Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 8

[115], ÅÆÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ Ñ ÒÑÎÖÚÇÐËËÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë Si ë N Ô ÒÑÏÑÜßá ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ ÒÓË ÒÂÓÙËÂÎßÐÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÂÊÑÕ 2 10ÿ4 ÏÃÂÓ (Õ.Ç.2 10ÿ7 ÂÕÏ). ¬ ÔÑÉÂÎÇÐËá, ÂÄÕÑÓÞ ÐÇ ÔÑÑÃÜËÎË ÐË ÑÔÍÑÓÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÐË Ñ ÔÑÆÇÓÉÂÐËË ÒÓËÏÇÔÇÌ. ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Ä 36 ¤±Â ÃÞΠÑÃÐÂÓÖÉÇРÕÑÎßÍÑÆÎâ ÑÆÐÑÅÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÑÅÑ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ.

µÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÆÑ 400 CÒÓËÄÇÎÑ Í ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÆÑ 29 ¤±Â; àÕÑÕ ×ÂÍÕÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÖÇÕ Ñ ÕÑÏ, ÚÕÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Ä 36 ¤±Â, ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâ ÒÓË ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ, ÃÞΠÆÑÔÕËÅÐÖÕ ÐÇ ÄÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂ, Â, ÔÍÑÓÇÇÄÔÇÅÑ, ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ËÑÐÐÑÌ ÃÑÏÃÂÓÆËÓÑÄÍÇ ÒÓË ÐËÊÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏ ÐÂÐÇÔÇÐËË ÔÎÑÈÄ. °ÚÇÄËÆÐÑ, ÂÄÕÑÓÞÄÞÃÓÂÎË ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕÂ Ë ÕÂÍÑÌ ÔÑÔÕÂÄÒÓËÏÇÔË, ÚÕÑ Ä ÍÑÐÇÚÐÑÏ ËÕÑÅÇ ÒÑÄÎËâÎÑ Ð ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÌÓÇÊÖÎßÕÂÕ.©ÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÔÑÑÃÜÂÎË £ÑÊ Ë ÆÓ.[106], ÔÑÅÎÂÔÖáÕÔâ Ô ÆÂÐÐÞÏË £ÇÒÓÇÍ [61] ÒÑ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑ-48¡.¥.

±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£ÊËÕÂÏ nc-MeN/a-Si3N4, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞÏ ÏÇÕÑÆÂÏË PCVD(ÓËÔ. 10, 11Â) Ë ÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ (ÔÏ. ÓÂÊÆÇÎ 7.2).¯ÇÏÐÑÅÑ ÃÑÎÇÇ ÛËÓÑÍËÌ ÏÂÍÔËÏÖÏ Ë ÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÃÑÎÇÇÐËÊÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß âÄÎâáÕÔâ, ÄÇÓÑâÕÐÑ, ÔÎÇÆÔÕÄËÇÏ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÌ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ (400 C), ÍÑÕÑÓÖá ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË Ä àÕÑÌ ÔÇÓËË àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ ÂÄÕÑÓÞ[106].

±ÑÎÖÚÇÐÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÊÂÄËÔËÕ ÑÕ ÐÂÒÓâÉÇÐËâ ÔÏÇÜÇÐËâ ÒÑÆÎÑÉÍË (ÆÂÐÐÞÇ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÇÆÇÐÞ Ð ÓËÔ. 11Ä ÆÎâÑÒÕËÏÂÎßÐÑÅÑ ÔÏÇÜÇÐËâ ÿ50 £, ÔÏ. ÕÂÍÉÇ [146]) Ë ÑÕÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ. ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕßËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎË ÑÃÐÂÓÖÉËÎË ÆÎâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâÑÍÑÎÑ 500 C, ÚÕÑ ÔÑÅÎÂÔÖÇÕÔâ Ô ÃÑÎÇÇ ÓÂÐÐËÏË ÆÂÐÐÞÏË[68]. £ÇÓÑâÕÐÑ, ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍÑÅÑ ÆÂÄÎÇÐËâ ÂÊÑÕ ÒÑÍÓÞÕËâ ÐÂØÑÆËÎËÔß Ä ÐÇ ÔÑÄÔÇÏ ÔÕÂÃËÎßÐÑÏÔÑÔÕÑâÐËË, ÚÕÑ ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ Ð ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÐÑÄÑÌ "×ÂÊÞ 2" ÐÂÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍËØ ÆË×ÓÂÍÕÑÅÓÂÏÏÂØ [116]; ÑÆÐÂÍÑ ÒÑÔÎÇÑÕÉËÅ ×ÂÊ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂÎÂ. ¯ÇÆÂÄÐËÇ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ ÒÑÍÂÊÂÎË, ÚÕÑ ×ÂÊ TiSi2, ÍÑÕÑÓÂâ ÃÞΠÑÃÐÂÓÖÉÇРÄàÕËØ ÒÑÍÓÞÕËâØ Ô ÒÑÏÑÜßá ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍÑÌ ×ÑÕÑàÎÇÍÕÓÑÐÐÑÌ ÔÒÇÍÕÓÑÔÍÑÒËË (XPS), ÕÂÍÉÇ ÒÓÂÍÕËÚÇÔÍË ËÔÚÇÊÂΠÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ [98].

