.1 | Разъем для продувки | |
| 3.4.2 | Рекомендуемый поток продувки газа | |
| 3.5 | Электрические соединения | |
| 3.5.1 | Введение | |
| 3.5.2 | Подключение заземления | |
| 3.5.3 | Подключение логического интерфейса к TIC | |
| 3.5.4 | Подключение логического интерфейса к управляющему оборудованию | |
| 3.5.5 | Подключение электропитания | |
| 3.6 | Режим параллельного интерфейса | |
| 3.7 | Режим последовательного интерфейса | |
| 3.7.1 | Подключение последовательного интерфейса к управляющему оборудованию | |
| 3.7.2 | Включение последовательного порта | |
| 3.7.3 | Протокол сообщений | |
| 3.7.4 | Структура сообщений | |
| 3.7.5 | Установки команд | |
| 3.7.6 | Совместная работа последовательного И параллельного интерфейса | |
| 3.7.7 | Режим мульти-команд | |
| 3.8 | Функция напуска, подключение клапана напуска и управление | |
| 3.8.1 | Клапан напуска с ручным управлением | |
| 3.8.2 | Клапаны напуска с электромагнитным управлением TAV5 или TAV6 | |
| 3.8.3 | Управляемый напуск | |
| 3.8.4 | Альтернативное подключение клапана напуска к вакуумной системе | |
| 3.9 | Охлаждение | |
| 3.9.1 | Введение | |
| 3.9.2 | Принудительное воздушное охлаждение | |
| 3.9.3 | Водяное охлаждение | |
| 4 | РЕЖИМЫ РАБОТЫ | |
| 4.1 | Конфигурация насоса DX через команды последовательного интерфейса | |
| 4.2 | Конфигурация насоса DX с помощью контроллера TIC | |
| 4.3 | Запуск | |
| 4.3.1 | Закрытие клапана напуска | |
| 4.3.2 | Проверка перед запуском | |
| 4.4 | Работа при параллельном управлении и мониторинге | |
| 4.4.1 | Запуск насоса | |
| 4.4.2 | Работа | |
| 4.4.3 | Остановка насоса | |
| 4.4.4 | Параллельный мониторинг | |
| 4.5 | Работа при последовательном управлении /мониторинге | |
| 4.5.1 | Задержка запуска | |
| 4.5.2 | Запуск | |
| 4.5.3 | Скорость холостого хода | |
| 4.5.4 | Остановка насоса | |
| 4.5.5 | Показания температуры | |
| 4.5.6 | Считывание параметров соединения | |
| 4.5.7 | Измерение скорости | |
| 4.6 | Одновременная работа параллельного и последовательного интерфейсов | |
| 4.7 | Работа с контроллером TIC | |
| 4.8 | Торможение и напуск | |
| 4.9 | Работа в экстремальных ситуациях | |
| 4.9.1 | Работа при высоком входном давлении | |
| 4.9.2 | Работа при высокой температуре | |
| 4.9.3 | Работа с превышением скорости | |
| 4.9.4 | Неисправности в подаче электропитания | |
| 4.10 | Прогрев | |
| 5 | ТЕХНИЧЕКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ | |
| 5.1 | Введение | |
| 5.2 | Техническое обслуживание подшипников | |
| 5.3 | Ресурс ротора | |
| 5.4 | Очистка внешних поверхностей насоса | |
| 5.5 | Поиск неисправностей | |
| 5.5.1 | Коды ошибок | |
| 5.5.2 | Декодировка слов состояния системы | |
| 5.5.3 | Информация по обслуживанию | |
| 6 | ХРАНЕНИЕ И ЭКСПЛУАТАЦИЯ | |
| 7 | ЗАПАСНЫЕ ЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ | |
| 7.1 | Введение | |
| 7.2 | Обслуживание | |
| 7.3 | Запчасти | |
| 7.4 | Принадлежности | |
| ВОЗВРАТ ОБОРУДОВАНИЯ ВОС EDWARDS |
1 ВВЕДЕНИЕ
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