±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÕÑÎÜËРÒÑÍÓÞÕËâÔÑÔÕÂÄÎâΠÆÑ 3,3 ÏÍÏ, àÕË ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÏÑÉÐÑÔÚËÕÂÕß ÃÑÎÇÇ ÐÂÆÈÉÐÞÏË, ÚÇÏ ÕÇ, ÚÕÑ ÒÓÇÆÎÑÉËÎË ®ÇÐÅË ÆÓ. [103].° ÒÓËÏÇÔâØ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ä ÃÑÎßÛËÐÔÕÄÇ ÓÂÃÑÕ ÐÇ ÔÑÑÃÜÂÇÕÔâ, ÐÑ, ÄÑÊÏÑÉÐÑ, ÑÐË Ë ÇÔÕß ËÔÕËÐÐÂâ ÒÓËÚËÐÂÐËÊÍÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. ¬ÂÍ ÒÑÆÚÈÓÍËÄÂÎÑÔß Ä ÒÓÇÆÞÆÖÜÇÏÓÂÊÆÇÎÇ, ÒÓË ÕËÒËÚÐÞØ ÔÍÑÓÑÔÕâØ ÐÂÐÇÔÇÐËâ 0,1 ë0,5 ÐÏ Ôÿ1 Ë ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÅÂÊ (1 ë 7) 10ÿ6 ÏÃÂÓÍËÔÎÑÓÑÆ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÆÑ ÐÇÔÍÑÎßÍËØ ÂÕÑÏÐÞØ ÒÓÑÙÇÐÕÑÄÐÂØÑÆËÕÔâ ÄÐÖÕÓË ÒÑÍÓÞÕËâ ÄÑ ÄÓÇÏâ ÓÑÔÕÂ. °Ã àÕÑÏÎËÃÑ ÔÑÑÃÜÂÎÑÔß Ä ÔÕÂÕßâØ, ÒÓËÔÎÂÐÐÞØ ÒÑ ÒÓÑÔßÃÇÂÄÕÑÓÑÄ ÐÂÔÕÑâÜÇÅÑ ÑÃÊÑÓÂ, ÎËÃÑ ÃÞΠÒÓÑÄÇÆÇРÑÙÇÐÍ ÆÎâ ÆÂÐÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ ÏÑÜÐÑÔÕË Ë ÅÇÑÏÇÕÓËË ÓÇÂÍÕÑÓÂ. °ÆÐÂÍÑ ÐÇâÔÐÑ, âÄÎâÇÕÔâ ÎË ÆÂÄÎÇÐËÇ ÅÂÊ (1 ë 7) _ ÿ6 ÏÃÂÓ ÃÂÊÑÄÞÏ ÆÂÄÎÇÐËÇÏ ÆÎâ ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÕÇÏÒÇ10ÓÂÕÖÓÞ ËÎË ÆÎâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÍÑÕÑÓÂâ ÏÑÉÇÕÑÕÎËÚÂÕßÔâ ÑÕ ÍÑÏÐÂÕÐÑÌ ÃÑÎÇÇ ÚÇÏ Ð ÒÑÓâÆÑÍ ÄÇÎËÚËÐÞ.°ÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÒÑÄÕÑÓâÇÏÑÔÕË ÄÞÔÑÍËØ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÓâÆÇ ÒÑÔÎÇÆÐËØ ÔÕÂÕÇÌ ÆÓÖÅËØ ÂÄÕÑÓÑÄ [102, 115] ÇÔÕßÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÐÇÒÓÂÄËÎßÐÑÅÑ ÄÞÃÑÓ ÖÔÎÑÄËÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ(ÔÎËÛÍÑÏ ÐËÊÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÂÊÑÕÂ Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂ) Ë/ËÎËÒÓËÏÇÔË.

¯ÇÒÑÎÐÞÇ ÆÂÐÐÞÇ Ä ÑÕÐÑÛÇÐËË àÕËØ ÓÇÛÂáÜËØÖÔÎÑÄËÌ Ä ÖÒÑÏâÐÖÕÞØ ÔÕÂÕßâØ ÐÇ ÒÑÊÄÑÎâáÕ Ä ÆÂÐÐÑÏÑÃÊÑÓÇ ÔÆÇÎÂÕß ÚÇÕÍÑÇ ÊÂÍÎáÚÇÐËÇ ÒÑ ÒÑÄÑÆÖ ÕÑÅÑ, ÍÂÍÑÌËÊ àÕËØ à××ÇÍÕÑÄ âÄÎâÇÕÔâ ÆÑÏËÐËÓÖáÜËÏ.7.2. µÔÎÑÄËâ, ÐÇÑÃØÑÆËÏÞÇÆÎâ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ±ÑÔÍÑÎßÍÖ ÓÇÂÍÕËÄÐÑÇ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ ÑÃÞÚÐÑ ÒÓÑËÔØÑÆËÕÒÓË ÐËÊÍÑÏ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô PCVD ÆÂÄÎÇÐËË, ÑÕÐÑÔË-[µ¶¯ 2009ÕÇÎßÐÑ ÐËÊÍËØ ÔÍÑÓÑÔÕâØ ÐÂÐÇÔÇÐËâ Ë, ÄÑ ÏÐÑÅËØ ÔÎÖÚÂâØ, ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâ ÔÏÇÔß Ar/N2, ÕÑ ÕÓÖÆÐÑ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÑÄÂÕß ÕÓÇÃÑÄÂÐËâÏ, Ñ ÍÑÕÑÓÞØ ÅÑÄÑÓËÎÑÔß Ä ÓÂÊÆÇÎÇ 7.1.±ÓÑØÂÊÍÂ Ë ÆÓ. [99] ÐÇÆÂÄÐÑ ÒÓÑÄÇÎË ÔËÔÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÇËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËÇ, ÇÅÑ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÔÑÃÓÂÐÞ Ä ÕÂÃÎ.

2. ´ÂÍ ÍÂÍÓÂÔÒÞÎÇÐËÇ ÑÕ ÏËÛÇÐË Si ÏÑÉÇÕ ÄÞÊÞÄÂÕß ÓÂÔÕÓÇÔÍËÄÂÐËÇ ÒÓË ÄÞÔÑÍÑÌ ÖÆÇÎßÐÑÌ ÏÑÜÐÑÔÕË, ÕÑ Ä ÒÇÓÄÞØ ÔÇÓËâØàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÑÄ Ti ÓÂÔÒÞÎâÎË,  Si ÄÄÑÆËÎË Ä ÄËÆÇ ÔÏÇÔËSi3N4/H2. £Ñ ÄÕÑÓÑÌ ÔÇÓËË ÄÄÑÆËÎË ÕÑÎßÍÑ Si3N4 (ÔÏ.ÕÂÃÎ. 2). ³ÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ä ÒÑÍÓÞÕËâØ ÔÑÔÕÂÄÎâÎÑ10 Ë 4 2 ÂÕ. % Ä ÑÃÇËØ ÔÇÓËâØ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÇÐÐÑ. ³ÓÂÄÐËÄÂâÊÐÂÚÇÐËâ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÆÑÔÕËÅÐÖÕÞÇ Ä àÕËØÔÇÓËâØ, Ô ÓÇÊÖÎßÕÂÕÂÏË ÓÂÃÑÕÞ [19], ÏÑÉÐÑ ÑÃÐÂÓÖÉËÕß,ÚÕÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÄÑÆÑÓÑÆ ÑÍÑÎÑ 10 ÂÕ. %, ÄÇÓÑâÕÐÑ,ÔÎËÛÍÑÏ ÄÞÔÑÍÑÇ, ÒÑÔÍÑÎßÍÖ ÐËÍÂÍÑÅÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ Si ÐÇ ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß.±ÓË ÐËÊÍÑÌ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÄÑÆÑÓÑÆ (ÄÕÑÓÂâ ÔÇÓËâ)ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÃÞÎÑ ÑÃÐÂÓÖÉÇÐÑ ÆÎâ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâSi, ÑÆËÐÂÍÑÄÑÅÑ Ô ÒÑÍÓÞÕËâÏË, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÏË ÏÇÕÑÆÑÏPCVD, ÑÆÐÂÍÑ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑ ÆÑÔÕËÉËÏÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕßÑÔÕÂÎÂÔß ÑÅÓÂÐËÚÇÐÐÑÌ ÄÇÎËÚËÐÑÌ Ä 30 ¤±Â ÄÔÎÇÆÔÕÄËÇÒÑÄÞÛÇÐÐÑÅÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËâ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ.´ÓÇÕßâ Ë ÚÇÕÄÈÓÕÂâ ÔÇÓËË àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂ, ÅÆÇ Si ÄÄÑÆËÎË ÒÓË ÒÑÏÑÜË ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ, âÔÐÑ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑËÔÒÑÎßÊÖâ ÔÏÇÔß Ar/N2 Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÖ ÐÂÐÇÔÇÐËâ 550 C,Ä [99] ÒÑÎÖÚËÎË ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÒÓËÏÇÔË ÍËÔÎÑÓÑÆ ÑÍÑÎÑ0,4 ÂÕ.

%, ÚÕÑ ÑÅÓÂÐËÚËÄÂÎÑ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÖá ÕÄÈÓÆÑÔÕß.£ÇÓÑâÕÐÑÌ ÒÓËÚËÐÑÌ âÄÎâÇÕÔâ ÑÔÄÑÃÑÉÆÇÐËÇ ÒÓËÏÇÔÇÌ(Ä ÑÔÐÑÄÐÑÏ ÄÑÆÞ) ÔÑ ÔÕÇÐÑÍ ÓÇÂÍÕÑÓÂ, ÒÑÆÄÇÓÅÂáÜËØÔâÄÑÊÆÇÌÔÕÄËá ÒÎÂÊÏÞ, àÎÇÍÕÓËÚÇÔÍËÌ ÒÑÕÇÐÙËÂÎ ÍÑÕÑÓÑÌÄÔÇÅÆ ÐÇ ÏÇÐÇÇ 10 ë 20 £ Ë ÒÑÎÑÉËÕÇÎÇÐ ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑÎáÃÑÌ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË, ÍÑÕÑÓÂâ ÐÂØÑÆËÕÔâ Ä ÍÑÐÕÂÍÕÇ ÔÒÎÂÊÏÑÌ. £ÔÎÇÆÔÕÄËÇ ÃÑÎßÛÇÌ ÏÂÔÔÞ ÂÓÅÑÐ (ÒÓË ÑÆËÐÂÍÑÄÑÌ ÍËÐÇÕËÚÇÔÍÑÌ àÐÇÓÅËË, ÊÂÆÂÐÐÑÌ àÕËÏ ÔÏÇÜÇÐËÇÏ)ÃÑÎÇÇ à××ÇÍÕËÄÇÐ ÒÓË ÑÔÄÑÃÑÉÆÇÐËË ÒÓËÏÇÔÇÌ ÒÓËÓÂÔÒÞÎÇÐËË, ÚÇÏ ÂÊÑÕ (ÃÑÎÇÇ ÆÇÕÂÎßÐÑ ÔÏ. [117, 118]).

±ÑàÕËÏ ÒÓËÚËÐÂÏ ±ÓÑØÂÊÍÂ Ë ÆÓ. [133] ÔÍÑÐÙÇÐÕÓËÓÑÄÂÎËÔßРËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËË ÒÓÇÆÇÎÑÄ ÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÆÑÔÕËÉËÏÞØ ÒÓËÓÇÂÍÕËÄÐÑÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËË, ÍÑÅÆ ËÔÒÑÎßÊÖÇÕÔâ ÕÑÎßÍÑ ÂÊÑÕ. °ÚÇÐß ÄÞÔÑÍÂâ ÖÆÇÎßÐÂâ ÏÑÜÐÑÔÕßРÏËÛÇÐË,  ÕÂÍÉÇ ÃÑÎßÛÑÇ ÔÑÑÕÐÑÛÇÐËÇ ÒÎÑÜÂÆÇÌÏËÛÇÐË Ë ÒÑÆÎÑÉÍË ÒÑÊÄÑÎËÎË ÂÄÕÑÓÂÏ [99] ÆÑÔÕËÅÐÖÕßÄÞÔÑÍËØ ÔÍÑÓÑÔÕÇÌ ÐÂÐÇÔÇÐËâ, ÒÑÓâÆÍ 1,6 ë 1,8 ÐÏ Ôÿ1 , ËÐÂÐÑÔËÕß ÑÚÇÐß ÕÑÎÔÕÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ (10 ë 35 ÏÍÏ) ÒÓËÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ÚËÔÕÑÕÇ.²ËÔÖÐÑÍ 12 ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË,ÆÑÔÕËÅÐÖÕÑÇ Ä ÒÑÔÎÇÆÐËØ ÔÇÓËâØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂ, ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÐÞØ Ä ÕÂÃÎ.

2, ÔÕÓÑÅÑ ÔÎÇÆÖÇÕ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË, ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÌ ÓÂÐÇÇ ÆÎâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ, ÐÂÐÇÔÈÐÐÞØ Ô ÒÑÏÑÜßáPCVD (ÓËÔ. 10Â). ®ÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÑÍÑÎÑ 45 ¤±ÂâÄÐÑ ÑÅÓÂÐËÚÇРÒÓËÏÇÔâÏË ÍËÔÎÑÓÑÆÂ. ±ÑÔÎÇ ÊÂÄÇÓÛÇÐËâ àÕÑÌ ÓÂÃÑÕÞ ÂÄÕÑÓÞ [19] ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎË à××ÇÍÕ ÆÇÅÂÊÂ-´ÂÃÎËÙ 2. µÔÎÑÄËâ, ÍÑÕÑÓÞÇ ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎËÔß ÆÎâ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ nc-TiN/a-Si3N4 ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ. µÆÇÎßÐÂâÏÑÜÐÑÔÕß Ð ÏËÛÇÐË 15 ë 18 £Õ ÔÏÿ2 , ÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ 1,6 ë 1,8 ÐÏ Ôÿ1¯ÑÏÇÓàÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂTdep , C¥ÂÄÎÇÐËÇ Ar,ÏÃÂÓ1450 ë 6500,001 ë 0,010,010 ë 0,0022450ì0,0235500,0014630ì¥ÂÄÎÇÐËÇ N2, ¥ÂÄÎÇÐËÇ SiH4, ¥ÂÄÎÇÐËÇ H2,ÏÃÂÓÏÃÂÓÏÃÂÓHmax ,¤±Â[Si],ÂÕ.

%[O],ÂÕ. %[H],ÂÕ. %0 ë 0,01730¯Ç ÊÂÄËÔËÕ0,4100 ë 0,002ì306ë72,52,50,001²ÂÔÒÞÎÇÐËÇ Siì386ë95 0,40,30,002²ÂÔÒÞÎÇÐËÇ Siì456ë90,20,1´. 179, å 1]´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â140³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«nc-TiN/a-Si3N4nc-(a)-TiSi2°ÃÝÇÏÐÞÌÂÎÏÂÊ120Â1008060´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â401201101009080706050403020¯ÂÐÑÂÎÏÂÊÕÑÎÜËÐÑÌ 1 ÏÍÏ3040506010,29,6804[Si]<10 ÂÕ.%[Si]>10 ÂÕ.%9,811709,4 8,86,97,4 4,74 5,18,7104,313 4,3 5,44100 110L, ϯÃ6,98,3906,84,98,20,4 0,6 0,8 1,0 1,2 1,4 1,6 1,8 2,0 2,2nc-TiN(TiSi2); ÏÑÐÑÔÎÑÌÐÑÇ ÒÑÍÓÞÕËÇ Si3N4²ËÔ.

12. (Â) ±ÓËÏÇÓ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÐÇ ÊÂÄËÔâÜÇÌ ÑÕ ÐÂÅÓÖÊÍË ÕÄÈÓÆÑÔÕËÄÕÑÓÑÅÑ, ÔÂÏÑÅÑ ÕÄÈÓÆÑÅÑ ÒÑÍÓÞÕËâ, ËÊÑÃÓÂÉÇÐÐÑÅÑ Ð ÓËÔ. 9Ä, ÄÔÓÂÄÐÇÐËË Ô ÑÃÝÈÏÐÞÏ ÂÎÏÂÊÑÏ Ë ÑÆÐÑ×ÂÊÐÞÏ ÐÂÐÑÂÎÏÂÊÐÞÏÒÑÍÓÞÕËÇÏ. ±ÓË ÐÂÅÓÖÊÍÇ 100 ϯ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÏÇÐßÛËÎÂÔß ÒÑÕÑÏÖ,ÚÕÑ ÅÎÖÃËРËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÒÓÇÄÞÛÂΠ10 % ÑÕ ÕÑÎÜËÐÞ 3,5 ÏÍÏ.©ÐÂÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑÄÇÓâÎÑÔß ÕÂÍÉÇ ÍÂÎËÃÓÑÄÂÐÐÞÏ ÏÇÕÑÆÑϳ¿® [81]. (Ã) ´ÄÈÓÆÑÔÕß ÕÓÑÌÐÞØ Ë ÚÇÕÄÇÓÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄnc-TiN/a-Si3N4/a-(nc-)TiSi2 Ä ÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÑÕ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÑÍÓÞÕËâ ncTiN ËÎË ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ nc-TiSi2 Ô Si3N4. ¸Ë×ÓÞ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕÓÂÊÏÇÓÞ ÍÓËÔÕÂÎÎËÕÑÄ.ÙËË Ë ÒÓÇÆÄÂÓËÕÇÎßÐÑÌ ÑÚËÔÕÍË ÂÒÒÂÓÂÕÑÄ ÆÎâ ÐÂÐÇÔÇÐËâÒÑÍÓÞÕËÌ, ÚÕÑ ÒÑÏÑÅÎÑ Ä ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏ ÖÏÇÐßÛËÕß ×ÑÐÑÄÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ Ð ÒÑÆÎÑÉÍË ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ ÆÑÄÇÎËÚËÐÞ ÏÇÐÇÇ 10ÿ6 ÏÃÂÓ.

¬ÓÇÔÕËÍÂÏË Ð ÓËÔ. 12ÂÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆ ÖÏÇÐßÛËÎÑÔß ÆÑ 4 0;2 ÂÕ. %; àÕÑ ÒÓËÄÇÎÑ Í ÆÂÎßÐÇÌÛÇÏÖ ÖÄÇÎËÚÇÐËá ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÆÑ 5 50 ¤±Â.¿ÕË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ âÔÐÑ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ, ÚÕÑ ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÆÑÔÕËÉËÏÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß Ä ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ nc-TiN/aSi3N4, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ ÓÇÂÍÕËÄÐÞÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÞÏ ÓÂÔÒÞÎÇÐËÇÏ ÒÓË ÑÕÐÑÔËÕÇÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÑÏ ÆÂÄÎÇÐËË ÂÊÑÕÂ( 5 0;001 ÏÃÂÓ) Ë ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ ÐÂÐÇÔÇÐËâ 550 ë 650 C,ÍÑÐÕÓÑÎËÓÖÇÕÔâ ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËÇÌ ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ.¨ÇÎÂÕÇÎßÐÑ, ÍÑÐÇÚÐÑ, ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÇ ÆÂÄÎÇÐËÇ, ÐÑ ÇÅÑËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇ ÑÅÓÂÐËÚËÕ ÔÍÑÓÑÔÕß ÐÂÐÇÔÇÐËâ.8.

³ÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâÔ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá 80 ë 100 ¤±Â¥Ñ ÐÂÔÕÑâÜÇÅÑ ÄÓÇÏÇÐË ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÔÕß 70 ë 80 ¤±ÂÆÑÔÕËÅÂÎÂÔß ÕÑÎßÍÑ Ä ÕÓÑÌÐÞØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØnc-TiN/a-Si 3 N 4 /a-TiSi 2 [78, 80 ë 82] Ë 100 ¤±Â ì ÄÚÇÕÞÓÈØÔÎÑÌÐÞØ nc-TiN/a-Si 3 N 4 /a-TiSi 2 /nc-TiSi 2 [80,81], ÍÑÅÆ ÔÑÆÇÓÉÂÐËÇ ÍËÔÎÑÓÑÆ ÃÞÎÑ ÏÇÐÇÇ 0,07 ÂÕ. %(ÔÏ. [82], Ô. 155). ±ÓÇÆÒÑÎÑÉÇÐËÇ ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÕÇÎÇÌ, ÚÕÑ ÕÂÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÃÞΠËÊÏÇÓÇРÐÇÒÓÂÄËÎßÐÑ[119], ÃÞÎÑ ËÔÍÎáÚÇÐÑ Ð ÑÔÐÑÄÂÐËË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄÓÂÃÑÕÞ [120].

²ÂÐÇÇ àÕË ËÊÏÇÓÇÐËâ ÔÓÂÄÐËÄÂÎËÔß ÕÂÍÉÇ4 µ¶¯, Õ. 179, å 149Ô ÆÂÐÐÞÏË ÆÎâ ÏÑÐÑÍÓËÔÕÂÎΠÑÃÝÈÏÐÑÅÑ ÂÎÏÂÊÂ, ÍÂÍÒÑÍÂÊÂÐÑ Ð ÓËÔ. 12Â. ©ÂÏÇÕÐÑ, ÚÕÑ ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞÇÒÑÍÓÞÕËâ ÒÑÍÂÊÞÄÂáÕ ËÐÄÂÓËÂÐÕÐÖá Í ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß 100 ¤±Â, ÍÑÕÑÓÂâ ÔÎÇÅÍ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÒÓËÏÂÍÔËÏÂÎßÐÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ 100 ϯ, ÍÑÅÆ ÅÎÖÃËРËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ ÑÍÑÎÑ 17 % ÑÕ ÕÑÎÜËÐÞ ÒÑÍÓÞÕËâ(3,5 ÏÍÏ). ´ÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÏÒÑÊËÕ 91 ¤±Â, ÒÑÎÖÚÇÐÐÂâÒÓË ÕÂÍÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ, ÒÓÑÄÇÓâÎÂÔß ÍÂÍ ËÊÏÇÓÇÐËÇÏÒÎÑÜÂÆË ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÌ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏ àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÏËÍÓÑÔÍÑÒÂ Ô ÍÂÎËÃÓÑÄÂÐÐÞÏ ÔÍÂÐËÓÑÄÂÐËÇÏ, ÕÂÍ Ë ÓÂÔÚÈÕÑÏ [121].

£ËÆÐÑ, ÚÕÑËÐÄÂÓËÂÐÕÐÂâ Í ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÐÞØÒÑÍÓÞÕËÌ ØÑÓÑÛÑ ÔÑÅÎÂÔÖÇÕÔâ Ô ÕÄÈÓÆÑÔÕßá Ä ÑÃÝÈÏÇÂÎÏÂÊÂ Ä ÒÓÇÆÇÎÂØ ÙÇÎÑÅÑ ËÐÕÇÓÄÂΠ30 ë 70 ϯ Ë ÒÓËÐËÊÍÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ Ô ÑÆÐÑ×ÂÊÐÞÏ ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍËÏÂÎÏÂÊÑÏ.³ÂÏÑÔÑÅÎÂÔÑÄÂÐÐÑÔÕß ÆÂÐÐÞØ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÃÞΠÒÓÑÄÇÓÇР¡ÓÅÑÐÑÏ Ë £ÇÒÓÇÍÑÏ [123, 122] Ô ËÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇÏÖÐËÄÇÓÔÂÎßÐÑÅÑ ÑÕÐÑÛÇÐËâ àÐÇÓÅËË ÔÄâÊË (UBER ìuniversal binding energy relation, [124, 125]) Ë ÂÐÂÎËʤÇÓÙËÂРÆÎâ ËÊÏÇÓÇÐËÌ ÏÇÕÑÆÑÏ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ [2,107, 108]. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÒÑ ÏÐÇÐËá £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÆÓ.,ÄÞÔÑÍËÇ ÊÐÂÚÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÃÞÎË ËÊÏÇÓÇÐÞ ÒÓÂÄËÎßÐÑ.¬ÂÍ ÔÎÇÆÖÇÕ ËÊ [80], ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÇ ÐÂÐÇÔÇÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ ÕÓÇÃÖÇÕ ÐÇ ÕÑÎßÍÑ ÄÞÔÑÍÑÌ ÚËÔÕÑÕÞ, ÐÑ Ë ÒÓÂÄËÎßÐÑÅÑ ÔÑÔÕÂÄ ÍÓÇÏÐËÌÔÑÆÇÓÉÂÜËØ ×ÂÊ. ¬ÂÍ Ë Ä ÔËÔÕÇÏÂØËÊ ÆÓÖÅËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄ, ÏÂÍÔËÏÂÎßÐÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÆÑÔÕËÅÂÇÕÔâ ÕÑÅÆÂ, ÍÑÅÆ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÐÂÐÑÍÓËÔÕÂÎÎÑÄ TiNÒÑÍÓÞÕ ØÑÕâ ÃÞ ÑÆÐËÏ ÏÑÐÑÔÎÑÇÏ Si 3N4. ·ÑÕâ ÆÑÔÕËÉÇÐËÇ ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÏÑÔÕË ÐÂÐÇÔÇÐËâ àÕËØ ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÊÂÕÓÖÆÐÇÐÑ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô ÃËÐÂÓÐÞÏË, ÕÄÈÓÆÑÔÕß5 80 ¤±Â ÄÑÔÒÓÑËÊÄÑÆËÎÂÔß ÃÑÎÇÇ ÚÇÏ Ä 15 ÒÑÍÓÞÕËâØ, ÂÄ ÛÇÔÕË ÆÑÔÕËÅÐÖÕ ÄÇÎËÚËР5 100 ¤±Â [120].±ÇÓÄÑÐÂÚÂÎßÐÑ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÓËÒËÔÞÄÂÎÂÔßÒÓËÔÖÕÔÕÄËá ×ÂÊÞ TiSi2.

£ÄËÆÖ ÔËÎßÐÑÌ ÊÂÄËÔËÏÑÔÕËÕÄÈÓÆÑÔÕË ÑÕ ÒÓËÏÇÔÇÌ ÍËÔÎÑÓÑÆÂ Ä ËÐÕÇÓÄÂÎÇ ÏÇÐÇÇ0,1 ÂÕ. % ÄÑÊÐËÍÂÇÕ ÄÑÒÓÑÔ, ËÅÓÂÇÕ ÎË TiSi2 ÓÑÎß ÎÑÄÖÛÇÍÆÎâ ÆÂÐÐÞØ ÒÓËÏÇÔÇÌ Ë ÒÓÇÒâÕÔÕÄËâ Í ËØ ÐÂÍÑÒÎÇÐËá ÐÂÅÓÂÐËÙÇ ÓÂÊÆÇΠTiN/Si3N4. ¿ÕÑ ÐÖÉÆÂÇÕÔâ Ä ÃÑÎÇÇÆÇÕÂÎßÐÑÏ ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËË.¥ÂÐÐÞÇ ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÓÇÆÔÕÂÄÎâáÕ ËÐÕÇÓÇÔ ÒÑÕÑÏÖ, ÚÕÑÑÐË ÆÇÏÑÐÔÕÓËÓÖáÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕß ÒÑÎÖÚÇÐËâ ÏÂÕÇÓËÂÎÑÄÔ ÕÄÈÓÆÑÔÕßá ÃÑÎÇÇ ÄÞÔÑÍÑÌ, ÚÇÏ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÂÎÏÂÊÂ.